1、ICS 25.220.20 A 29 中华人民=H工./、道昌和国国家标准GB/T 11378-2005/180 4518: 1980 代替GB/T11378 1989 金属覆盖层覆盖层厚度测量轮廓仪法Metallic coatings-Measurement of costing thickness-Profilometric method CISO 4518: 1980 , IDT) 2005-06皿23发布中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会2005-12-01实施发布GB/T 11378一2005/ISO4518: 1980 目次E11111222223333
2、33333344444 性度特糙幢型素粗附类器仪因川面件UM川的仪较关u数u小表文要仪式比有倍大和用参录针应的录大量的径率廓制录量度轮面引u记触感度记放测力直曲度程的记测精日i阶准准性廓子子精廓直形M针动面洁度台基校.规阶廓度量围范理器轮电电响轮垂图夕触卦表清温准量台轮厚测3范规原仪影012校测一-rv?qd1i?nd4Edb勺OOQd1i1-41110，qJA哇前123444.Ah55.5.1丘5.5555555677777I 币GB/T 11378-2005/ISO 4518: 1980 前言本标准是对GB/T11378 1980(金属覆盖层厚度轮廓尺寸测量方法的修订，本标准等同采用ISO
3、 4518: 1980(E)(金属覆盖层覆盖层厚度测量轮廓仪法(英文版)。本标准对应ISO4518作了如下修改:一-取消了ISO4518的前言内容，重新起草了本标准前言;一一增加了目次:用本标准代替本国际标准;一一引用了采用国际标准的我国标准。本标准由中国机械工业联合会提出。本标准由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会归口。本标准起草单位:m械工业表面覆盖层产品质量监督检测中心。本标准起草人:姜新华、钟立畅、宋智玲。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:一一一GB/T11378 :1 9890 阳山GB/T 11378-2005/ISO 4518: 1980 金属覆盖层覆盖层厚度测量轮廓仪法
4、1 范围1. 1 本标准规定了金属覆盖层厚度的一种测量方法。该方法是首先在覆盖层表面和基体金属表面之间形成一个台阶，然后应用轮廓记录仪测量台阶的高度。本标准具体规定了仪器的特性以及轮廓仪法的特殊测量规程。1.2 本方法适用于测量平表面上厚度0.01rn1 000m的金属覆盖层厚度，如果采取适当措施，也可以测量圆柱表面。它非常适合于微小厚度的测量，但对厚度小于0.01m的工作表面平直度、平滑度的要求非常严格，因此建议不要在电子触针式仪器的最低厚度范围内采用本标准。本方法适用于制备覆盖层厚度标准片厚度的测量。2 规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的文件，其
5、随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用本标准。GB/T 4955 金属覆盖层覆盖层厚度测量阳极榕解库仑法(idtISO 2177) GB/T 12334 金属和其他非有机覆盖层关于厚度测量的定义和一般规则(idtISO 2064) 3 原理溶解一部分覆盖层(验收试验)或在镀覆之前掩盖一部分基体(生产检验)以形成一台阶。用轮廓记录仪测量台阶的高度。4 仪器:工作参敬和测量特性4. 1 轮廓记录仪的类型下列两种类型的仪器都可采用:4. 1. 1 电子触针式仪器，即表面分
6、析仪和表面轮廓记录仪，通常是用于测量表面粗糙度。但本标准的目的是用它来记录台阶的轮廓;4. 1. 2 具有触针及记录台阶轮廓功能的电子感应比较仪。电子触针式仪器的应用更广，可以测量粗糙度，但电子感应比较仪的结构更简单。两种仪器通常测量不同的厚度范围:电子触针式仪器的范围是0.005m250m，电子感应比较仪的范围是1m1 000m。4.2 电子触针式仪器4.2. 1 这类仪器用于记录表面轮廓，它们具有下列组件:4.2. 1. 1 一个夹角为1.57弧度(900)的圆锥或角锥触针传感器。触针针尖横断面半径公称值为2m、5m、10m或50mo它与试验表面接触的压力不应超过表1给出的数值。G/ T
7、11378-2005/ ISO 4518 : 1980 表1压在触针上的力触针针尖半径的公称值/m2 5 10 50b 触针在平均高度的最大静压力/mNO. 7 4 16 10b a 1 mN起O.1 gf。b适用于低硬度金属，如锡和铅的数值。4.2. 1. 2 一个驱动单元，它使传感器相对于基准滑轨移动，如果滑轨可能导致被测表面损伤或者使被测台阶变形，则传感器应在一个具有轮廓的标称形状基准面上移动。1000000。4. 2. 1. 4 一个描绘放中选择轮廓的水平宽4.2. 2 轮廓记:M、一一移动M4.3.2电.而5 影晌精度的有关因素5. 1 轮廓记录标称值(VV)在下面一组数据中任选:起
8、工作时，可以从下面一组数据性t不低于5%的电子感因为厚度的测量是根据被记录的轮廓古拧7因此，在一适当的放大倍数下，如果不能正确描绘出台阶，测量误差就大。不准确的记录可能是由于记录仪质量不好或调节不当造成的。5. 2 垂直放大倍数如果垂直放大倍数太低，则测量精度低，此时应调整，按照台阶轮廓记录在记录纸上最佳宽度选择放大倍数。5. 3 图形测量如果测试表面与参比(基准)表面不平行，则水平面的记录与图表坐标方格是倾斜的，台阶垂直部分也是倾斜的，但它仍可垂直于图表的坐标方格，这取决于垂直和水平放大倍数、触针的半径，最后取决于台阶的高度(即厚度)。当轮廓倾斜时，如果对水平放大倍数和垂直放大倍数的差别不作
9、校正，测定轮廓GB/T 11378-2005/ISO 4518: 1980 的中心线间的垂直距离时通常会产生误差。为了避免这些误差和额外的数学运算，基准面与测试表面应平行。这可用适当的夹具或装配去完成。5.4 外加力的大小如果作用于触针上的力太大，触针会造成表面刮伤或变形，可能引进测量误差。故应使力保持最小值，一般不应超过表1所给的值。5.5 触针直径和表面粗糙度如果使用小直径的触针作用于粗糙的表面，因所记录的台阶极值不宜确定，故台阶的高度很难准确地测量。大直径的触针可使这种困难减至最小。5.6 振动振动会使记录的轮廓5. 7 表面曲率表面由率会妨碍向)。5.8 清洁度任何附着物，如的空气应相
10、对洁净且5.9 温度5. 10 台阶轮廓如果制作的台阶不记录的可靠性随基准面的质量5. 12 校准厚度测量不会小于仪器的校准误差和用。小直径的触针有助于减少下来。基准滑轨是化，故需多次校准仪器，校准次数根据经验而定。即使细心地校准仪器，因仪器具有非线性特性，还可能有2%的误差。为使此误差最小，仪器可在十分接近待测台阶高度的两点进行校准。6 校准6.1 应根据制造商的说明书校准仪器，并适当地考虑第5章中所列举的影响因素。6.2 用于校准仪器的标准块，其台阶高度应是己知的，且不确定度小于5%。但是，若台阶高度小于0.1m，其不确定度可能大大超过5%。6. 3 每隔一定时间以及每当怀疑校准有变化时，
11、就应进行重复校准。3 GB/T 11378一2005/ISO4518:1980 7 测量规程7. 1 台阶的制备7. 1. 1 除掉-部分覆盖层，对基体不要有任何腐蚀。台阶的顶部无论如何不得遭受损坏或腐蚀，台阶的底部应无任何覆盖层痕迹。制备台阶的适当方法见7.1.2、7.1. 3和7.1.407. 1. 2 采取合适材料遮蔽除要榕解区域以外的全部覆盖层。用对基体不产生腐蚀的合适的试剂榕解暴露的覆盖层，然后除掉全部遮蔽材料。7. 1.3 采用GB/T4955的阳极溶解库仑厚度测量法相同的方式以电解池溶掉一小面积覆盖层。触针单方向横穿小电解地所形成圆坑的直径，可以提供两个台阶的轮廓。为了与GB/T
12、12334中关于测量大于1c旷的标准面积的最小厚度的规定一致，建议在1cmX 1 cm的面积内除掉四个小圆面积的覆盖层(图1)，用以记录台阶轮廓和测量正方形中靠近每一角的台阶高度。EQH lcm 圈17. 1. 4 在某些情况下，台阶是在制备覆盖层前屏蔽一部分基体而形成的。所屏蔽的面积足够地小(直径约为1mm或2mm)，所形成的边界不会妨碍测量。7.2 轮廓记录按照仪器制造商的说明书记录轮廓，应事先根据第4章的说明及测量特性确定操作参数。要特别注意第5章阐述的影响测量精度的因素。7.3 厚度测量通过台阶上下边界值的每一记录，描绘其平均线，并将它们延展，以便使两平均线交迭。以台阶中点至两条平均线
13、的距离来确定台阶的高度。在进行这种测量时，应避免边界效应，还应作出沿扫描轮廓的膜厚变化的允许量。7.4 测量精度仪器的校准和操作应使覆盖层厚度测量精度在10%或士o.005 /1m(以大值为准)范围内。4 中华人民共和国国家标准金属覆盖层覆盖层厚度测量轮廓仪法GB/T 11378 2005/ISO 4518 :1 980 * 中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:100045 网址电话:6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销晤开本880X1230 1/16 印张O.75 字数11千字2005年12月第一版2005年12月第一次印刷* 书号:155066. 1-26716 定价10.00元GB/T 11378-2005 如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(OJO68533533 。F-号。自的OON|h的-F同阁。
