1、中华人民共和国机械行业标准JBjT 5630-91 半导体器件扩散炉能耗分等1 主题内容与适用范围本标准规寇了半导体器件扩散炉以下简称扩散炉能品分等。本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。2 扩散炉能梧按可比单花分为单耗分为一等、二等、三等三个等级。达不到三等指标的属于等外。S 扩散炉能花分等见表1。ob b且,/ LH w b且一杯-u日-屈一单表一可扩散炉管径;二l丁-_-二等l 90 I 90180 105 I 105210 I 等180-360 210-420 4 可比单耗按统计期内每千克合格产品折合总重量计算
2、的平均单糙，称为可比单耗。按式(1 )计算zbK = W jGz ( 1 ) 式II:bK-一可比单施，kW.hfkg; W一一统计期内某炉的总捋电茧，kW.hJ Gz-一统计期内该炉合格产品折合总重量，kg, 5 折合重量考虑工艺条件的不同影H向，经折算的合格产品重量称为折合重量。其总折合重量按式( 2 )计算zn Gz=25 GKizfi)( 2 ) i-:l- . 60 式中:G1-统计期内单个炉管合格产品实际重量，kg; K-一该种产品的工艺温度系数见表2); t1-该产品工艺温度时间，min; Uz-该炉炉管数。机械电子工业部1991-09-13批准1992-0701实施167 工艺
3、温度 K, ;:1250 1 ,05 J8/T 5630-91 表212001100 1050950 1 ,00 0 ,90 900750 700 400 0 , 75 0.60 6 统计期内扩散炉的总耗电量应包括炉子升温、恒温、产品加工、待料、保温及其辅助设备等的耗电。168 附录A半导体器件扩散妒能属等级计算襄参考件田叶饵。-s扩散炉计量器具标准名称半导体器件扩散炉能耗分等号管径炉管数编号名称台(套)标准号JB/T 5630-91 自1m可比单耗bK标准值计算值等级kW. h/kg 等级签名日期bK=W/GZ 算对核项目|单位1月6月7月10月11月1_12 合计总耗电量WIkW.h 合格产品总kg 折合重量GzH白白J8/T 5630-91 附加说明z本标准由机械电子工业部生产司提出。本标准由机械电子工业部机械标准化研究所归口。本标准由国营七00厂负责起草。本标准起草人钱祖权、黄淑敏。J7Q
