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GB T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片.pdf

上传人：卡尔 文档编号：109969 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：15 大小：784.15KB
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资源描述

本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。

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