1、，II 中华人民共和国机械行业标准JBf T 5384- 91 扫描电子显微镜技术条件 1991-07-10发布1992-07-01实施机械电子工业部批准中华人民共和国机械行业标准扫描电子显微镜技术条件JBjT 5384-91 1 主题内容和适用范围水标准规定了扫JNi电子!在微镜的产川分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存等。本:示H:JD: J1l于归.J，w电子.fltt1;改锐(以下简称扫描电挠。2 引用标准Gn 2828 返批检夜计数抽样程序及抽样表适用于连续批的检查GB 2829 周期检查计数抽样程序及抽样表(适用于生产过程稳定性的检查)GB 7667 山子显微
2、镜X射线泄漏剂量规定ZB Y 340 扫描电子显锁镜试验方法zn N3000， 1杠子光学仪器二品型号命名及编jlllll原则ZB N30005 电子光学仪器包装通用技术条件3 产品分类3孔.1扫书打扣;巾;a. 1于及型Pb. !也能型。3.2 引号111铀的型号命r，)Z符介ZBN30004的规定。4 技术要求4.1 技术性能要求4 . 1.1 扫Wrl1挠的工作环境条仲按ZBY310中1.2条规友。4.1.2 保护措施扫.fijr包销必须设有rrj，日气、!听水、断电等保护措施。a- 7Ii i33简真唔度达不到规定(!Jt(号度时，同能自动切断高压r111n。页、j-13性能扫flri
3、Fll镜有自动保护措施。b. 二Ij供给扫H，i1.!. rtl (iJ冷却水的7)6nmj b. ，y:;.tl:能割6nm岱4.1.4 E丛i句放大倍;和机械电子工业部1991-07-10批准1992-07-01实施?于J.lin. 习性能型4. 1. 5 Tr空lEH . if-及lb-111尘能ZrI4. 1. G I到你稳应tl:a. 于1及型b. t丁阿青f 4 . 1. 7 I钊你!I!与仨:;10 0, 000 X; 100，000x。7 x 10-3pa; 7x10-3pa。:5m口;三岁10minoJBjT 5384- 91 .jl,jWi I , t完处T放大f件:为10
4、0倍的工作状态。4. 1.7.1 柏形时兰、柏形II!却变、枕JII畸变a . ;l( J!. Jr;! b . ;,:j t r 4.1.7.2 ii.乞Irl.jF二a. iHU21 h. i:j性 10%; .-. U,;: 0，。矿工尺。飞J, 工咒O 0 4. 1.7.3 边缘与巾，心的平.1j芳:a. f平及到，)，;:2 5% , h. 币II:能真，15% c 4. 1.8 1111迪Ill.J!f2，E尸主a. j(及JI;!，, 1 x 10- 4/5min; b . i.)j tl:能翻: 5 X 10-5 /5min。4.1 .9 加边l包rr;纹波系数a. 怦及(i,
5、 8 x 1 0 - 5 ; b. 市性fl5ft!3XI0-5o 4. 1.10 物镜电流稳定j主a. 千千及r;5 x 10-5 /5min; b. 芮性能J.!2.5x10-5/:)min。4. 1.11 聚光镜电流稳EJ主a. 伴及费1名主5x 10- 4/5min; b. j:飞机能1TljIX1044/5mln。4. 1. 12 视频放大器的蚓IIlJ特性a.f?及?f;!b. :、tl:肯g?r;4 1. 1 3 Jt tl f精确度4. 1.13.1 位咒的:由复n0100kHz; 0200kHzo a. ?牛及开O.Olmm; b. 飞机能翻,0.005mm, 4.1.13.
6、2 位吨的犯定皮i川、(N:l更稳定度应仲介表1的规定2 JB/T 5384-91 稳定但iZQlf于及汗JI 5mm I j t!:能引-1- :l: O, 003 mm I ._. -3S 一u f af .r.! ,ft H、Il、:!iJ 4.1.14 X射线泄漏齐1J.r:tl扫书WI也镜处于X射线最大泄漏状态，在l肌肉馅饲50mm灼任忘区J;，xI、r;)lj址的最大的XJft线tilJ:j眉剂量，lZ，符合GB7667规定的要求。4. 1.15 绝缘电Ilfl.njNI电饶联机绝缘也1111大丁:20MSJo4.1.16介l也U.:ft扫H/if包镜J飞l也11V!(输入FAj与
7、i:JL:G之间阳能承:J.:交i!，E1500V、50H7.吁续lmin不飞弧不击穿。4.1.17 贮ill环境条件扫ir包搅在运输包装条仲下，:但作什ZN30005的15川二04.2 外观和Il茜官要求4.2.1 ll锻l(l.!镀!三应坚1，1，1、无)01.部现象。4.2.2 Il漆的颜色均匀、外观不何有划。J、起i以及脱?在现象4.2.3 机械加-仁表I町刁J何有如H良平日li，f:1) 0 4.2.4 主IJ线、刻字应?阳l析，而极上扣;11:11蚕|忏、符号、标牌、丰1;己庇醒目、;兑现。4.2.5 仪器各可阴市11件在训节rH应只泊、衍适、不应有卡死和fZI跳非现象。5 试验方
8、法5.1 I包销保护措施5. 1. 1 I包镜处在正市工竹A状态，将镜简和电子枪放气，加速电压应山功切断。5.1.2 人为切断水源，扩散东加热电视应白功切l析，加速电压也白动切断。5. 1. 3 芮性能扫描电镜在人为切断电源后，应|气功夫闭扩散泵与镜简之间的的阀门。上述三项试验应茧复进行三次。5.2 扫Nrt!.江主要技术扣怀(口p木材iJI Jj. 1. 3 Jj. 1. 13卉条川A快均按ZBY340的有关规定进行。5.3 绝缘电|吼f包销处于断电状态。用500V兆欧去测PCl1泪ifi古人站j与机壳之间(J(缘Itll:lL，丁1i兆以及输IH包压达最高的，持续5S测其阻值。5.4 介也
9、强度f包销处于民rr电状态。用经过标亢的万能击穿装?lf对电源输入!:;rjJ机52之间进行耐fz:i式驳5.5 本标准4.2中各项试验j匀采用目测检衍。 、，JBjT 5384-91 6 楼验规划6.1 检验分类产品的检验分为出厂检验和型式检验。6.2 出厂检验(或交付检验)6.2.1 凡出厂的仪器必须由制造厂的顶用部门在出厂前按木规则第4条规定逐项怜段并接麦件格证书方可出厂。6.2.2 !H厂价验n0项目应为4.1.3、4.1.4、4.1.5及4.1.15、1.1.16。6.2.3 巾厂检验采用GE2828规定的一次抽样拉奇方案。6.2.4 抽样检奇的检资水平为E。合格质，白水平AQL=6
10、.5 (Ac= 0, Rc= 1)。6.3 型式检验6.3.1 到式检验一般定为何主年进行一次，有下歹IJ11;况之-n，t，也段进行开!式试骑。a. j产J刁川转交f给合;只飞他t厅阶f户I咔.b. 正式生产后如议计、工艺!t改1点闲元(，HI:、材料改变有可能;影响yrJ产JIll的性能质电H，j; C. 产品停止11二产一段时间，恢复生产时;d. L1厂价验结果与上次型式检验有较大差异IH;e. 回家阴道l毡1千机构提11进行型式检验的要求时。6. 3. 2 :1式!全!J食同包J污水标准所周亢的小:fl怆验项目，刑式枪驼的抽样采用GB2829rll一次拍杆怜我、规定):rJ5Jlj水平
11、1，月二-f品质量水平为40(八c= 0, Rc =: )。7 标志、包装、运输及贮存7.1 标志7. 1. 1 产品标志a. jiilJ造广，俨，:b. 仪器名称;C. 仪器型号:d. :H厂编号。7. 1.2 包装标志仪器的包装标志应符合ZBN30005要求。7.2 包装仪器的包装向符什ZBN30005!(J费水。7.3 远的扫拍电镜用任何有遮蔽的运输1:具运输。运输过程中应防止雨雪直接侵袭，应避免民rj!震动合7.4 贮存仪器装箱后j训t、:.(ff:宝内。贮存骂骂(:r，?tJ立在一1O4 OCC，相对iU不大于80%，周围无酸.V!:气休、碱及其它有需物质。贮存期一般不超过半年。8
12、运输、贮存的质量保证在JT1户遵守保竹平n使用J:!则的条11:下，从发给用户之问胆一年内仪器因质虽不良或不能正常工作H士，制造厂应无住地为片Jf修理。归仪器和运输途中f仓库中不应超过半年，(f!flW厂之日起至使用之日1:)否则保证期应相应俯月。4 J8/t 5384- 91 附加说明，本际汗EltlJ海电子光学技术研究所提出):归口木标准1I1上海山子光学技术川究所也可,. 户|叮町的.1) L ;jltl( U I!. ,j:J; fl二扫描电子显微镜技术条件J131丁5:381-91* tJL hl il 子i、lJ: .; 1亨、;jl. f t llCff Jc. J1: W fj (北.);Yf 1, !r 各)1七tn(，、才J;七P气1扫i( 古拟浏I)jTf扫j-L二i沙乡少、) ljLI. 1 iJ/ijk，;1./il)i?1; (沟!iH三沙rli.ll_忧J) FthFFOINm * 汗水880X1230 1/1 6 EjJ张0.5字数10(l()O 1992年3月那版1992年3月第一次印刷F!l数i2000* 注:价1.:?OL，
