GB T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语.pdf

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本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

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