1、设备完好要求和检查评定方法(下册)专用设备(续)中华人民共和国电子行业一标准SJ/T 31248-94CLS一37型激光调阻机完好要求和检查评定方法主.内容与通用范.本标准规定了CLS-37型激光调阻机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于CLS-37型激光调阻机。完好要求2.1精度2.1.1调阻精度允差:士0.050002.1.2相对精度允差:镇土。.5X.2.1.3重复精度允差:S土。02mm.2.2主要性能2.2.1激光输出功率:2-2.5W.2.2.2调阻面积:76. 2 X 76. 2mm.2.2.3聚焦深度范围:1. 02-1. 39mm.-2.2.4射频调制频率范围:0-51k
2、Hz2.3操作系统2.3.，各操作开关，按钮，启动灵活，定位可靠，标志齐全。2.3.2步进小盒控制正常，定位准确。2.3.3监示系统调节正常。2.4电气系统2.4.1各元器件齐全、完整，无老化现象;性能良好，工作可靠。2.4.2电气性能良好，运行可靠，保护装置齐全、有效。2.4.3线路完整，绝缘层无破裂，无漏电现象。2.4.4电气柜内部清洁，线路布置整齐，标志齐全、明显，各端子紧固无松动现象_2.4.5仪表齐全、完整无损，指示灵敏、准确，有有效期内校验合格证。2.5微机控制系统2.5.1各开关、按钮、操作键完整无损，动作灵敏、可靠，控制装置各组成部分保持完整.、功能齐全，性能稳定，工作状态良好
3、，显示清晰。2.5.2显示器能正常显示通电自检的正常信息，微机系统通电自检功能必须正常。2.5.3输入/输出程序正确无误。2.5.4打印机、穿孔机与主机接口良好，工作正常。中华人民共和.电子工业臼1994-04-15批准1994-06-01实施758S,1/T 31248-942.5.5装置内部清洁，布线整齐，线路无老化、破裂，各线路标志齐全、正确。ZL乐6.2,5,6所有裸器导体件f包括外壳)，必须与保护接地端子构成通路，保证有永久良好的导电性，保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大于。.10.2.5.7故障诊断软件工作正常。2.6激光系统2.6.1氮一氖激光系统
4、定位准确。2.6.2忆铝石榴石激光器发射正常，调阻正确，刻痕边缘清晰。2了附属装置2.7.1去离子水冷却系统畅通，无泄漏。2.7.2自来水冷却系统畅通，清洁，无泄漏。水压不低于。. 24MPa，出水温度不豪于39C.2.7.3稳压装置齐全，工作正常。2.8安全防护2.8.，各安全防护装置齐全，完整，工作可靠。2.8.2接地(零)可靠，标志明显。2.8.3护目镜清洁，完整。2.9维护保养2.9.1设备各装置连接可靠，整齐。2.9.2去离子水定期更换。2.9.3其他按SJ/T 31002-94设备维护保养通则中第兰章执行。检查、评定方法检查方法标准中激光调阻精度和相对精度检查:用数字式电阻表对5-
5、10片试件测量比较。标准中重复精度检查:用显微镜对同一试件进行五次重复定位观察探针接触点的变司.月口卜JIJee3.23.2.3标准中激光输出功率检查:用激光功率计将A灯电源调至15-20A测量。4微机系统检查:用制造厂提供的测试卡确认各项工作正常。5对各系统完好要求所列内容，均采用主观法检查评定方法1标准中2.1.1,2.1.2,2.1.3,2.2.1,2.2.2,2.2.3,2.2.4,2.4.2,2.5.1,2.8.1,2.8.233.3.3.化33.3为主要项目，其余为次要项月。水2.3主要项目有一项不符合要求，为不完好设备;次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。3.2.3完好设备的维护保养要求，应达到优等设备标准。附加说明:本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标准由国营宏明无线电器材厂组织起草。本标准主要起草人:包于成759
