1、TB 中华人民共和国机械行业标准JBjT 5576-91 真空蒸发装饰镀膜设备技术条件1991-07-16发布1992-07-01实施一一一-一一一一一呵.一一一一一一-一一一一一一机械电子工业部发布中华人民共和国机械行业标准JB/ T 5576-91 真空蒸发装饰镀膜设备技术条件1 主题内容与适用范围本标准规定了问歇式页空电阻蒸发装饰镀膜设备的技术要求、试验方法，检验规则及标志、包装、运输等要求。本标准适用于压力在10-2 1. 0 - 3 Pa范围的非卷绕式的用于装饰件哀而蒸铝膜的问歇式真空!:J.l_蒸发装饰镀膜设备(以下简称设备。2 引用标准GB 11161 真空镀膜设备通用技术条件3
2、 技术要求3.1 正常工作条件应符合GB1161中3.1的全部规定。3.2 特征参数3.2.1 设备的主要技术参数应符合GB11164中表1的规定，其中真空指标符合B档的规定。3.Z.2 设备的沉积拟应是低电压大电流电阻蒸发源，主要电参数应符合表1规定。表1也参乡t电压(V)每个月2发源加热部电流(A)数内4 - 20 100- 200 蒸发源加热器数量按产品说明书或用户与制造厂所订协议约束3.2.3 设备的电阻蒸发器的工作状况应稳定，易于调节控制，电源变压器和蒸发变压器之间的连接部分要接触可靠，以确保蒸发器正常工作。3.3 结构要求3.3.1 应符合GB11164芳3.3条的全部规定。3.3
3、.2 根据设备要求，电阻蒸发器的结构，可选用鸽材料制的加热器，并必须保证在额定功率下能够提供足够的热量，tt日料持续不断蒸发，同时，加热器的几何形状应无明显改变。3.4 制造质量3.4.1 设备主要零部件的材料应符合相应的材料标准的规定，且应具有质量合的证书。如证书不全或制造部门有疑问时应由制造厂检验部门负责复验。3.4.2 镀膜室内壁表面及各密封表面的粗糙度应达到Ra3.2m。3.4. 设备的零部件的机械加工质量及设备的焊接件的质量均应符合制造厂技术文件的规定。3.4.4 生?导的装配质冠应符合制造厂技术文件的规定，装配时对工作时处于真空的各表面应进行有效的真空前市处Jjll:J:川、1干1
4、为，.各I1专动件装配时应平稳、无抖动，威氏动密封等需用i闰1ftJ旨的动峦封处应充满真空lliIJ斤。机械电子工业部1991-07-16批准1992-07-01实施J B j T 5576- 91 3.4.5 1汪汪镀1i:)m热过程1-1，设备应能il二前边织工作，包括的王Jj件转云)II如，元-1二、i:;i、松、抖等现象。3.4.6 出备听配用的白1lJiJli与外购的字部件都j也符合相应的J;:i，j，标准的规定，f:应具有质量合格证或经jj!Jj主厂检验部门检验合格后方可自己入设备使用。3. 4.7 i :全j余轩可靠。装置中纹路的f11:(f应慰于1二、7月Jlj)r、fJicJ
5、二位伤。;民Ji111件IL!.气可阳的绝f苯电阻值，不得低于2MQ。3.4.8 设备的外观质量应做到没叮=11:刀j白-t-I二百型的尖ff、1主fJ、凸j国民;1丑恼不平表面。零部件结合币的边沿应整齐均匀不应有明显错位。金属:苓件的镀!应丰il、无变质、脱洛及生锈等现象。所有紧回件应有防腐层，设备的;在漆表面!应光沾、:美观、r-WI、无剥搭起皮等现象。3.5 安全防护3.5.1 关键部件的水冷系统中应有断水或水压不足的报警装置。并与电iIZ、真空系统、传动系统相关联部分有联锁保护机构这些保护机构的动作应灵敏可靠。3.5.2 对装设电动阀门的设备，真空镀膜室充气阀与高真空间及高真空间与予抽
6、间应保持联锁。突然停电时，电动阀门应能自行关闭。3.5.3 设备及其附属的电气装置均应装设接地装置，接地处应有明显标记。3.5.4 在管内或自己电板上不得装有几段连接起来的电线，也线出入口或穿过金属!i:休处应用光滑的绝缘件保护或在管口内孔衬以软质绝缘环。3.5.5 设备上的电气线路及电气元件应保证不受冷却液、润滑油及其它有需物质的影响。3.5.6 操作中突然停电后，再恢复供电时应能防止电器自行接通。3.5 . 7 在设备电气线路中，针对负我情况应采取短路保护，过电流保护等必要保护措施。3.5.8 外露的齿轮、皮带轮等应有可靠的防护装置。3.5.9 液压系统应有压力指示仪表及调节压力的安全装置
7、。3.5.10 设备及其附属装置上应装设为操作和安全所必需的标牌和标记，ftjlJ做标牌或标记的材料和刻划方法应能使其字迹在设备正常使用期内保持清晰。3.6 设备出厂检验完毕后应进行镀膜试验(可在可镀面积内有代表性的位置上放置少量工件进行镀膜)通过试验应证明设备工作正常。4 试验方法4.1 镀膜室极限压力应符合GB11164第4.1条的规定。4. 2 镀膜室恢复真空抽气时间应符合GB11164第4.2条的规定。4.3 电阻蒸发器通电试验a. 在清洁处理过的镀膜室内装入电阻蒸发器及蒸铝料。b. 在镀膜室内压力低于7x 10-2Pa时，接通蒸发电源，逐渐加热使蒸发电流达到表1规定为止，此时，蒸发器
8、应达到自炽状态，蒸发结束后，蒸发器上铝料应全部蒸发。5 检验规则5.1 每台没备及其附属装置if均须纠制造厂的质iZ检验部门股本标准及技术文件进行检验，并附有检验部门及检验人民签束的产!111台机，E5万能H厂。5.2 设备的f验分为LI厂检验和式检验。5.3 j飞:J川1川lJ热1足飞均匀l山吃)3.2.2、3.2.3、3.-1.2、3.，1.8、3.5.1、3.5.2、3.5.4、3.5.6，3.5.8及3.5.9等条款内容。2 JB/T 5576-91 5.4 产品的型式检验应包括本标准技术要求全部内容，即从出厂检验的合格品中抽取被检验对象，补足除出厂检验内容外的其它技术要求的检验内容。
9、5.5 产品属下列情况之一时须进行型式检验。u. 试斋。l新产品。b. 产品在设计、工艺或材抖上有重大变更时。c. 同类产品的定期拈l弯，每二年进行一次，每次抽查该批的5%(不得少于2台)，如有一项不合格则应重新抽取加倍数量的产品进行复验，如仍有不合格者，贝IJ进行逐台复验。5.6 设备进行检验时的工作条件应符合本标准3.1的规定或按制造厂与用户所订协议进行。5.7 检验时的试验方法按本标准第4章的规定进行。5.8 检验中所采用的各种测量工具应有合格证明，型式检验时，真空测量仪器应具有有效期内的计量检定合格证书。6 标志、包装、运输、贮存应符合GB11164第6章的全部规定。附加说明z本标准由
10、机械电子工业部上海通用机械技术研究所提出并归口。本标准由上海曙光机械制造厂负责起草。本标准委托机械电子工业部上海通用机械技术研究所负责解释。3 U卢ll队町的LF中华人民共和国机械行业标准真空燕发装饰镰膜设备技术条件JB/T 5576-91 * 机械电，于T业i;lJ;i往比pJf冗所出版(北京i.tf;f，:南路)机械工业标准印刷厂印刷(湖南长沙)机械工业标准次行刻i次行(湖南民沙市盟城披)mNth-。.剧* f卅才本;_880X 12:10 1/16 t:日印:1泪i口l刊5张长0.5 :护;放立G 000 ) 1992才1.气日JI: I li .飞-_.1 I .0 * j l i 七di
