GB 50724-2011 大宗气体纯化及输送系统工程技术规范.pdf
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1、c m 中华人民共和国国家标准C(;B P GB 50724 - 2011 大宗气体纯化及输送系统工程技术规范Technical code for bulk gas purification and delivery system engineering S/N:1580177.761 局二号卡王伊2011- 07 -29发布2012 - 08-01实施统一书号:1580177.761 定价:17.00元中华人民共和国住房和城乡建设部联合发布中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局9 11 B. 8. 7l I77 (j r. ll 中华人民共和国国家标准大宗气体纯化及输送系统工程技术规范Tec
2、hnical Code for bulk gas purification and delivery system engineering GB 50724 - 2011 主编部门z中华人民共和国工业和信息化部批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期:2 0 1 2 年8 月1 日中国计划出版社2012北京中华人民共和国国家标准大宗气体纯化及输送系统工程技术规范GB 50724-2011 女中国计划出版社出版(地址:北京市西城区木樨地北里甲11号国宏大厦C座4层)(邮政编码:100038电话:6390643363906381) 新华书店北京发行所发行北京世知印务有限公司印刷850X 1
3、168毫米1/32 2. 75印张67千字2012年2月第1版2012年2月第1次印刷印数1-4000册1传统一书号:1580177 761 定价:17.00元中华人民共和国住房和城乡建设部公告第1111号关于发布国家标准大宗气体纯化及输送系统工程技术规范的公告现批准大宗气体纯化及输送系统工程技术规范为国家标准,编号为GB50724-2011,自2012年8月1日起实施。其中,第3.O. 3、3.0.4、5.O. 5、6.2.2、6.2. 3、6.2.5(1、2)、6.4. 1、6.4.2、6.4.3、7.0.1、7.O. 3、7.O. 4、7.O. 6、8.0.1、8.0.4、10.0.3、
4、10.0.5(1、3)、10.O. 8、10.0.10、11.3. 7(9、10)条(款)为强制性条文,必须严格执行。本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。中华人民共和国住房和城乡建设部二O一一年七月二十九日川卢飞v圳、如电啥?良精密常联目。昌本规范是根据原建设部关于印发(2006年工程建设标准规范制定、修订计划(第二批)的通知)(建标(2006J136号)的要求,由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司会同有关单位共同编制而成。本规范在编制过程中,编写组结合我国电子信息产品制造业等工厂大宗气体纯化站及输送系统设计、施工、安装、运行的
5、实际情况,进行了大量的调研,对国内外相关规范、产品进行了深入研讨,先后完成了初稿、征求意见稿、送审稿、报批稿的编写,并以多种方式广泛征求了国内各设计院、工程公司、生产厂商和使用单位的意见,并反复讨论、修改,最后经审查定稿。本规范共分11章和3个附录,主要内容包括:总则、术语、站房布置、工艺系统、设备选择、高纯气体输送系统、建筑结构、采暖通风与空气调节、给水排水及消防、电气及仪表控制、施工及验收等。本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文,必须严格执行。本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文.的解释,由工业和信息化部负责日常管理,由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司负责具体技
6、术内容的解释。在本规范执行过程中,请各有关单位结合工程实践,认真总结和积累经验,如发现需要修改或补充之处,请将意见和建议寄至信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司(地址:四川省成都市新华大道双林路251号,邮政编码:610021;传真:028 -84333172),以供今后修订时参考。 1 本规范主编单位、参编单位、参加单位、主要起草人和主要审查人:主编单位:信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司中国电子系统工程第四建设有限公司参编单位:中国电子工程设计院上海正帆科技技术有限公司成都爱德工程有限公司上海电子工程设计研究院有限公司参加单位:上海兄弟微电子技术有限公司液化空气(
7、中国)投资有限公司主要起草人:张家红刘序忠万铜良冯卫中申云江薛长立李东升杜宝强李骥艾生珍崔永祥范双怀王鹏亮王世成陈平王金树刘采峰主要审查人:陈霖新E宗存侯文川周礼誉王开源刘俊超陈奕强张国兴杨渴游、王天龙陈艳程 2 馆勺竹问窍京革吁吁二气1总则2术语目次3 站房布置( 5 ) 4 工艺系统5 设备选择6 高纯气体输送系统6. 1 一般规定u 6.2 .管道设计(11) 6.3 管材及附件u 6. 4 安全及标志(1 3 ) 7 建筑结构8 采暖通风与空气调节(1日9 给水排水及消防10 电气及仪表控制11 施工及验收. 11. 1 一般规定11. 2 气体纯化站的施工11. 3 高纯气体输送系统
8、的施工(21) 11. 4 改、扩建工程的施工11. 5 工程验收附录A高纯气体用BA、EP不锈钢管道技术要求(30)附录B高纯气体管道氮检漏方法(33) 1 附录C施工验收测试记录表(34)本规范用词说明J.(40) 引用标准名录.附:条文说明Contents 1 General provisions ( 1 ) 2 Terms .,( 2 ) 3 Purification station layout ( 5 ) 4 Process system . ( 7 ) 5 Equipment selection ( 9 ) 6 Delivery system of high purity gas
9、 (11) 6. 1 General requirement -(1 1 ) 6.2 Piping design (1 1 ) 6.3 Piping materials and accessories (1 2 ) 6. 4 .Safety and identification (1 3 ) 7 Architecture and structure h门的8. Heating , rentilation and air. conditioning 二.(1 5) 9 Water supply and drainage and fire fighting (1 6 ) 10 Electrical
10、 and instrument controls (1 7) 11 Construction and acceptance (1 9 ) 11. 1 General requirement (1 9 ) 11. 2 Construction of purification station (20) 11. 3 Construction of delivery system of high purity gases ( 2 1) 11. 4 Construction of reconstruction and extension works (25) 11. 5 Acceptance of wo
11、rks (25) Appendix A Technical specification for BA、EPpipe (30) Appendix B Detection nethod of helium leakage in 2 3 y:-;忖节7芳写?亏了字铲厉声2万一一一卢二二一high purity gas pipes (33) Appendix C Record sheets of system test and acceptance (34) Explanation of wording in this code (40) List of quoted standards (41) A
12、ddition: Explanation of provisions (43) .4. 1总则1. 0.1 为了适应电子工业大宗气体纯化及输送系统的设计、施工及验收,正确贯彻国家工程建设的方针政策,确保安全、节约能源、保护环境、满足产品生产要求,制定本规范。1. O. 2 本规范适用于电子工业新建、改建和扩建工程的电子工业大宗气体纯化及输送系统的设计、施工及验收。1. O. 3 大宗气体纯化及输送系统的设计、施工及验收应做到技术先进、经济合理、安全可靠、操作、维修方便。1. O. 4 大宗气体纯化及输送系统的设计、施工及验收除应符合本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定。 1 一一一一一2术
13、语2.0.1 大宗气体bulk gas 电子工业中使用的氮气、氢气、氧气、氧气、氮气的统称。2.0.2 气体纯化站gas purification station 设有大宗气体纯化装置、气体过滤器及其输送管道和辅助设施的建筑物、构筑物或房间的总称。2.0.3 高纯气体(超高纯气体)输送系统(ultra) high purity gas delivery systems 从大宗气体纯化装置至高纯气体(超高纯气体)使用点的输送系统。2.0.4 制气站bulk gas generation plant 采用相关的制气工艺制取气体所需的制气设施、压缩储存设施、灌充设施、辅助设施及其建筑物、构筑物的总称
14、。2.0.5 供气站bulk gas supply station 不含气体制取设施,以瓶装或管道供应大宗气体的建筑物、构筑物、储气罐或场所的统称。2.0.6 储气罐gas storage tank 用于储存气体的定压变容积或变压定容积的容器的总称。2.0.7 明火地点open f1ame site 室内外有外露火焰或赤热表面的固定地点。2. O. 8 气瓶集装格the bundle of gas cylinders 由专用框架固定,采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。2.0.9 实瓶full cylinder 具有一定灌充压力的气瓶,水容积为40L、设计压力为 2 12.
15、OMPa20. OMPa的气体钢瓶。2.0.10 空瓶empty: cylinder 无内压或留有残余压力的气体钢瓶。2.0.11 气体纯度gas purity 指气体主成分的量占气体总量的比例。2.0.12 普通气general gas 气体纯度低于99.99%的气体。2.0.13 高纯气体high purity gas 指采用提纯技术达到规定等级纯度的气体。通常指纯度为99. 99 % 99. 9999 %、有害杂质含量小于或等于1X 10-5的气体。2.0.14 超高纯气体ultra high pdrity gas 指采用提纯技术达到的高等级纯度的气体。通常指纯度等于或高于99.9999
16、%和有害杂质总含量小于或等于1X 10-6的气体。2.0.15 抛光polishing 为了控制储存和输送高纯气体的钢瓶和管线内壁的表面粗糙度,使其不吸附气体、无杂质脱落而进行的抛光处理。2.0.16 压缩气体compressed gas 指在20.C下,绝对压力超过101.325kPa的任何一种或多种气体混合物。2.0.17 气体过滤器gas filter 以碰撞、扩散或截获机理将气体中固体粒子去除的装置。2.0.18 气体纯化器gas p盯ifier为提高大宗气体纯度,脱除气体中有害杂质的装置。2.0.19 氮质谱检漏仪helium mass spectrometer leak detec
17、 tor 以氮气为检测气体,对设备、管道进行检漏的质谱仪。2. O. 20 AP管annealedand pickled pipe 真空脱碳制造并经酸洗或钝化的不锈钢管。 3 . .):.p.;-/女和领窍震怒毒素、一一一一一2.0.21 BA管brightannealed pipe 在氢气保护气或真空状态下经高温热处理的光亮退火不锈钢管。I2.0.22 EP管electro- polished pipe 经电化学抛光,使表层实际面积得到最大程度的减少,表面具有细密富含氧化铅氧化膜的不锈钢管。2.0.23 VCR连接Connection of vacuum coupling radius se
18、al 密封元件采用金属垫片的金属面密封接头进行的管道连接。2.0.24 卡套连接Connection of let一lok通过本体、母套头、金属箍套圈进行的连接形式。 4 言写?三斗争夺善L如3 站房布置3.0.1 大宗气体纯化站的设置应符合下列规定:1 纯化站设置在制气站、供气站内时,宜与功能特性相近的装置或房间邻近布置。2 纯化站与用气车间毗连布置时,应在建筑物的首层靠外墙或端部布置。3 氢气纯化站宜与采用氢气活化的惰性气体纯化站合建。4 氧气纯化站宜与非氢气活化的惰性气体纯化站合建。5 当用气车间设有大宗气体人口室时,气体纯化站宜与气体入口室合建。6 站房内宜留有适当的扩展余地。3.0.
19、2 设置在制气站、供气站内的气体纯化站,除应符合本规范的规定外,还应符合现行国家标准氢气站设计规范)GB 50177 和氧气站设计规范)GB 50030的有关规定。3.0.3 氢气纯化站与用气车间毗连布置时,应符合下列规定:1 氢气纯化站不得设置在人员密集场所和重要部门的邻近位置,以及主要通道、疏散口的两侧。2 氢气纯化站不得与相邻房间直接相通,且与氢气纯化站毗连的厂房耐火等级不应低于二级。3. O. 4 氢气纯化站的电气控制室、仪表控制室应布置在与纯化设备相邻的房间,并应采用耐火极限不低于3.00h的不燃烧体隔墙分隔。3.0.5 气体纯化站内的设备布置应符合下列规定:1 气体纯化设备之间的净
20、距不宜小于1.2m;设备与墙壁之间的净距不宜小于1.Om,并不宜小于更换纯化材料或抽出零部件的长度再加O.5m。2 气体纯化设备与其附属设备之间的净距可比本条第1款的规定缩小O.15mO. 30m。3气体纯化设备双排布置时,两排之间的净距不宜小于1.5m。3.0.6 有爆炸危险房间的安全出入口不得少于2个,其中1个应直通室外;但建筑面积不超过100m2时,可只设1个直通室外的出人口。3.0.7 气体纯化站内,当设备检修或更换纯化材料需要吊装时,宜设起吊设施。 6 4工艺系统4.0.1 气体纯化站原料气的选择应综合下列因素确定:1 高纯气体耗气量和气体品质要求。2 气体纯化器对原料气体纯度与其杂
21、质含量的要求。3 根据现场制气或外购气源的气体品质参数经技术经济分析确定。4.0.2 气体纯化系统的设置应综合下咧因素确定:1 原料气的纯度、杂质含量和压力。2 产品气的纯度、杂质含量和压力。3 气体使用的连续性、负荷变化状况。4 纯化用材料的品种、活化与再生方法等的技术经济性。5 用户对系统安全性、可靠性的要求。4.0.3 催化吸附型气体纯化系统应设置下列装置:1 原料气的气水分离或过滤装置。2 纯化反应器及活化、加热设施。3 吸附器及控制阀组。4 换热、冷却设施。4.0.4 金属吸附剂型气体纯化系统应设置下列装置:1 原料气过滤装置。2 纯化反应器及活化、加热设施。3 控制间组。4 换热、
22、冷却设施。4.0.5 钮膜气体纯化系统应设置下列装置:1 原料气预纯化装置。2 真空、保护气设施。 7 一一一一一一?一严3 钮膜纯化器和控制阀组。4 换热、冷却设施。4.0.6 低温吸附型气体纯化系统应设置下列装置:1 原料气预纯化装置。2 吸附器组和控制阀组。3 液氮供给和回收装置。4.0.7 电子产品生产工艺对同种气体有不同纯化系统时,应根据原料气品质、高纯气体用量及其品质要求和纯化方法进行技术经济比较,确定采用一级或二级气体纯化装置。当杂质含量要求严格或高纯气体用量较小时,宜在邻近用气设备邻近处设置气体终端纯化装置。4.0.8 用气设备对气体含尘量有严格要求时,应在气体纯化后的输气管道
23、上的邻近用气设备处设置高精度终端气体过滤器。4.0.9 气体纯化装置的气体进、出口未设置气体过滤器时,应在气体纯化站内设置气体过滤器,并宜靠近气体纯化装置。4.0.10 气体纯化系统的设备及其管道内的冷凝水,应设置各自的专用疏水装置或排水水封排至室外。4.0.11 气体纯化站应设置每种气体的原料气、产品气的分析取样口。 8 ?中寸飞意号预言半球:5设备选择5.0.1 气体纯化装置应综合下列因素确定:1 原料气的纯度、杂质组分和含量。2 用气设备对气体纯度、杂质组分与含量和供气压力。3 各类高纯气体的用途、使用特点、品质要求、最大小时消耗量和负荷变化情况。4 各种纯化装置的特性、活化再生方法等。
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