1、中华人民共和国国家标准硅片直径测量方法千分尺法Silicon slices and wafers-Measuring of diameter-Micrometer method 1 主题内容与适用范围本标准规定了用干分尺测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为125件100mm , 本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准不作为仲裁测量方法。2 引用标准GB 2828 逐批检蜜计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查)GB 12962 硅单晶3 测量工具3. 1 下分尺.测量范围为25125mm，精度为0.01mm , 4 试验样品4. 1 从一批砖片中按GB2828计数抽
2、样方案或商定的方案拙取试样。5 测量步骤5. 1 测量在23士5Cf进行。千分尺测量杆端面应洁净。GB/T 141 40. 2 - 9 3 5. 2 按硅片的导电类型确定要测量的三条直径的位置，见同10硅片参考面位置应符合G12962的规定。5. 2. 1 对于POll)和N(100)砖片，要测量的三条直径是平行于主参考面的在径和与该直径成45角的另二条直径。5.2.2 对于P(10Q)硅片，第一条直径位于主、副参考面的中间，第二条直径垂直于第一条直径，第三条直径与第三条直径成30角。5. 2. 3 对于NOll)硅片，第一条直径平行于主参考面，第二条直径与第一条直径成30角，第三条在何与第工
3、条直径也成30角。5. 3 校正千分尺零点。5. 4 旋出测量杆，放入被测硅片，使待测直径处于测量位管。5.5 旋进测量杆到终止位置。5.6 记录干分尺的读数，取F硅片。57 重复5.45. 6条测量步骤，直至测完兰条直径。国家技术监督局1993-02-06批准52 1993-10-01实施C/T 14140. 2 93 3 l p 000 ) l l N( lOU) 罔1各类试样直径的测量位置5 测量结果计算6. 1 硅片直径的平均值E按下式计算z式中I-硅片直径的测量值。7 精密度万zEDa本方法多个实验室测量二倍标准偏差为土7m，B 试验报告8. 1 试验报告应包括以下内容z3. 硅片批号，p 111 N:lll) 127 GB/T 14140.2-93 b. 硅片批量及检测试样数量;c 硅片1主仔，测量值及直径平均值P 本标准编号pe. 检测者及检测日期。附加说明:牛二标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由洛阳单晶硅厂负责起草。本标准主要起草人玉从赞、夏光勤。198
