1、lCS 71.100.20 G 86 中华人民共和国国家标准2009-10-30发布GB/T 169442009 代替GB/T16944-1997 电子工业用气体氮Gas for electronic industry-Nitrogen 标准分享网阿w.bzfxw.coom免费下载2010-05-0 l实施中华人民共和国国家质量监督检验检茂总局也堂中国国家标准化管理委员会供叩r-G/T 16944-2009 目U.=t 本标准代替GB/T16944一1997(电子工业用气体氮。本标准与GB/T16944-1997相比主要变化如下:才彦改电子工业用氮的适用范围(GB/T16944-1997的第1
2、章，本版的第1章); 一修改规范性引用文件(GB/T16944-1997的第2章，本版的第2章); 修改技术指标内容(GB/T16944-1997的第3章，本版的第3章); 一一修改电子工业用氮抽样和判定规则(GB/T16944-1997的4.1，本版的4，1);增加l电子工业用氮采样要求见4.1. 3) ; 二一修改氢、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法(GB/T16944-1997的4.3、4.4、4.6，本版的4.3) ; 一一修改总娃分析方法的检测限06944-1997的4.7，本版的4.4);一修改水分含量的分析方法(GB/T16944-1997的4.5，本版的4.6);一修改标志
3、、包装、贮运及安全(GB/T16944二1997的第5章，本版的第5章); -一-增加规范性附录A，并把测定电子工业用氮中的氢、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的方法写入该附录(见附录A)。本标准的附录A为规范性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。本标准起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院。本标准主要起草人:周泽义、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:GB/T 16944二19970I G/T 16944-2009 电子工业用气体氮1 范围本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求，试验方法以及包
4、装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压，化学气相淀积等。分子式:N2 0 相对分子质量;28.0134(按2005年国际相对原子质量计算。2 规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB 190 危险货物包装标志GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则GB
5、/T 3864 工业氮GB 5099 钢质元缝气瓶CGB5099-1994 , neq ISO 4705:1993) GB 7144 气瓶颜色标志GB/T 8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法GB 14194 永久气体气瓶充装规定GB 16912 深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程JB/T 5905 真空多层绝热低温液体容器JB/T 6897 低温液体运输车JB/T 6898 低温液体贮运设备使用安全规则气瓶安全监察规程压力容器安全技术监察规程压力管道安全管理与监察规定3 技术要求电子工业用气体氮的质量应符合表1的要求。表1技术指标项目氮(N2)纯度(体积分数)
6、/10-2 99.999 9 氢(H2)含量(体积分数)/10-6 c1999年)的相关规定。5.1.7 管道输送的氮应符合压力管道安全管理与监察规定)(1996年。5.1.8 瓶装氮气压力应大于气瓶公称工作压力的90%。用于测量的压力表精度不低于2.5级。氮气在200C、101.3 kPa状态下的体积按GBjT3864的规定。5. 1. 9 返厂氮气钢瓶的余压不应低于0.2MPao余压不符合要求的气瓶，水压试验后的气瓶以及新气3 GB/T 16944-2009 瓶等在充装前应按规定要求进行加热、抽空和置换。5. 1. 10 氮出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括:一一产品名称，生产厂名称
7、，危险化学品生产许可证编号:一生产日期或批号，成品压力或质量，产品技术指标;一一本标准标准号及产品等级，检验员号。5.2 安全要求5.2. 1 氮的生产、使用以及贮运应符合GB16912、气瓶安全监察规程)(2000年)、压力容器安全技术监察规程)(1999年等相关规定。5.2.2 氮气比空气重，可能累积在低层空间，造成缺氧。空气中高浓度氮造成缺氧，有神志不清或死亡危险。进入污染工作区域前，检验氧含量。5.2.3 容器漏损时，液氮迅速蒸发造成封闭空间空气中过饱和，有窒息严重风险。5.2.4 液氮可能引起冻伤。冻伤时，用大量水冲洗，不要脱去衣物，给予医疗护理。5.2.5 在氮有可能泄漏或氮含量有
8、可能增加的地方应设置通风装置。5.2.6 氮的生产企业应为顾客提供安全技术说明书。4 . . G/T 16944-2009 附录A(规范性附录电子工业气体氮中氢、氧、一氧化碳、二氧化碳的测定A.l 仪器采用配备氧化错检测器和配备甲炕转化器的火焰离子化检测器的气相色谱仪测定电子工业用气体氮中氢、氧、一氧化碳、二氧化碳。检测限的体积分数:0.05XI0飞A.2 方法提要A. 2.1 氧化错检测器是氧化错固体电解质氧浓差电池。由于在氧化错中掺入一定量的氧化缸，使得ZrO. Y203电解质具有氧离子空穴和导电性能。在一定温度下，当电解质两侧氧浓度不同时，高浓度侧的氧分子被吸附在锦电极上与电子(4巳)结
9、合形成氧离子02一，使该电极带正电，02一离子通过电解质中的氧离子空位迁移到低氧浓度侧电极上放出电子，转化成氧分子，使该电极带负电。这样在两个电极间便产生了一定的电动势，此电势与测量气中的氧浓度的关系服从Nernst定律。如果在测量气中有还原性气体如陀、C凡、co存在时，它们在电极表面发生氧化还原反应而产生电动势。A. 2. 2 采用吸附剂分离样品气中氧化碳、二氧化碳，各组分依次通过甲烧化转化器，使一氧化碳和二氧化碳均转化为甲烧，用火焰离子化检测器进行测定。A.3 测定条件A.3.1 载气:高纯氮，经过纯化处理，其流速参照相应的仪器说明书。A. 3. 2 色谱柱:色谱柱1:长约2m，内径2mm
10、的不锈钢管，内装粒径为O.18 mmO. 25 mm的13X分子筛，或其他等效色谱柱。色谱柱I用于分析氮中氢、氧组分色谱柱:长约0.4m，内径2mm的不锈钢管，内装粒径为O.18 mm-O. 25 mm的TDX-01，或其他等效色谱柱。色谱柱E用于分析氮中一氧化碳、二氧化碳组分。A. 3.3 气体标准样品组分含量的体积分数为O.S)X10-6，平衡气为氮。A. 3. 4 其他条件:载气净化器温度、色谱柱温度、检测器温度、燃烧气流量、空气流量、样气流量等其他条件参考仪器说明书。A.4 分析步骤开启仪器至稳定后按仪器说明书的操作步骤完成样品分析。平行测定气体标准样品和样品气至少两次，记录色谱响应值
11、，直至相邻两次测定的相对偏差不大于10 X 10-2，取其平均值。A.5 结果处理采用峰面积(或峰高)定量，用外标法计算结果。氢、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的计算采用外标法，按式CA.1)计算:A;(元;)1. =一一一在As Chs) . ( A. 1 ) 3 GB/T 16944-2009 式中:钱一二样品气中被测组分的含量(体积分数)j Ai仙i)一二一样品气中被测组分的峰面积或峰高，单位为平方毫米或毫米Cmm2或mm)jA. Chs)一一气体标准样品中相应已知组分的峰面积或峰高，单位为平方毫米或毫米Cmm2或mm);吭一一气体标准样品中相应已知组分的含量(体积分数)。6 goN|寸寸-H8国华人民共国家标准电子工业用气体氨和中GB/T 16944-2009 中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:100045 昏网址电话:6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销长印张o.75 字数12千字2009年12月第一次印刷开本880X12301/16 2009年12月第一版4呼定价16.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话(010)68533533书号:155066 1-39321 GB/T 16944-2009 打印日期:2010年3月10日
