本标准规定了对TDL-GX硅芯生长炉(简称硅芯炉)产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及订购和供货等。本标准适用于高频感应加热、采用基座法生长硅基发热载体的设备。
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