收藏
下载资源 加入VIP,免费下载

GB T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢.pdf

上传人：孙刚 文档编号：108014 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：8 大小：152.39KB
下载 相关 举报
GB T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢.pdf_第1页
第1页 / 共8页
GB T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢.pdf_第2页
第2页 / 共8页
GB T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢.pdf_第3页
第3页 / 共8页
GB T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢.pdf_第4页
第4页 / 共8页
GB T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢.pdf_第5页
第5页 / 共8页
亲，该文档总共8页，到这儿已超出免费预览范围，如果喜欢就下载吧！
资源描述

本标准规定了砷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。

展开阅读全文
相关资源
猜你喜欢
相关搜索

当前位置：首页 > 标准规范 > 国家标准

copyright@ 2008-2019 麦多课文库（www.mydoc123.com）网站版权所有
备案/许可证编号：苏ICP备17064731号-1