本标准规定了用高分辨X射线衍射测量GaAs衬底上AlGaAs外延层中Al含量的试验方法。本方法适用于在未掺杂GaAs衬底方向上生长的AlGaAs外延层中Al含量的测定,使用本方法测量Al元素含量时, AlGaAs外延层厚度应大于300 nm。
copyright@ 2008-2019 麦多课文库(www.mydoc123.com)网站版权所有备案/许可证编号:苏ICP备17064731号-1