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GB T 6617-2009 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法.pdf

上传人：李朗 文档编号：112979 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：7 大小：736.55KB
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资源描述

本标准规定了硅片电阻率的扩展电阻探针测量方法。本标准适用于测量晶体晶向与导电类型已知的硅片的电阻率和测量衬底同型或反型的硅片外延层的电阻率，测量范围：10cm10 cm。

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