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GB T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼.pdf

上传人：周芸 文档编号：103702 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：8 大小：1.21MB
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资源描述

本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法及标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。

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