1、ICS 31-550L97各鑫县:9880-2002中华人民共和国电子行业标准SJ/t 11259-2001制冷机低温泵总规范General specification for refrigerator cryopump2002-01-31发布2002-05-01实施中华人民共和国信息产业部发布前言本规范参照GB 7774. GB 7776. GB/T 6070. GB/1 3163制定，可用于指导该类产品的研制与生产。本规范由中国电子技术标准化研究所(CESI 归口。本规范起草单位:信息产业部合肥低温电子研究所。本规范主要起草人:柳汉莹、赵东辉、徐友平、严善仓、田渠。中华人民共和国电子行业标
2、准制冷机低温泵总规范SJ/T 11259-2001General specification for refrigerator cryopump范围本规范规定了制冷机低温泵的要求、试验方法、质量评定程序及标志、包装、运输、贮存。本规范适用于制冷机低温泵的研制生产。2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本规范中引用而构成为本规范的条文。本规范出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本规范的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB 191-2000包装储运图示标志GB/T 3163-93真空技术术语GB 5080.7-86设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试
3、验方案GB/T 6070-1995真空法兰GB 7774-87涡轮分子泵性能测试方法GB 7776-87蒸汽流直中凳凳浦饭流率测试方法3定义本规范采用下列定义。3. 1低温泵cryopump利用低温表面搜集气体的真空泵。3.2制冷机低温泵refrigerator cryopump用封闭循环制冷机提供冷源的低温泵。3.3降温时间cooldown time从室温启动制冷机至冷头温度达到20 K时所需的时间。3.4极限压力ultimate pressure泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压力。3.5抽气速率volume flow rate体积流率当泵装有
4、标准罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。3.6抽气容量capacity中华人民共和国信息产业部2002-01-31批准2002-05-01实施ISJ/T 11259-2001制冷机低温泵的抽速由最大下降至抽速(Smax/e)时所抽的气体量，又称排气童。分类与命名命名制冷机低温泵系列产品型号命名由以下部分组成:荃本型号辅助型号国一目国国代表制冷机低温泵名称，以构成名称的两个关键字(低温、制冷)的汉语拼音第一个字母DZ表示。倒曰川匕4.14.2代表制冷机低温泵的规格，以其泵口直径表示，见表1e代表制冷机低温泵设计序号，从第一次改型设计开
5、始，以字母A, B, C0顺序表示。规格制冷机低温泵泵口直径推荐尺寸见表裹1泵口直径示例泵口直径为200 mm,第三次设计改进的制冷机低温泵命名示例如下。设计序号泵口直径，mm制冷机低温泵代号5要求5.1工作环境条件制冷机低温泵工作环境条件如下:a)室内运行:b)环境温度:0 0C-40 0C;c)相对湿度:85%e5.2外观质t与尺寸5.2.1外观质f制冷机低温泵外观应光滑平整，无毛刺、裂纹等影响寿命和使用的缺陷.5.2.2尺寸制冷机低温泵的泵口直径应符合表1的规定。5.3性能特性5.3.1降温时间制冷机低温泵的降温时间应符合表2的规定。5.3.2极限压力SJ/T 11259-20015.3
6、.3抽速制冷机低温泵的抽速应符合表2的规定。5.3.4抽气容f制冷机低温泵的抽气容It应符合表2的规定。54安全性5.4.1制冷机低温泵必须配有压力安全装里。5.4.2在正常工作条件下，制冷机低温泵的电源线与机壳之间的绝缘电阻应大于10 Mn.5.5可命性制冷机低沮泵平均故除间隔时间(MTBF)大于或等于10000 h.裹2主要技术指标项目泵口直径m拍100160(150)200250_320(300)400抽速USHz0200025004200500950010007Nz/Ar500/400800/6001500/12002200/15003000/20005000/3700N2/He500
7、/1501000/3002000/6004000/12005500/17005500/1700抽气容里P比Ar / Nz2x10-2.7x108.10,2xl02jx1003.10H22.0.104.0.109.0.10,2.5x 1063x1065x106极限压力Pa10-10110-110-110-10-降沮时间niln80(80簇10100(ISO毛1506试验方法6. 1测试条件6.1.1在整个测试过程中，室温应为15 0C-25 0C,温度允许变化士I *C.6. 1.2测试罩烘烤后，测试系统温度应均匀，为15 0C-25 *C.温度变化不超过土3 *C.6.2外观质f与尺寸检查以目
8、测和满足精度要求的量具对制冷机低温泵的外观、标志和泵口知己感进行检查应符合5.2.1, 5.2.2, 8.1及详细规范的要求。6.3降温时间6.3. 1测试装3测试用温度传感器(精度应在0.1 K之内)、二次仪表、计时器须经国家授权单位鉴定合格，并在有效期内。6.3.2测试程序a)用预抽泵对制冷机低温泵抽空至2 Pa后，关闭真空阀;b)启动制冷机，测量冷头温度，即冷头从常温降沮至20 K时所用的时间。6.4极限压力SJ/T 11259-20016.45.4.侧试装t侧试罩用不锈钢制成，内表面粗糙度为妙，原理图如图单位:mm圈16.4.1.2热阴极电离真空计、B-A规须经国家授权单位鉴定合格并在
9、有效期内。6.4.2测试程序a)启动预抽泵，将容器抽空至2 Pa;b)测试装置的外表面应缠绕加热带，对测试罩进行烘烤去气，烘烤温度150 0C，连续烘烤时间应大于24 h. B-A规外壳随测试装置一起烘烤，烘烤温度350 0C.c)当测试装置、B一A规烘烤去气，达到要求并降至室温后，再行测量，共测五次，直到极限压力达到稳定.即可读数。6.5抽速6.5.1测试装t6.5.1.1测试罩用不锈钢制成，内表面粗糙度为妙，原理图如图2.6.5.1.2热阴极电离真空计、B-A规须同6.4.1.2.6.5.2测试程序采用压差法测试，程序如下:a)除非另有规定，一般取干燥空气、氮气为试验气体。在测试罩中达到极
10、限压力之后，调整图2中微调阀，使试验气体进入测试罩。罩中压力逐步升高，待压力平衡时，读Pi. P2值。b)每取一测试点，至少应平衡20 min，观察10 min，压力若稳定在士5%以内，则此点有效。C重复上述程序进行下一较高压力点测试，每一压力量级测三点。每测一点，用电离计测得的压力分别为PI和P2，抽速由公式(1)给出:S二C (P,/ P2-1).一(1)式中:S被试泵的抽速，L/s;尸，上测试罩压强，Pa;P2下测试罩压强，Pa:C见公式(2).SJ/T 11259-2001单位:.图2C一3.683 T /Mxd2 /4一一一(2)式中:TB被抽气体的温度，K;M被抽气体的分子量;d流
11、导孔的直径，cm.6.6抽气容f6.6.1测试装it测试装置同6.5.1.6.6.2测试程序a)按6.4.2测试制冷机低温泵在泵的入口压力为lxl。一Pa左右的抽速S;b)调节微调阀，继续往测试罩内送气，使泵的入口压力保持在1.10-4 Pa左右，不断记录充入泵内的气体流量，并计算出相应的抽速，直到抽速下降到Sa le时，记录过程所用时间t.注:S.平均抽速:e常数(e二2.718).c)求出平均抽速So，按公式(3)即可求出某种气体在1 x 10-0 Pa下的抽气容量。Q =S.Pt，(3)式中:口抽气容量，Pa L;So一平均抽速，M3/S;尸制冷机低温泵入口处的压力，Pa;t测试时间，5
12、。 SJ/T 11259-20016.7安全性6.7.1向泵体内充氮气，当压力达0.03 MPa时。6.7.2用500 V的兆欧表(兆欧表须经国家授权单位鉴定，且在有效期内)，电源开关处于“开”位置，检测仪器电源线对机壳间的绝缘电阻.6.8可命性按GB 5080.7第5章中定时(定数)截尾试验方案试验，具体要求应由详细规范规定。7质f评定程序7.1检验分类本规范规定的检验分为:a)鉴定检验;b)质量一致性检验。7. 2各类检验适用范围7.2.1鉴定检验适用于:a)新产品在设计定型及生产定型或老产品转厂生产时:b)正式生产后，如材料、结构、工艺有较大改变，可能影响产品性能时;c)国家质量监督机构
13、提出定型检验的要求时。7.2.2质量一致性检验适用于正常生产过程中。7.3检验项目各类检验的检验项目见表3e裹3各类检验的检验项目序号检验项目鉴定检验质It-致性检验要求章条号试验方法章条号1外观质t与尺寸OO5.26.22降温时间OO5.3.16.33极限压力OO5.3.26.44抽速OO5.3.36.55抽气容ItOO5.3.46.66安全性OO5.56.77可靠性O5.66.87.4抽样规则7.4.1鉴定检验样机不少于2台。7.4.2质量一致性检验应逐台进行。7.5判定规则7.5.1鉴定检验的全部项目检验合格，才能判定产品鉴定检验合格。7.5.2当质量一致性检验出现不合格项目时，允许返修
14、后对不合格项目重新进行检验。重新检验合格，则判该产品质量一致性检验合格;若重新检验仍不合格，该产品质量一致性检验不合格。返修次数不得超过2次。SJ/T 11259-20018标志、包装、运翰、贮存8.1标志制冷机低温泵标志用彩色不干胶纸制造，内容包括:a)产品名称;b)产品型号:c)制造单位名称和地址;d)制造日期;e)出厂编号。8.2包装8.2.1制冷机低温泵外包装采用专用木制包装箱，内包装按部件用塑料布软包装，并以油毡作箱体内衬，箱内以泡沫塑料固定。8.2.2制冷机低温泵要求防尘、防潮、防雨，并有防震保护，箱内应有使用说明书、装箱单和合格证，合格证上注明:a)制造单位;b)产品型号;c)检验日期;d)检验员章。8.2.3包装箱外壁应具有GB 191规定的“向上”、“易碎物品”、“怕雨”等标志，并注明毛重和外形尺寸(长x宽、高)。8.3运物包装箱在起吊、运输过程应小心轻放，避免冲击、碰撞和雨雪直接淋袭。8.4贮存制冷机低温泵应在一10 0C-40 0C条件下贮存，贮存环境应保持洁净、通风、无腐蚀性气体.
