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GB T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫.pdf

上传人：周芸 文档编号：104595 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：12 大小：332.72KB
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资源描述

本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。

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