1、71主中华人民共和国机械行业标准1991-07-16发布J8fT 5579-91 真空蒸发制镜镀膜设备技术条件中华人民共和国机械电子工业部发布1992-07-01实施中华人民共和国机械行业标准真空蒸发制镜镀膜设备技术条件JB/ T 5579 - 91 1 主题内容与适用范围本标准规定了真空蒸发iJll镜镀肢设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、i主输、贮存等要求。木标准适用于真空蒸发键侣破璃制镜镀膜设备(以下称设备)。2 引用标准GB 111 64 真空镀膜设备通用技术条件。3 技术要求3.1 设备工作条件应符合GB11164中3.1条的规定。3.2 技术参数3.2.1 设备的主要技
2、术参数应符合GB11164中表1的规定，其中真空指标按B档要求。3.2.2 设备采用低电熙、大电流电阻蒸发器，每个蒸发器加热器应在电压4.20V，电流50.130A的状态下正常工作。3.2.3 设备蒸发源的工作状况应稳定且易调整，电极触头应接触良好可靠。3.3 结构要求3.3.1 设备的结构设计应布局合理，造型美观，操作简便，便于维修并符合经济，安全高效的原则。3.3.2 设备中的真空管道、静动密封零部件(法兰、密封圈等的结构型式和尺寸应符合GB6070的规定。3.3.3 在低真空和高真空管道及真空镀膜窒上应装设真空测量规营，分别测量各部位的真空度。3.3.4 如果设备使用的主泵为扩散泵时，应
3、在泵的进气口一侧装设沽l蒸气捕集阱。3.3.5 设备的镀膜室应设有观察窗。3.3.6 采用钧丝做为热源的加热器应能使蒸镀材料正常蒸发，且加热器的几何形状应无明显变化。3.3.7 设备装镜工件架的推进拉出应平稳，不得有卡死和抖动现象F各转动部位应灵活，不应有卡、松、抖等异常现象。3.4 制造质量3.4.1 设备主要零部件的材料应符合相应的材料标准的规定，且应具有质量合格证书。如证书不全或制造部门有疑问时应由制造厂检验部门负责复验。3.4.2 镀膜室内壁表面及各密封表面的粗糙度应达到Ra3.2m。3.4.3 设备的零部件的机械加工质量及设备的焊接件的质量均应符合制造厂技术文件的规定。3.4.4 设
4、备的装配质量应符合制造广技术文件的规定，装配时对工作时处于真空的各表而应进行有效的真空清洁处理并予以干燥，各转动件装配后应能灵活转动，不得有卡、滞、松、抖现象，升降机构动作时应平稳、无非|动，威氏动密封等需用润滑脂的动密封处应充满真空油脂。3.4.5 1旦被饿件加热过程巾，设备应能正常连续工作，包括转动件转动向女JJ.无卡、叶、松、rl非现象。3.4.6 设备所阻用的自jlJ或外购的零部件都应符合相应的产il川机械电子工业部1991-07-16批准1992-07-01实施JBjT 5579-91 制造厂检验部门检验合格后方可配入设备使用。3.4.7 设备配套的电气装置的制作质量应符合制造厂技术
5、文件的规定并应保证设备运行和操作时的安全可靠。装置中线路的排布应整齐、清晰、便于检修。装置中各电气回路的绝缘电阻值不得低于2MQ。3.4.8 设备的外观质量应做到没有非功能性需要的尖角、棱角、凸起及粗糙不平表面。零部件结合面的边沿应整齐匀称不应有明显错位。金属零件的镀层应牢固，无变质、脱落及生锈等现象。所有紧回件应有防腐层，设备的涂漆表面应光洁、美观、牢固、无剥落起皮等现象。3.5 安全防护3.5.1 关键部件的水冷系统中应有断水或水压不足的报警装置。并与电源、真空系统、传动系统相关联部分有联锁保护机构。这些保护机构的动作应灵敏可靠。3.5.2 对装设电动阀门的设备，真空镀膜室充气阅与高真空间
6、及高有空间与予抽阀应保持联锁，突然停电时，电动阀门应能自行关闭。3.5.3 设备及其附属的电气装置均应装设接地装置，接地处应有明显标记。3.5.4j;在管内或配电板上不得装有几段连接起来的电线，电线出入口或穿过金属壁体处应用光滑的绝缘件保护或在管口内孔衬以软质绝缘环。3.5.5 设备上的电气线路及电气元件应保证不受冷却液、润滑油及其它有害物质的影响。3. 56 操作中突然停电后，再恢复供电时应能防止电器自行接通。3.57 在设备电气线路中，针对负载情况应采取短路保护，过电流保护等必要保护措施。3.5.8 外露的齿轮、皮带轮等应有可靠的防护装置。3.5.9 液压系统应有调节压力的安全装置。3.5
7、.10 设备及其附属装置上应装设为操作和安全所必需的标牌和标记，制做标牌或标记的材料和刻划方法应能使其字迹在设备正常使用期内保持清晰。3.6设备出厂检验完毕后应进行镀膜试验可在可镀面积内有代表性的位置上放置少量工件进行镀膜)，通过试验应证明设备工作正常。4 试验方法4.1 镀膜室极限压力应符合GB11164中4.1条的规定。4.2 镀膜室恢复真空抽气时间应符合GB11164中4.2条的规定4.3 电阻蒸发器通电试验趴在清洁处理过的镀膜室内装入电阻蒸发器及蒸镀用铝料Fb. 在镀膜室内压力低于7x 10-2Pa时，接通蒸发电源，逐渐加热使蒸发电流达到本标准3.2.2条规定为止。此时，蒸发器应达到自
8、炽状态，蒸发结束后，蒸发器t铝料应全部蒸发。5 撞验规则5.1 设备须经制造厂检验部门按技术标准的规定检验，检验合格后出厂的设备应有检验部门和检验人员签章的产品合格证书。5.2 设备检验分为型式检验和出厂检验。5.2.1 设备的型式检验应包括本标准规定的全部技术要求。5.2.2 设备的LH厂检验应逐台进行，其检验项目执行本标准中3.2.1，3. 2. 2, .2.珩1G B 111 6 4 r1 3.4. 2, 3.4.9, 3.5.1 , 3 . 5 . 2, 3.5.4, 3.5.6, 3.5.10和3.5.11的规定。5.3 产品属于下列情况之一时须进行型式检验g2 JB/T 5519-
9、91 a. 试制的新产品Pb. 产品在设计、工艺或所用材料上有重大变更时Fc. 同类产品的评比定级时zd. 成批量产品的定期抽查，每二年进行一次，每次抽查该扯的5% (不得少于2台如有一项不合格则应重新抽取加倍数量的产品进行复验，如仍有不合格者，则进行逐台检验。5.4 设备检验所采用的各种测量工具应有合格证明。型式检验时真空测量仪器应具有有效期内的计量检定合格证书。e 标志、包装、运输、贮存按照GB11164第六章的规定进行。附加说明s本标准由机械电子工业部上海通用机械技术研究所提出并归口。本标准由兰州真空设备厂负责起草。本标准委托机械电子工业部上海通用机械技术研究所负责解释。3 户|kmmLF由中华人民共和国机械行业标准真空蕉发制镜罐膜设备技术条件JB/T 559-91 * 机械电子工业;il:ff. i1i ft, Ilff JG州出版(北);CIdf:ItH各)机械T业标准印刷厂Il刷(沟J_何民沙)机械工业标准友行刘it，(:仔(湖南民也!lli盟城j皮)。hFtmOZNm拿升才、880X1:l() I/ JG i; iJK 0_5 :;-: G ()O() I 21 ) l r 1:飞1，:rl;!J白1:，-: 11 J ,1j;11 i 11 .: I一11)，111* 在(jj-J. vi) )L
