1、中华人民共和国国家标准晶片承载器国家技术监督局 批准 实施主题内容与适用范围本标准规定了晶片承载器的产品分类技术要求和试验方法检验规则包装标志本标准适用于晶片直径为 通用型塑料和金属晶片承载器以及晶片直径为自动输送型塑料和金属晶片承载器引用标准包装储运图示标志铸造铝合金技术条件逐批检查计数抽样程序及抽样表适用于连续批的检查周期检查计数抽样程序及抽样表适用于生产过程稳定性的检查聚丙烯树脂术语晶片承载器在晶片生产工艺过程中各工序间装载晶片的器具通用型用于手工及半自动传递清洗晶片的承载器型式自动输送型用于自动化生产线工序间自动输送晶片的承载器型式传递晶片承载器用于生产工艺过程中对晶片进行加工和测试
2、工序间传递晶片的一种晶片承载器清洗晶片承载器用于生产工艺过程中对晶片进行清洗的一种晶片承载器晶片转移把晶片从一个晶片承载器移置到另一个晶片承载器的动作称为晶片转移产品分类品种型式规格晶片承载器分为塑料晶片承载器和金属晶片承载器晶片承载器分为通用型和自动输送型通用型按用途又分为传递用和清洗用两种通用型晶片承载器按承载晶片直径分为 四种规格自动输送型晶片承载器承载晶片直径为 一种规格型号晶片承载器的产品型号由产品名称代号 型式代号用途代号材料代号和产品规格五部分组成如表 所示产品名称代号型式代号用途代号材料代号晶片直径表型号内容名称代号产品名称晶片承载器型式通用型自动输送型用途传递 晶片承载器清洗
3、 晶片承载器材料塑料 晶片承载器金属 晶片承载器规格 晶片直径 阿拉伯数字型号示例表示承载直径 晶片的通用型传递用塑料晶片承载器表示承载直径 晶片的通用型清洗用塑料晶片承载器表示承载直径 晶片的自运输送型塑料晶片承载器表示承载直径 晶片的通用型传递用金属晶片承载器晶片承载器图样和尺寸塑料和金属晶片承载器 通用型的图样和尺寸如图 表 所示塑料和金属晶片承载器自动输送型 图样和尺寸如图 表 所示图 塑料与金属晶片承载器通用型表 塑料和金属晶片承载器规格尺寸 通用型晶片直径承载器尺寸标注代号或 或 或 或图 塑料与金属晶片承载器自动输送型续图表 塑料和金属晶片承载器规格尺寸 自动输送型晶片直径承载器
4、尺寸标注代号晶片直径承载器尺寸标注代号技术要求和试验方法塑料晶片承载器的耐高温和耐腐蚀性能要求塑料晶片承载器承受温度为 的硫酸硝酸盐酸王水的浸泡后不允许出现变色裂纹等缺陷变形量不得大于试验把试件放入温度为 的浓硫酸中浸泡 取出用自来水洗净 待自然干燥后检查应符合本要求金属晶片承载器的耐高温性能要求 金属晶片承载器受高温烘烤和热辐射的影响应能正常工作试验把试件放入恒温箱内把温度逐步调控到 恒温保持 然后恢复到室温取出检查应符合图样尺寸要求尺寸要求 晶片直径 通用型晶片承载器尺寸应符合图 和表 的要求晶片直径自动输送型晶片承载器的尺寸应符合图 和表 的要求测试用 游标卡尺和其他量具在平台上 按图样
5、要求进行测量晶片转移要求 各种规格的承载器的定位销和定位孔的间距尺寸 应符合图 表 和图 表 的要求 保证同一规格的不同类型承载器所装的晶片能够互相转移测试 用 游标卡尺在平台上 按图样要求对定位销和定位孔的间距尺寸进行测量 装满晶片承载器的晶片可往同一规格不同类型的空承载器互相全部转移外观要求塑料晶片承载器为乳白色 半透明制品 表面洁净 不允许有肉眼看得见的杂色点塑料晶片承载器和金属晶片承载器表面应光滑 平整不允许有飞边开裂分层气泡等现象测试用目测法测试条件照明目测距离材料传递晶片承载器要求传递晶片承载器应具有抗静电性能一般采用聚丙烯树脂等塑料注塑制造测试传递晶片承载器的材料应符合 的规定清
6、洗晶片承载器要求清洗晶片承载器应具有耐腐蚀和具有良好的热稳定性化学稳定性能一般采用可熔性聚四氟乙烯等塑料注塑制造测试清洗晶片承载器的材料应符合协议书要求金属晶片承载器要求金属晶片承载器应具有良好的散热性能 一般采用铝合金压铸制造测试金属晶片承载器的材料应符合 的规定使用寿命塑料晶片承载器在正常使用条件下一般使用五年金属晶片承载器在正常使用条件下一般使用八年检验规则对晶片承载器要进行交收检验和例行检验所有检验均在供货单位质量部门进行 必要时订货单位亦可派人共同进行 供货单位提供检验必要条件并对检验结果负责订货单位有权按本规则对提交批进行复查交收检验的抽样程序按 进行 其检验项目检查水平 合格质量
7、水平 见表表序号 检验项目 技术要求和试验方法 检查水平 合格质量水平尺寸晶片转移外观若交收检验不合格该批晶片承载器应进行 的挑选后 再次提交验收 但必须使用加严检查 若加严检查仍不合格 则不得再次提交验收例行检验的抽样程序按 进行其判别水平 不合格质量水平 和抽样方案见表表序号 检验项目 技术要求和试验方法 判别水平 不合格质量水平 抽样方案环境条件例行检验样本 在本季度计划生产的全部产品完成一半后 从交收检验合格的批中随机抽取若例行检验合格则本周期生产的该代表产品经逐批检查合格的批可以作为合格产品出厂或入库若例行检验不合格 允许重复进行例行检验 若确属产品质量问题 则该批产品停止交收 并将
8、已验收而未出厂产品停止出厂 已出厂产品原则上应退回供货方或双方协商解决例行检验每半年一次 在更改产品结构主要工艺主要材料改变时亦应进行标志包装 运输贮存标志晶片承载器包装盒应有下列标志供货单位名称产品名称和代号产品数量包装日期每个包装箱上应标出 小心轻放 怕湿 等 并有相应的图示标志图示标志应符合 的规定包装每只晶片承载器用纸或塑料袋包装后再放入包装箱 每个包装箱应放有合格证和说明书晶片承载器的包装应保证经正常运输搬运后完好无损运输晶片承载器在运输过程中要轻放 轻卸 在运输过程中 应避免雨雪直接淋袭和剧烈碰撞贮存包装好的晶片承载器应贮存在温度 相对湿度不大于 周围空气中无酸碱和其他有害气体的库房中 并严防晶片承载器受压变形 贮存期一般不超过 年附加说明本标准由中华人民共和国机械电子工业部归口本标准由机械电子工业部电子标准化研究所负责起草本标准主要起草人廖温初 邓益坤 宋元善
