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GB T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢.pdf

上传人：孙刚 文档编号：108013 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：12 大小：562.31KB
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资源描述

本标准规定了硒化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。

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