1、UDC 中华人民共和国留家标准P GB 50472 - 2008 电子工业洁净厂房设计规范Code for design of electronic industry clean room 2008 - 12 15 发布2009 - 07 -01实施中华人民共和国住房和城乡建设部联合发布中华人民共和医画家质量建监督栓验栓疫总局中华人民共和国画家标准电子工业洁净厂房设计规范Code for design of electronic industry clean room GB 50472 - 2008 主编部门:中华人民共和国工业和信息化部批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部随行日期:2 0
2、09 年7 月1 日中国计划出版社2009北京小华人民共和同国家怀、1ft电子工业洁净厂房设计规范G巳50，172-2008A 平f1华人民共平M司工业和信息化lIl主编rll司计划出版衬1111扳(J也J11:北京市附城区水掷地:Itm月JlJ号向宏大股C座4层)( IJJlli攻编码:1 00038 电话:6390643363日0638) 新华书店北京发行所发行i业界知识印刷厂印刷850/1168毫米1/32 5.5印张139千字2009 ;F :;月第1版白09年5月第I次印刷E口量生1-10100册女统一书号:1580177.176定价:28.00元中华人民共和国住房和城乡建设部公告第
3、200号关于发布国家标准电子工业洁净厂房设计规范的公告现批准电子工业洁净厂房设计规范为国家标准，编号为GB 504722008，自2009年7月1日起实施。其巾，第3.2.14.3.3(1)、5.4.2、5.5. 6、6.2. 1、6.2.6、6.2. 7、6.2. 8、6.2.9、6.3.1、7.1. 6、7.5. 1、7.5.3(1、2、4、5、6、7、8)、7.5. :1、7.5. 6、7. 6. 1、7.7.2、7.7.7(2、3)、8.3. 1、8.3.2、8.5. 1、8.5. 2 (l )、8.5.3(3)、9.2.3(3、4、5)、10.1. 5、10.1. 6、10.1.7(
4、2、3)、10.1.8(1、3、4)、10.2. 5、10.2. 6、10.4. 2、10.4. 3 (1、2、3)、10.4.5、11.2.10、2、3、5、6、7、8)、11.2. 2、1.2. 3、11.2. 5、11. 3. 1、12.1. 8、12.2.3(1)、12.2. 4、12.3. 2、12.3.4(1、:)、12.3.6、12.3.7、12.3.8、12.4.4，13.2.1(2、川、13.3. I!条(款)为强制性条文，必须严格执行。本规泡由我去j标准定踊研究所组到中自-!矗立。出版主UH版发行。中华人民共和国住房和城乡建设部二OOJ，.年十工月十五自别吕本规程是根据建设
5、部关于印发(2005年工程建设都rtt规班制订、修订计划(第二批川的通知(建际函(2005J124号)的要求，由中国电子工程设计院会肉有关单位编制完成的。本规范在编制过程中，编制组结合我国电子工业洁净广房设计建造和运行的实际情况，进行了广泛的拥查研究，收集整理相关的专题报告、测试资料，认真总结多年来电子工业洁净厂房设计ill造和运行方面的经验，广泛征求了国内有关单位的意见，最后经市查定稿。本规范共分15章和4个附录。主要内容有:总时、术语、电子产品生产环境设计要求、总体设计、工艺设计、洁净建筑设叶、空气净化租空调通风设计、给水排水设计、纯水供应、气体供应、化学品供应、电气设计、防静电与接地设计
6、、噪声控制、融据控制等。本规Vi1中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。本规范由住房和l城乡建设部负责管理相对强制性杂文的解释，由中国电子工程设计院负责具体内容的解释。本规范在执行过程中，希望各有关单位结合工程实践，认真总结经验，若发现常要修改和补充之处，请将意见和有关贤和寄至中国电子工程设计|览电子工业洁净厂房设计规范管理坦(地址:北京市悔淀区万寿路27号，邮政编码，100840，传真，010-68217812，E-mail: xillo hongmeice巳. cn) ，以供今后房改IIt参考。本规范主编单位、参编单位和主要起草人:主蜗单位:中国电子工程设计-院参蠕单位:信息产业
7、电子第十一设计研究院有限公司上海电子工程设计研究院有限公司-l . 深圳市电子院设计有眼公司中国电子系统工程第二建设有限公司北京11瑞电子系统工程设计院主要起草人:I的iiZ新奈字:扎晃阳张利群王唯菌芙妃程京(赵悔高艳敏王毅者Jj与主J:tf手李杰李锦生路振福章光护台V!f杰钟景华牛光宏张晓敏f可志刚l踪骗焦l贝伟 ? 自次l总则(1 ) 2术语(2 ) 3 电子产品生产环境设计要求( G ) 3.1 一般规定.( 6 ) 3. 2 生产环境设计要求(G ) 4 总体设计( 8 ) 4. 1 位置选择和总平面布置也啕(8 ) 4. 2 洁净室型式( 9 ) 4. 3 洁净室布置和综合协调(9
8、) 5 工艺设计( I 1 ) 5. 1 一般规定5.2 工艺布局5. 3 人员净化5. 4 物料净化( I 1 ) ( 1 1 ) ( 1 2 ) ( I 3 ) 5. 5 设备及工部具.唱.(1 3 ) 6 洁净建筑设计门川6. 1 一般规定啕.门川6. 2 防火和疏散( 1 6 ) G. 3 室内装修唱.(1门7 空气净化和空调通风设计( 1川7.1 一般规定( I川7.2 气流流型和送风盘(20) 7.3 净化空间系统.(2 1 ) 7. -1 空气净化设备川川7.5采i陵、i垣Vl&. . . . . . . . . . . . . . ., . . . .、. . . . . .
9、.( 23 ) 7.6 扫卡切. ( 25) 7.7 风臂、附件(2 5 ) 8 给水排水设计u门8. J 一般规定 e . . . . (2门8.2约lj(. . . GB50016的有关规定。火灾危险性分类举例见本规范附录BD6.2.3 洁净厂房内防火分区的划分，应符合现行国家标准建筑设计防火规;在)GB50016的有关规定。丙类生产的电子工业洁净广房的洁净室(区).在关键生产设备设有火灾报智利1灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01 %obs/m的高灵敏度lflW1火灾报瞥探测系统后，其每个防火分隘的最大允!f建筑丽职可按生产工艺要求确定。6.2.4 洁净室的上技术夹层、下技术夹层
10、和1洁净生产层，当按其构造特点和用途作为同防火分区时，上下技术夹层的面积可不计人防火分区的建筑面积，但应分JlIJ采取相应的消防措施。6.2.5 洁净室的顶棚平tl墙报、技术坚井井壁的材质选择，应符合现行国家标准洁净广房改汁规范11GB50073的有关规定。6.2.6 在结合性厂盾的一个防火分区内，洁净生产区域与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断设施。不燃烧体隔断设路应符合现行国家标准洁净厂房设计规范G50073的有关规定。6.2.7 洁净厂房的安全出口的设置，应符合下歹lJ规定:1 每一生产层、每个防火分区或每一洁净室的安全出口数目，应符合现行国家标准洁净厂房设计规范)GB50073的有关规
11、定;2 安全出口应分散布置，并应设有明显的疏散标志;安全疏散距离应持合现行国家标准建筑设计防火规范GB50016的有关规定。安全疏散用门应向疏散方向开启，并应设现翠玉皮璃窗;3 丙类生产的电子工业洁净厂房，在关键生产设备自带火灾报瞥和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严子。.01%obs/m的高灵敬度阜器*-究捏瞥探jj!IJ系统菇，安全疏散距离可按工艺需要确定，但不得大子本条第2款规定的安全疏散距离的1.5倍。注:对子玉在理基板尺寸大于1500mmX1850mm的TH-LCD厂房，应洁净生产区人员密度小子。.02人/n币，其疏散距离应按工艺需要确定，但不得大于120mo6.2.8 洁净厂房的洁
12、净区各层外墙应设置专用消防口，并应持合下歹IJ规定:1 洁净区各层专用消防口的设计，应符合现行国家栋准洁净厂房设计规茹)G50073的有关规定;2 洁净厂房外墙上的吊门、电控自动门以及装有栅栏的窟，均不应作为专用消防口。6.2.9 洁净厂房内有爆炸危险的房间应靠建筑外墙布置，且不得与疏散安全口(楼梯间)贴邻。有爆炸危险的房间的防爆措施、泄爆面积等应特合现行国家标准建筑设计防火视范)G50016的有关规定。6.3室内装修6.3.1 洁净厂房的建筑围护结持和室内装修，应选用气密性良好，旦在温度和温度变化时变贯主小的材树。洁净室装饰材料及其密封材料不得采用释放对电子产品品质有影晌物质的材料。装修材料
13、的燃烧性能应符合现行国家标准建筑内部装修设计防火规范G50222的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50，材料的烟密度等级应符合现行国家标准建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法)G/T8627的有关规定。6.3.2 洁净室内墙盟和1顶棚的装修应符合下列要求:1 J宜f!l，tl足使月jJJ陆的要求，且表即由平报、光币f、不起尘、jiif免1I主光、便于清洁，升:1.哑Viit少凹凸而;2 当采用踢JI却时，i肌肉i不:m:突11JM而06.3.3 洁净室楼地而设计应符合下列要求:1 1.咀满足电子产品生产T艺和l设备安装要求;17 2 应平整、酣睡、易清洁、不易积聚静电、避免眩光、不开裂、耐
14、撞击等:; 3 地面宜配筋，并应做防潮掏造。6.3.4 洁净厂房技术夹层的墙壁幸u顶棚应满足使用功能要求，且表而应平整、光泪。位于地下的技术层或技术夹层应采取防水或!j湖、l珩璋措施。6.3.5 当洁净厂房设置外窗时，应采用现层固定窗，并应有良好的气密性，同时应采取防结路措施。6.3.6 洁净室(区)门窗、墙壁l、顶棚、地面、楼面的设计应符合下列要求:施;1 应满足使用功能的要求，构造和施工维牒应采取密闭情2 顶棚!以上的技术摆或技术夹层宜设捡修通道;3 洁净室(区)不宜设窗台;4 当植面采用活动地报时，活动地板材质和支撑方式应提据电子产品生产工艺要求选择。6.3.7 用于电子产品生产的洁净室
15、(这)的墙板和顶棚，宜采用轻质壁极构造。18 7 空气净化和空调通风设计7.1一起规定7. 1. 1 洁净厂房内各洁净室(区的空气洁净度等级，应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。7. 1. 2 气流流型应根据各洁净室(区空气洁净皮等级白电子产品工艺特点的不同要求选用。7. 1. 3 有下列情血之一者，净化空调系统宜分开设置:1 运行班次或使用时间不同;2 生产过程中散发的物质时其他工序、设备交叉污染，对产品质量或操作人员健康、安全有影响;3 对i1fiI、湿度控制要求差别大;4 洁净室区)内工艺设备发热相差悬殊;5 净化空调系统与一般空调系统;6 系统风量过大的净化空调系统。7. 1.
16、 4 洁净室(区)内的温度、相对温度应符合本规范措3.2. 3条的规定。7. 1. 5 洁净室(区内的新鲜空气量应符合现行国家标准时古净厂房设计规范)GB50073的有关规定。7. 1. 6 洁净室区)与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应符合下列规定:1 各洁净室(区)与周围空间的静压差应接生产工艺要求确定;2 不同等级的洁净室(区)之间的静压差应大子等于51、;3 洁净室(旺)与非洁净室(区)之间的静压是应大于51、;4 洁净室(区)与室外的静E差应大于lOPao7. 1. 7 i古净室(1豆)封主持静压差植所需的压差风盘，宜果m姐W(-j f6 l . ;去或换气次数法确定。7. 1.
17、 8 边风、四凤和l排风系统的启闭联组ii、控制要求，l日符合现行国家标准G巳50073的有关规定。7. 1. 9 :11:连续运行的洁净室，可棍据生产工艺要求设置值班送j豆l.:J: J主进行净化处到!。7. 1. 10 洁净室(!3: )的iff扫方式应眼据洁净厂房的规模、空气洁净皮等组等四紫确定。洁J争室(区)宜采用移动式高效真空l吸尘器。对于空气洁净JJ1等组为15级的洁净室宜设置集中式真空l肢尘系统，洁净室内的l吸尘系统管道应11音散。7.2 气流流型和送风盛7.2.1 气流流型的设计，l主符合下那要求:1 气流流型应满足产品生产工艺和空气洁净度等级的要求。空气1f严ftJJt等级为
18、15级时，应采用单向疏或氓合流;空气洁净皮等级为69级H才，宜采用非单向流;2 7占1争室工作区的气流流速应满足生产工艺和工作人员哇m Ij要求。7.2.2 洁净室的送风盛.应符合现行国家标准(洁净厂房设计规范)(;1350073的有关规定。7.2.3 的净室(区)所需的满足空气洁净度等级的洁净迭风量和气?血流型，宜战表7.2.3计算。表7.2，3洁净送风最(静态)和气流流型空气fifj，IJ.等级气流流1凹平均风i且;(m/s)1(1:可流成混合流0.20-0. .15 斗l!yJ_1句1任7 JI J!t 1:;流H9 斗lIy! I;j lf. Ll 1央气次放jJ)lFJ之后向小子1.
19、0m的洁净交。2 室内人员少、热i町、i少l时，采用下限的回 20 J臭气次数(h-) SO60 1525 1015 7.3 净化空调系统7.3.1 洁净厂房中的净化空调京统可分为韭中式净化空调系统和分散式净化空调系统。净化空调系统的型式应提据洁净厂房的规模、空气洁净度等级和产品生产工艺特点确定。洁净室(区面积较小或只有局部要求净化时.宜采用分散式净化空调系统。1.3.2 洁净厂房的洁净室(区)迭)xl方式可分为集中送风、盹迫送风、风机过墟器机组送风等。应按据洁净室(区)使用功能和降陆能量消耗的要求，经技术经济比较，采用运行经济、节约能源的送风方式。7.3.3 净化空调系统新风的室外版入口位置
20、，应远离本建筑或其他建筑物排放有害物质或可燃物的排气口。7.3.4 多套净化空调系统同时运行或较大型电子工业洁净厂房的净化空调系统的新风，应集中处理。7.3.5 净化空调系统设计应合理利用四风，但下列情况不得lill凤:1 在生产过程中向车间内散发的有害物质超过规定时;2 采用局部处理不能满足卫生要求时;3 对其他工序有危害或不能避免交叉污束时。7.3.6 净化空调系统需设置电加热时，应选用不产尘的电1J1l热器，且应布置在高放过指器的上风fpJJj，.=Ji工应采取安全饵护措施。7.3.7 净化空调系统的电加j显器应采取安全保护措施。1.3.8 根据气象条件，存在冷味可能的地区，新风系统.采
21、取防冻保护措施。7.4 空气净化设备7.4.1 空气过滤器的选m和布置应符合下列要求:1 空气过昨器应极据空气洁净度等级i创刊: 21 2 空气过捷器的处理风盘应小于或等于额定风量;3 1:1效(高中放)空气过植器宜集中设置在空调箱的正压段;4 高效(亚，离去生)空气过览器宜设置在净化空调系统的末端:超高放空气过昨器应设置在净化空调系统的末端;5 可-争化空调系统内末端安装的高效亚高究生、超高究生空气过昨器的阻力、效率应相近;6 同一净化空间系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过昨器的使用风盘与额定风i宜之比值宜相近;7 月化学75!4-物有控制要求的洁净室(区)，在净化空调系统中应服据
22、环境条件设置化学过览器或其他去除装置;8 高效(亚高效、超声i放空气过昨器应采用不燃或难燃材料H司作。7.4.2 风机过出器肌姐的设置应符合下列要求:1 J日棍据空气洁净度等级和送风盘选用;2 应按洁净室(区)内生产工艺对气流流型的要求布置;3 终阻力时的叠加l晓声及振动应满足生产工艺丰f1本规班的册定;4 送风i茸应能调节;5 J直便于安装、主任:修及过滤器更换。满布或布置率较高时，外壳强)J，J主满足检修要求。7.4.3 芸流罩的设置应符合下列要求:1 洁净室(区)内等于戒严于5级的局部净化区域宜采用层肮罩;2 芸流型的形式和ill风方式应根据生产工艺或设备需要选., l ESP -3 终
23、阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规艳的规定;4 安装方式不应影响生产操作。7.4.4 微环境装置的设置应符合下列要求:22 1 当生产工艺或设备对空气洁净度等级、外扰或温度、相对湿度有较高要求，且所控区域不大时.宜采用i散环境装置:2 敬环境装置宜与生产工艺设备配套:3 在不影响工艺操作的前摆下，应具有可靠的密闭性，内外表面应平整、光滑;4 围挡构造、材料的选用应方便生产操作。7.4.5 干表玲器的设置应符合下列要求:，.坷，及三;1 安装位置、夕|、形尺寸应提据洁净厂房的平面和1空间布置I内2 迎面风速、结持形式应根据洁净室(区)冷负荷、风机过槛器机组所提供的机外余压确定;3 冷陈水
24、进水温度，宜高于洁净室(区内空气的路点由度;4 应设置排水设施。7.4.6 净化空调系统空气处理机组的选用和布置，应符合下列要求:1 应有良好的气密性，漏风率不得大于1%;2 整体结构应有足够的强度和刚度，内表团JJI平型、光滑，外表面不应结路;3 布置应整齐，井应便于运行和1fli 11彦;当多套空气处理机组为同一洁净室(区服务时，宜选用相同规，前的空气处理机组;4 送风机宜采取变频调速措施。送风机可接净化空调系统的总风量和总1m.力值进行选择。1-1-Z号:系统总阻力时，中放(高中效)、高敢(亚高效、超高效)空气过撑器的阻力宜投其初阻力的1. 52. 01音1I!l.值;5 J1!L设j!
25、tll水装置。7.5 采暖、通风7.5.1 空气洁净度等级严于8级的洁净室(区)不应采用散热器采眶。23 7.5.2 洁净厂房内产生柑尘和有害气体的工艺设备和1辅助设备，应设置局部排风装置，排风罩宜为密闭式。局部提1:风系统单独设置的要求，应符合现行国家标准洁净厂房设计规市GB50073 的有关规定。7.5.3 洁净室(13:)的排风系统设叶，应样合下列要求:1 应防止室外气流倒灌;2 含有易燃、易爆物质的高部排凤系统应按其物理化学性质果取相应防火防爆擂施;3 局部提F风系统排出的有害气体当其有害物质rX度超过排放际准时，应采取有效处理措施。排气管高度和排放速率应满足国家现仔有关排放;标准的规
26、定;4 对含有水蒸气或凝结物醋的排凤系统，应设置坡度及排放口;5 排风介质中含有剧毒物质时，应设置备用排凤棋和处理设备军井应设置应急电iW-;6 排风介质中含星期、易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时，应设置备用排风在11，并应设置应草电源;7 排除有爆炸范险的气体和勒尘的局部排JXl系统，其凤量应按在正常运行租事故情况下，凤营内爆炸危险气体如粉尘的琅度不大子爆件下限的20%计;8 排除有爆悻撞撞气体和精尘的局部排凤系统，m设置消除静电的撞地装置。7.5.4 对排凤系统中含有毒性、爆炸危险性物质的排气管蹄，应保持相对于路由区域-定的负压值。7.5.5 净鞋室、更外衣室、盟洗室和厕所等生产辅助房
27、间，应采取通风措施。7.5.6 洁净室(区)事故排凤系统的设计，应特合下列规E:1 事故排凤区域的换气次数不应小于12次/hj2 应设置自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设置在 24 洁净室(区和洁净室(区外便于操作的地点;3 应设置应急电源。7.6排烟7.6.1 洁净厂房中的疏散走圃，应设置中几柑排娼设施。7.6.2 洁净厂房排坦设胞的设置应符合现有国家都J(t(毡筑设计防火规范)iGB50016的有关规定。当同一防火分区的丙类洁净室(区人员密度小于0.02人1m，且安全疏散距离小于80m时11ft净室(区)再不设机械排烟设施。7.6.3 机械排烟系统宜与通风、净化空调系统分开设提;当合
28、月1日才.应采取防火安全措施，Ji二应符合现行国家际f1EKill筑设计防火规范:GB50016的有关M定。7.6.4 布:械排;明系统的凤盘、排烟口位置、风机的设置，应符合现行国家标准建筑设计防火规范GB50016的有关规定。7.7 凤管、酣件7.7.1 争化空调系统的新风i挝人管应设置|自(flJ槌装监;送、回风管宜设置调节间。7.7.2 净化空调系统风营的防火阔的设置，应符合现行国家际准洁净厂房设计班范)G50073的有关规定。含有可燃、有毒气体或化学品的排凤管道，不得i莹莹悟片式耐火闹。7.7.3 净化空调系统的风管、配件、过滤器以且密封材料等，应根据输送空气的沾印度要求确定，:-Ji
29、:不得采用释放对归于产品有H1I向物质的材料。7.7.474净宝(I主)内W:风系统的jxl肾、阀门、拥件的制作材料科i涂料，应根据排除气体的物理化学性质且其目处的空气J科克条件rdn定，井不得与r输送介质发生化学反应或引起安全丰收的发生。7.7.5 净化空调系统的送、rm风总管二，应采取悄声ilJ!，iJ毡，Jl.山满 25 足洁净室(区内i黯声控制的要求。洁净室(区)排凤系统，应来取消声措施，井应满足室内外眼声标准的要求。7.7.6 在集中投置的空气过措器的前后，应设置测压孔或指针式压差计。在新风管、送风、回风，住管段上，应设置风量测定孔。7.7.7 风管制柯:及辅助材料的防火性能，应符合
30、下列规定:I 净化空调系统、持1:风系统的风管应采用不燃材料i拙作，但接触J握他性介质的风管和柔性接头可采用XlE燃防腐材料制作:2 排烟系挠的风管应采用不燃材料制作;3 附件、保温材料和消声材树等均应采用不燃材料就难燃材料。 26 8 给水排水设计8. 1一般规定8. 1. 1 洁净厂房的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术夹道内，并宜敷设在通行的技术夹层内。条件合适时，也可J旦地散设。洁净室区)内管道宜暗装，与本房间无关的管道不应穿过。8. 1. 2 穿过洁净室的水管道，应棋据管内水温和所在房间的温度、温度确定照热防结露措施。当采取隔热前结路措施时，其外表面应光滑、平整。8. 1. 3 给水
31、排水管道穿过洁净室(区)墙壁、楼板和I!棚时应设置套管，管道和套管之间应采取密封暗施。8.2 生合7.1CB50370和二氧化碳灭火系筑设i十规也)GB50193的有关规定;3 存放可燃气体钢瓶的特气柜中应设置自动灭火设施。8.5.4 洁净厂房内各场所应配置灭火器，并应符合现行国家怀1!建筑灭火器配置设计规范)GB50140的有关规定。 29 9纯71GB50016、氢气站设计规泣):GB50177平11:(氧气站设计规?在)GB50030等的有关规定e10. 1.-+ 洁净厂房内的气体营造的干管，应散设在技术夹层或技术夹道的口当与水、电管线共架时.tt空气童的气体告:谊宜设在水、电管线下音1
32、:l仁空气轻的气体管道1立性:(水、F.管坟上部c10. 1. 5 洁净室(旺)内的可燃气体营造和有毒气体管道应明散，穿过洁净室(区)的墙壁楼摄处的管殷应设置套管，套管内的管道不得有埠埠，套营与管道之间距采取密封措施。10. 1. 6 可燃气体营造和有王军气体管道不得穿过不使用此类气体的房间;当必须穿过时应设套营J，1Z层膏。10. 1. 7 苟纯气体管道没-I-应付合下别规定:1 管径应按气体容咛流盐、压力或生产工艺设备确定，管夕|、径不宜小子6mm.壁J事不宜小于lmm;2 不得出现不易政酷的盲智等死空间;3 管道系统应i茸茸政扫口和取样口。10. 1. 8 洁净厂房的可燃气体管i道系统l
33、jiz设置下列安全世班:1 可燃气体管道量阀门时应设置阀门丰富，阀门箱应设置气32 体浩浩报警和事故排风装置，报警装置应与梧症的事故排风机联锁;2 接至月3气设备的支管和放散管，宜设置阻火设施:3 号|至室外的放散管，应设置防雷保护设撞;4 应设置导除静电的撞地设施。10. 1. 9 气体过法器应根据产品生产工艺对气体洁净度的要点进行选择租配置。终端气体过aE器)H_设置在靠近用气点处。10.2 常用气体系统10.2.1 常用气体供应系统宜在工厂内或邻近处设置制气装置或采用外购液态气体、服装气体。10.2.2 氢气、氧气管道的终端或最高点应设置放1世肾。氧气放散管口应设置阻火器。放i技管引至室
34、外，应商HlLj王建筑的屋脊1m，并应采取防雨、防杂物侵入的措施。10.2.3 气体纯化装置的设置，应符合下列要求:1 气体纯化装置应根据气掘和l产品生产工艺对气体纯l亚、容许杂质含量要求选择:2 气体纯化装置宜设置在气体纯化问(古Jlj)内。当洁净厂房设有气本人口室时，气体纯化问宜与气体人口室合迎;3 各类气体纯化装置宜设置在同一气体纯化IYJ付Jlj) 1)号。若有特殊要求时，也可根据具体要求分别i立直在各自的气体纯化IhJI)q; 4 气体终端纯化装置宜设置在E邻近m气点处。10.2.4 i11人沽!fr厂房的气体管谊控制阀门、气体过出部、JIJ1I装置、压力表、流芷计、在线分街仪等，宜
35、:ft!Ijl设置在气体人l二l空。10.2.5 气体纯化间(站)或气体入口室内，设有氧气等可燃气体纯化装置或管道时，气体纯化间(站或气体入口室的火灾危险性应按甲提确定，并应符合下列规定:1 应靠外墙设置，并应设置防爆i世压设施; 3:; 2 氢气等可触气体引入管道上应设置自动切断间;3 应具有良好的自然遗风，并应设董事故排凤装置;4 应设置气体泄漏报警装聋，井应与事故排凤装置联锁;5 应投置导除静电的接地设施。10.2.6 洁净厂商内的革气管道等，应采取下歹IJ安全技术措施:1 管道及阀门、即f牛应经严格的盹醋处理;2 应设置导陈静电的接地设施;3 氧气引管道上应设置自动切断阁。10.2.7
36、 各种常用气体的气瓶库应集中设置在拮净广房，外。当日用气盘不超过lj阻时，气盹可设置在洁净室(1豆)内，但应采取不职尘和易于清洁的J昔施。10.2.8 气体管道和111可flJ.iv.根据产品生产工艺要求选掉，宜销合下列规定:1 气i本纯度大于或等于99.999999 %时，应采用内壁也抛光的ill眠不锈钢管，阀门应采用!自脏i同12 气体纯度大于!JX.等于99.999%、露点在于-7GCIlJ，宜采用内壁电fiil:W: fiGB13690的有关规定。11.1. 3 在洁净室(区)内使用危险化学品的生产设衍或空间，应采取相应的安全保护措施。11. 2 化学晶储存、输送11. 2.1 洁净厂
37、房内各种化学品1m存问(I豆)的设置，应持合下列规定:1 化学品储存间(区)的储噩不应超过i主化学品24h的消耗量;2 化学品应按物化特性分类储存;当物化性质不容许同库储存时，应采用实体墙分隔;3 危险化学品应储存在单弛的储存间或储存分配IB内，与相邻房间应采用耐火极限大子1.5h的隔墙分隔;4 危险化学11击存、分配|可:li;外J11f:1j垃;5 各类化学品储存、分配l司应设置机械排凤。机械排风应采用应急电源;6 易爆化学品储存、分自己间，应采用不发生火花的防静电地面;7 输送易燃、易爆化学品的管道，应设置导陈静电的接地i支蜡;8 接至用户的输送易燃、易爆化学品的单管上，应设置自动和手动
38、切断阳。11. 2. 2 洁净厂房内采用容器传送危险化学品时，应符合下列规定:1 严禁在出入口、疏散走回储存和分配市险化学品。洁净厂房内运送易燃化学品的走廊应设置自动页火系统;2 运送危险化学品的推车运载盘不得超过250L;单个容器的容量量不应超过20L;3 物理化学特性不相容的信险化学品不得采用同一推车运迭。11. 2. 3 当采用压力罐输送危险化学品时，应符合下列规定:1 输送系统设备、管道应采用与所输送的化学品相窑的材质;2 压力罐应设置;咸压迫风口，1，成压迫凤口的排气管应接至安全区域;3 输送系统应只窑许采用氯气增压;4 在分配和使用处应设置手动切断阀;5 应设置液位监控和自动关闭装
39、置，并应设置温流应对!i施。11. 2. 4 危险化学品的储存、分配间应设置排水系统，并应符合下列规定:1 含可燃液体的tll水，应tll:人相关的生产排水管道，不得排人易产生化学反应以及引起火灾或爆炸的排水管道;2 物理化学特性不牛EI容的化学品，应分别单到l设置排水系11. 2. 5 班恋危险化学晶的储存、分配间，应设置溢出保护设施，并应符合下列规定:1 储存罐或罐组应设置保护堤，保护堤堤内窑积应大于最大38 储罐的容军只或20min消防用水墨;保护理的高度不应低于500mm; 2 化学品相互接触引起化学反应的可献;在体储罐:9!z罐组之间，应设置黯堤，隔堤不得渗嚣;管道穿过隔堤时应采用不
40、燃材料密封。隔堤高度不应低于400mm;3 应追查液体泄露报警装置;4 应设置紧急淋浴和洗眼器。11.3 管材、由门11. 3. 1 化学品供应系统管道材质的选用，应按所输送化学品的物理化学性质确定，并应选择化学稳定性能良好和相容性好的材料。11. 3. 2 输送腐蚀性化学品的管道，可直接来月3非金属管材，但应设置保护套管。11. 3. 3 化学品输送管路系统，对多台生产设各供应化学:品时，应设置分配阀箱。11. 3. 4 输送有机榕剂的管道材质，宜采用低1能不锈钢管:输送酸、碱类管道材质，宜采用聚四报乙烯。用于管ill系统的垫片，宜采用氟橡胶或聚凹氟乙烯。11.3.5 用于化学品管路的阀门材
41、质应与管道材质一致。 39 12电气设计12.1配电12. 1. 1 洁净厂房的用电负荷等组租拱电要求，J蓝眼据电子产品生产工艺及设备要求和现行国家标准时共配电系统设汁规范GB50052的有关现定确定。12. 1. 2 洁净厂房-低f&配电电压等组j直符合生产工艺设备用电要求c带电导体系统的型式宜采用单相二线制、三相三线削、兰栩凹全是制e系挠接地盟式宜采用TN-S或TN-巳S系统。12. 1. 3 电子产品生产用主要工艺设备，应由专用变压器或专用假压攒电线路供电。对电视连续性有特妹要求的生产设备、功力设备，宜设置不!可断电海或备月1发电装置等。在洁净室(区内宜设置1虫立的检惨电7束。口.1.4
42、洁净广膺的净化空调系统(含制晗布l).应由变电所专线f共电台12. 1. 5 洁净厂房的电却ill钱(不包括悄!好电踊进线J豆设置手边jtJf前装置.手均切断装置宜没茸:(Ei:占净室(豆剑、便于操作管理的场汗。12. 1. 6 洁净室(!豆内的配电设备.J主i主持不易于只尘、匣子;需J式的小型、暗装设备，不宜设置落地安接的配电设备。配电设备宜设直在下技术夹层，并应在顶部设挡71GB50116的有关规定。当防火分区哥扭超过现行国家梅准建筑设计防火如范)GB50016规定的最大建筑面租允许值时，保护等级应为一辑。12.3.3 洁净厂爵的消防控制室不应设在洁净室(区)内。lI珩专用电话总机的设置应
43、符合现行姐家;自1tGB50116的有关规定。12.3.口洁净厂房内的各类安全探护系统均应可靠接地，系统挠地应柯合现行居家栋准火灾自动报警系统设计a规1iDGB50116 的有关规定。12.4自动控制12.4.1 洁净厂房的自动控棋系统宜采用集散式网拮结构，并应具有稳定、可靠、节能、开放和可扩展性。12.4.2 洁净厂房应封净化空调、供热、供玲、纯7GBJ87的有关规定。14. 1. 3 洁净室(区)的E噪声控制设汁的噪声级(空态)应符合本规范第3.2.5条的规定。14. 1. 4 洁净室(区)的1噪声频谐限制值，应采用借频程声压级，各频带声压级应符合现行国家标准洁净厂房设汁规班)GB5007
44、3 的有关规定。14.2 蝶声控制设计14.2.1 洁净厂房的平町、空间布置时，应根据I噪声控制要求布置，宜集中布置发声设备。14.2.2 洁净室(区)内的各种设备均j直选月g1噪严j7:.IWI。对于辆射噪声值超过规定的设备，应根据设备的特性、夕|、形尺寸等因素采取阵假声惊眼声的|喝声设施。洁净室的1;1刑户结构应具有良好的j高声性能。14.2.3 净化空调系统、公月jlj)j力设括和输送管道咛;Ni 111厂j茸的主要i噪声源，应采取闹声、悄声、阳4J等睐声控制jlII!Jli!:0空阴1nW、Z_;J力鸟li房宜采取下列措施:1 El 41站附宜采取l监Fi牙利11喝声处理;2 对牺射i
45、噪声值超过规定的世备，应i业Jit1同lhIJj、IW严刑或悬挂吸声体等;1 !J 3 机房、站房内控制室的围护结构，宜采用陪声性能良好的材料。14.2.4 拮净室(l主)内的各类排风系统(不包括事故排风系统)应设置悄声器等!珠峰设施。50 15微振控制15.1一般卸定15. 1. 1 洁净厂房的做振控制设施的设计应分阶段进仔，应包括设计、施工和投产等各龄段的微振动翻试、厂房建筑结胸i放报控制设计、动力设备用振设计和精密仪器设备隔振设计等。15. 1. 2 设计有做报控制要求的洁净广房时，应相合下列规定:1 总平面布置时，应核实相邻厂房、建筑物或前筑物对精密设备、仪器的振动影响;2 设有精密设
46、备、仪器的洁净厂崩，其建筑基础构造、结构选型、|再振缝的设置、洁净室装修等应按做振控制要求设计;3 对设有精密设备、仪器的洁净室(区)有振动影响的动力设备及其管道，应采取主动隔振措施F4 洁净室(区)内精密设备、仪器，经测试确认受到周i主l振动影响时，应采取被动l璃振措施c15.2 容许振动值15.2.1 辙振动控制设计应根据精密仪器、设备的特性，采取综合隔振措施，并应满足容许振动值的要求。15.2.2 精密设备、仪器的容许振动值物理盘的表述，应采m时间;域或频率域的振动加速度、振动速度和振动位移等。15.2.3 精密仪器、设街的容许躁动值，应由制造商提供0元法晌定时，可按本规范附录C写X:t
47、N据;14:工作特性确定。15.3 微振动控制设计15.3.1 洁净厂房的做振动控制j设计，应按下列阶段进行础报功iffllJ 式分析:1 J易地环境指导j测试及分析;2 f净厂房建筑结构撮动特性测试及分析:3 和密设在干、仪器安装地点环境振动测试及分析:4 世报动控llJlJ1:主终j11JA及分析。15.3.2 有版振动控制要求的洁净室(旺)，其建筑结梅的做撮功控制设片，应符合下列规定:1 建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上，且基础应有足路附1度;2 应设置祖!立的主li筑结向做振i;JJ控制体系，并应与厂房主体il;向分|嘀;3 主体结构应假据微振动控制的要求，适当加大梁、柱、J由、基础H
