1、中华人民共和国机械行业标准JBjT 5633-91 单晶炉能耗分等1 主题内容与适用范围本标准规定了单晶炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业直拉式和区熔式硅单晶炉。2 单晶炉能耗可比单插分为等、二等、三等三个等级。达不到三等指标的属于等外。S 单晶炉能耗分等见表1。单晶炉功率kW 10.69 二主70-1504 可比单花也-唁1世J 军三125运二135表1可比单耗指标k飞，.， h/kg 等一等一125135 135.155 135.145 145.155 按统计期内每千克合格产品折合重量计算的平均单耗，称为可比单花。按式(1 )计算zbK =去(1 ) 式中:h一-可比单裙，kW.hjkg
2、, W一一统计期内某炉总花fg量，kW. h; Gz一-统计期内该炉合格产品的总折合重量，kg 4.1 统计期内单晶炉的总花电量，系指单晶炉抽真空、升温、熔硅、引颈、放肩、转肩、等径、收尾、冷却等工序过程总起电量，不包括腐蚀柜、净化台、惰性气体纯化器、冷却水泵等辅助设备耗电量。5 考虑拉品方式及单品直径不同的影响，经折算的合格单品产品重量，称为折合重量。总折合重量按式(2) -计算zGz = 2.G;Kt K2i. (2) 式中:G-统计期内某炉生产的某直径t1i炉单品实际重量，kg, K1-一该炉拉品方式系数见表2); K2i-一单品直径系数见表3)J 机械电子工业部1991-09-13批准
3、1992-07-01实施177 拉晶方式K1 单晶直径40-60 口1口1K21 1.03 178 J8fT 5633-91 表2直拉式1.0 表360-80 l 区熔式0.6 80-100 100 0.97 。.95附录A单晶妒能辑等级计算亵参考件田4饵ls单晶炉计量器具标准名称单晶炉能耗分等编号炉子类别额定功率台(套编号名称型号规格安装位置台(套)标准号JB/T 5633-91 kW 可比单耗bK标准值计算值等级kW. h/kg 毛级黄任人签名日期w 计算bK=一一G一Z-校对审核项目1月2月6月8月9月lOJl I 11月12月全年总折合产量Gzkg 总耗电量w阿:1附加说明s本标准由机械电子工业部生产司提出。本标准由机械电子工业部机械标准化研究所归口。本标准由无锡微电子联合公司负责起草。本标准起草人朱袁正、肖凤英。HUYU
