GB T 16944-2009 电子工业用气体.氮.pdf
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1、lCS 71.100.20 G 86 中华人民共和国国家标准2009-10-30发布GB/T 169442009 代替GB/T16944-1997 电子工业用气体氮Gas for electronic industry-Nitrogen 标准分享网阿w.bzfxw.coom免费下载2010-05-0 l实施中华人民共和国国家质量监督检验检茂总局也堂中国国家标准化管理委员会供叩r-G/T 16944-2009 目U.=t 本标准代替GB/T16944一1997(电子工业用气体氮。本标准与GB/T16944-1997相比主要变化如下:才彦改电子工业用氮的适用范围(GB/T16944-1997的第1
2、章,本版的第1章); 一修改规范性引用文件(GB/T16944-1997的第2章,本版的第2章); 修改技术指标内容(GB/T16944-1997的第3章,本版的第3章); 一一修改电子工业用氮抽样和判定规则(GB/T16944-1997的4.1,本版的4,1);增加l电子工业用氮采样要求见4.1. 3) ; 二一修改氢、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法(GB/T16944-1997的4.3、4.4、4.6,本版的4.3) ; 一一修改总娃分析方法的检测限06944-1997的4.7,本版的4.4);一修改水分含量的分析方法(GB/T16944-1997的4.5,本版的4.6);一修改标志
3、、包装、贮运及安全(GB/T16944二1997的第5章,本版的第5章); -一-增加规范性附录A,并把测定电子工业用氮中的氢、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的方法写入该附录(见附录A)。本标准的附录A为规范性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。本标准起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院。本标准主要起草人:周泽义、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:GB/T 16944二19970I G/T 16944-2009 电子工业用气体氮1 范围本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求,试验方法以及包
4、装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮,以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压,化学气相淀积等。分子式:N2 0 相对分子质量;28.0134(按2005年国际相对原子质量计算。2 规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。GB 190 危险货物包装标志GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则GB
5、/T 3864 工业氮GB 5099 钢质元缝气瓶CGB5099-1994 , neq ISO 4705:1993) GB 7144 气瓶颜色标志GB/T 8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法GB 14194 永久气体气瓶充装规定GB 16912 深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程JB/T 5905 真空多层绝热低温液体容器JB/T 6897 低温液体运输车JB/T 6898 低温液体贮运设备使用安全规则气瓶安全监察规程压力容器安全技术监察规程压力管道安全管理与监察规定3 技术要求电子工业用气体氮的质量应符合表1的要求。表1技术指标项目氮(N2)纯度(体积分数)
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