本标准规定了用透射电子显微镜对薄晶体试样微米级区域进行选区电子衍射分析的方法。本方法适用于各种金属与非金属晶体薄膜（包括粉末试样与萃取复型试样）的电子衍射分析。可分析的最小试样区直径为lm。应用电子衍射谱可以获得试样晶体对称性、点阵常数和布拉菲格子类型等数据。利用已知晶体薄膜的电子衍射谱可以测定透射电子显微镜的衍射常数。被分析试样区直径小于lm时，可参照执行。
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