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GB T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则.pdf

上传人：bowdiet140 文档编号：102849 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：6 大小：216.22KB
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资源描述

本准则规定了在表示掩模曝光设备的精密度和准确度时应遵循的一般要求。掩模曝光设备的图形曝光精密度和准确度是通过测量制成的掩模来评估的，掩模制造过程中的工艺条件对它有很大影响。所以，曝光条件应经厂家和用户双方同意。

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