1、中华人民共和准体设施接口技术文Directives for drafting semiconductor facilities interface specification 1 主题内容与适用范围导GB/T 15873 1995 本标准规定了半导体设施接口技术文件(以下简称接口文件)编写的基本要求和格式。本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。2 51 GB/T 13840 晶片3 接口文件3. 1 接口文件的一般构成和编写顺序正文部分补充部分面与首页目录接口文件名称引言供需管理接口文件要求安全文件要求设施文件要求装运文件要求安装文件要求厂房和动力设施验收测试文件要求设备
2、起动验收测试文件要求苦训要求E附件其它正文部分的每一条目必须列出。即使没有具体要求，也应在该条目中加以说明。3.2 供需管理接口文件要求供需管理接口文件一般应包括购销联络文件、生产安装文件、设备概况。3.2.1 购销联络文件购销联络文件应写明供需双方代理单位的名称、联络地址、联系人、职务、电话、传真号等，并注明日期。购销联络文件格式见附录A(补充件)中的表A1.3.2.2 生产安装文件生产安装文件应写明供方生产单位和需方安装使用单位的名称、地址、联系人、职务、电话等。生产安装文件格式见附录A(补充件)中的表A2。国家技术监督局1995-12-22批准1996-08-01实施GB/T 15873
3、 1995 3.2.3设设备概况应写明设备的名称、型号、序号、功能与用途、加工件或检测件的操作方法、与其它设备的接口(有无特殊附件)、特殊工艺要求、设备备件及选件的名称和件数等。设备概况格式见附录A(补充件)中的表A3。3.3 安全文件要求任何与设施设计或设备安装、起动、测试有关的安全要求都应详细注明。3.4 设施文设施文件包括工作环境要求、设施接口表和设备安装图。3. 4. 1 工作环境要求工作环境要求包括净化等级、温度、温度漂移、相对湿度、特殊光照及振动等。工作环境要求格式见附录A(补充件)中的表A4。其中对振动的要求可放在正文中，也可放在附件中。3.4.2 设施接口表设施文件中必须设立设
4、施接口表。设施接口表格式分别见附录A(补充件)中的表A5、表A6。设接口表既可放在正文中，也可放在附件中。3.4.3 设备安装图设备安装图应提供设备的最大外形尺寸和安装尺寸。同时还必须提供某些类型的平面图和立体图，必须说明放置工作台的最小尺寸和结构要求。对于多项设备，还须有设备之间的连接图。设备安装图一般应包括平面图(俯视图、主视图、侧视图、立体图、系统连接图、地面安置图和支台图。上述图不一定全部提供，可视具体情况而定。图面复杂时可放在附录中。3.5 装运文件要求3. 5. 1 设备供应单位应提供装运设备的包装箱的类型和数量，以及提供有关设备的包装、搬运、存储和接收要求的资料。3.5.2 对于
5、有特殊要求的设备应加以特别的说明。3.5.3 如果某些设备要求供应单位参与验收，应加以说明。3.5.4 应注明包装箱的装卸方式。当包装箱不能用人工装卸时，应注明所需的装卸机阳。装运文件格式见附录A(补充件中的表A7。3. 6 安装文件要求安装过程应考虑从设备接收到最终连接的每一步嘛。安装文件包括设备的安装工具、运输设备、安装人员(数量、技能)和安装时间的要求。3. 7 厂房和动力设施验收测试文件要求设备供应单位应指明是否需要进行厂房和动力设施的验收测试、需要进行何种程度的测试，并提出验收测试的时间要求。对厂房和动力设施的任何测试都应在设备安装或起动之前进行。3. 8 设备起动验收测试文件要求设
6、备起动验收测试应考虑从起始合上电源到断开电源的每一步。一般包括需要验收测试的设备主要指标及对工具、测量仪器和人员数量、技能和预计时间)的要求。应指明怎样才能保证设备的正常运行。对于起动验收测试期间要用到的试验材料(如圆片)设备、设备供应单位应注明该材料的型号、和规格。要，文件中可注明为测试设备性能而用的专门测量仪器、分析仪器。还可要求对试验的产品进行抽检。3. 9 培训要求GB/T 15873 1995 表Al联络文件表格式联络文件设备名称合同号台数日期供方销售代理需方购买代理单位名称地址姓名联系人职务电话传真税号账号GB/T 15873 1995 表A2生产安装文件表格式生产安装文件设备名称
7、台数日期供方生产地点安装地点单位名称地址姓名系人职务+ 电话电接传真码GB/T 15873 1995 表A3设备概况表格式设况合同号询价单号工程号报价单号日型号设备名称序号功与用途与其他设备的接口加工件或检测件的操作方法特殊工艺要求选件备件GB/T 15873 1995 表A4工作求表格式工作环境要求设备名称日期要求项目主机设备区助设备区净化要求范围CC)CC/h) 相对L氧气项号流量纯度压力范围H 配件尺寸配件材料类型工、器尺寸过滤器类型材料其它m3/min kPa -p 气体要求2 其F匕. 项号流量纯度压力范围调节阀配件尺寸配件材料类型过滤器尺寸过滤器类型材料其它m3/min kPa 1
8、 2 。MW时二二|二四续表A6工程号多项设备的设施接口表名称名称化学式浓度项号流量纯度压力范围H-配件尺寸配件材料类型过尺寸型材料其它l 特殊气体m3/min kPa 1 2 名称化学式浓度体项号流量纯度压力范围调节阀配件尺寸配件材料类型过滤尺寸过型材料其它m3/min kPa I 2 特殊液体名称化学式浓度体项号流量纯度压力范围调节阀配件尺寸配件材料类型过滤器尺寸过滤器类型材料其它m3/min kPa 1 寸2 注，1)提供峰值持续时间或断路器参数。2)指明插头类型。若硬线布线，需指明到插头的导线的最大/最小直径和导线数量，并指出电缆管道连接孔的尺寸。3)若有特殊要求，应明确指出。4)指出排放物名称。5)指明是否需要排水管道。若排水管通道与设备齐提供，应指明诸如高度等参数。GB/T 15873 1995 表A7装运文件要求表格式装运要求设备名称包装箱数量包装箱号尺寸长宽高)重量内装物名称rn t 说明:附加说明z本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标准由电子工业部标准化研究所归口。本标准由中国华晶电子集团公司负责起干。本标准主要起草人:攒川、吴兵、赵雨生、孙勤。运输方式日期配否冲击监测器+ 要否存放条件备注
