1、中华人民第四业部，. .吨CK 100 ,. 800 ，山皿w方法空油扩散 准SJl778 81 : t. .,.J 本标准适用于SJ177681300毫米时，内径公差为土3毫米.测试罩法兰应符合被试泵法兰的密封连接要求.罩上，距法兰1/2内径高的平面上，装有两个虽180。对称分布的，轴线垂直罩壁向外的测量管接头，其中一个接超高真空测量规管，另一个备用，接头导管对空气的流导不小于25升/秒.接头与测规管的连接为SJ165680 (金属密封越南真空法兰结掬型式规定的铜垫密封连接.12.拥气速率测试罩如固4所示。为不锈钢制平顶园筒，内径与泵口直径相同，内径300毫米时，内径公差为土3毫米。高度为内
2、径的3倍。在罩内距法兰1/2罩高的平面上装有一薄隔板，隔板中心有一小孔，小孔直径为测试罩内径的测试罩反微词阀:350.400t; 且且直克t阙因1极魏试验装霆SJ1118 .81 共T页第S页2抽气速率试验装置上部(隔板以上)，距隔板1/2罩内径高的平面上装有两个虽180。分布，轴线垂直罩壁向外的接头，其中一个接超高真空测量规管p 1;另一个接控制充气流量的微调阀。接微调阀的接头，沿接头轴线D 3极向罩内载有根供充气用的直角弯管，弯管坚直部分沿测试罩轴线向0.05-0.1倍.测试罩法兰应符合被试泵法兰的密封连接要求。共守黑第4页SJ1778 81 上，弯管出气口距罩1页1/2罩内径，弯管内径不
3、大于10毫米.下部(隔板以下)距法兰1/2罩内径高的平面上，装有两个试罩上部接头方向一致，轴线垂直罩壁向外的接头，其中一个接超高真空测量规管，另一个备用。E司图4拍气试厚连接测量规管的接头导管对空气的流导不小于25升/秒。接头与管的连接为5J1656 80 (金属密封超高真空法兰结掬型式规定的铜垫密封连接.13.极限压强和抽气速率试验装置用前级管路如图5所示.导管内径d不小于被试泵的出气口直径.测量前级压强的规管装在被试泵出气口附近，其开口平面与气流运动方向平行.调节前级压强的充气量规管的距离应大于2倍导管内径d.SJ1718 81 共7页第5页撞撞筑栩栩图5前级管14.测量极限压强和抽气速率
4、用的测量规管及超高真空计，测量范围应在5x 10- 1 X 10- 1 0托.15.调节抽气速率测试罩压强用的微调阀，对压强的调节范围为5X10-5, .5 X 10-9托.微调阀前装有空气过滤器.四、16，极限压强按图1规定的试验装置和图3规定的测试罩进行.泵的极限压强允许用盲板法兰进行叫嚣.17 .通过前级管路上的充气阀向泵内放入干燥空气1分钟，依次启动前级泵和被测泵，当压强低于5X 10-6托时，按第7条规定的温度范围对真空测量规管、测试罩(或盲板法兰、泵壳进行烘烤除气，在下连续烘烤12小时.18.停止烘烤后，当测试罩和泵壳温度降至15.25c时，测量泵的压强.按照规定要求对真空测量规管
5、加速极进行轰击除气.每两次轰击的时间间隔不少于30分钟.反复轰击除气后，压强在1小时内的波动不超过5侈，此压强值即视为泵的极限压强。测量极限压强时，压二位有效数字.被试泵启动后，经过烘烤、降温、加速极除气、测量等程序，在24小时内极限压强应达到规定指标.19.烘炜前的压强值、烘烤温度及时间、降温后测得的压强值及其对应的时间等均应详细记录.共T页第E页SJl718 81 五、20.抽气速率测试罩、测量规管、微调阀和前级管路等清洗后，按图2要求与被测试好极限压强的泵连接.21.启动前级泵，当试验系统压强低于5X 10-2托时，对测试罩进行予烘烽除气，烘炜温度为250，-300t，烘炜时间为12小时
6、.22.测试罩降温后启动被试泵，压强低于5X 10-6托时，按第7条规定的温度范围对真空测量规管、测试罩、微调阀和泵壳进烘炜时间为24/j、时.23.停止烘炜后，当测试罩、微调阀和泵壳温度降至15，.25t时，按规定要求对真空测量规管加速极进行轰击除气，测量罩内压强.当压低于2-3倍泵的极限压强，测试罩上部压强P1和下部压强P2之差小于10铃，且1小时内Pl及P2的波动值都在5%范围以内，此时即认为试罩上部与下部压强已达到平回24.当测试罩压强平衡条件建立后，测量气体流动速率.通过微调向罩内充入干燥空气，使压强逐级升高，建立被测压强P2，P2的范围为1X 10丁.5Xl0.g托，且在每个数量级
7、内至少建立4个测量点，每点的稳定时间不少于15分钟，在稳定时间内，压强P1和P2的波动值不大于5%.如波动值超过5%，应延怯稳定时间.为了使通过小孔的气体分子保持分子流状态，测试罩上部压强11的最大值(P1max)不超过以下Plmax 5XI0-Sjd(托)式中:d一小孔直径(毫米)气体流动速率应在同样条件下测量两次，两以内，且取其平均值.如两次测量值之差超过10份，应都应重新烘炜除气48小时，测量罩内的平衡压强应低于2，.3倍泵的极限压强.25.根据测得的各点压强P1、P2值和小孔的流导U，按以下关系式各点的抽气速P1 S U( -P2 -1 ) (升/秒)SJ1778 81 共T页第T贾出
8、的抽气一位有效数字，并列各点的对应的压26.绘制1X 10-5N5 X 10-9托压强植围内的抽气速率特性曲线.标线性座标)表示抽气速率;横座标(对数座标)表示压27.泵的额定抽气速率，是指抽气速率下降值不大于10部分的平 , J、28.按图2所示，将测试罩压强抽到1X 10-1托以下，通过微调阀向内充入干燥空气.使测试罩下部压强P2稳定在5X 10-6托，再由管路上的充气阀向前级管路充入干燥空气，使前级压强缓慢上升，同时观察压强P2的变化情况，当压强P2增加10%时所测得的前级压强即为压强.最大反压强取二位，日从骂人. 七、29.试验结束后应填写试验报告，其内容应包括s( 1 )极限压明:( 2 )带挡握和不带挡板的平均抽气速率及抽气速率曲线圈，( 3 )取人以皿四Z( 4. )前级泵型号( 5 )油锅加m怖中Z( 6 )烘烽温度及时间Z( 7 )工作介质牌号及用.:( 8 )冷却水温度及压力z( 9 )试验环境温度及相对( 10 )真空测量规管及真空计型号和校准情况z( 11 )试验日期及测试人.
