1、 E囚29.045H 82 硅1996-11-04发布国共GB/T Monocrystalline silicon as cut slices and I apped slices 技术监督局12965 1996 1997-0401 发布GB/T 12965一1996兰主I=t 本标准参照国外有关标准，结合我国硅材料的使用情况，对GB12965-91进行修订而成的。修订时保留了原标准中符合我国实际的内容。修订后的本标准，删去了原标准中的直径90mm的规格，增加了直径125mm的规格，主要技术指标，都有不同程度的提高。与本标准配套的标准有sGB!T 12962 硅单晶本标准从1997年4月1日起
2、实施。本标准从生效之日起，代替GB12965-91。本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所归口。本标准起草单位2洛阳单晶硅厂和中国有色金属工业总公司标准汁量研究所。本标准主要起草人2王从赞、郭瑾、吴福立。本标准首次发布日期:1991年6月。, 一主、一卢:,.1 范围中华人民共和国国家标准硅单晶切割片和研片Monocrystalline silicon as cut slices and lapped slic四G/T 12965-1996 代替GB12965 91 本标准规定了硅单晶切割片和研磨片(简称硅片)的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以
3、及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于由直拉、悬浮区熔和中子建变掺杂硅单晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片，硅片直径范围为50.8125 mm，产品用于制作晶体管、整流器件等半导体器件，或进一步加工成硅抛光片。2 引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效，所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T 1550硅单晶导电类型测定方法GB/T 15521995硅、错单晶电阻率测定直排四探针法GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法GB 1556-79 硅单晶晶向X光衍射测量方法GB
4、2828 87 逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批检查)GB/T 6618-1995 硅片厚度和总厚度变化的测试方法GB/T 6620二1995硅片翘曲度的非接触式测试方法GB/T 6624-1995 硅抛光片表面质量目测检验方法GB 11073-89 硅片径向电阻率变化的测量方法GB/T 12962-1996 硅单晶GB/T 13387-92 电子材料晶片参考面长度测量方法GB/T 14140-93 硅片直径测量方法GB/T 14844-93 半导体材料牌号表示方法3 产品分类3. 1 分类硅片按导电类型分为n型和p型两种类型，按硅单品的生产方法和硅片的加工方法分别分为直拉、悬浮区熔
5、和中子嬉变掺杂(NTD)三种硅单晶切割片和研磨片。3.2牌号硅单晶切割片和研磨片的牌号表示为z国家技术监督局1996-11-04批准1997-04-01实施1 ._.j 牛二一一，.-，GB/T 12965-1996 口Si-口-口()-( ) 表示品向表示导电类型，括号内的元素符号表示掺杂剂表示硅片种类表示硅单晶表示单品的生产方法或特殊用途。牌号中的符号含义同GB/T14844-93中第3.3条。3.3规格产品按硅片的直径分为50.8、63.5、76.2、100和125mm5种规格。4 技术要求4. 1 物理性能参数硅片导电类型、掺杂剂、电阻率及径向电阻率变化、少数载流子寿命、氧、碳含量应符
6、合GB/T 12962的规定。4.2 几何参数硅片的几何参数应符合表1的规定。4.3 晶体完整性硅片晶体完整性应符合GB/T12962的规定。4.4表面取向4.4. 1 硅片表面取向为lOO或(lll晶面。4.4.2 硅片表面取向偏离为:正晶向，0。士O.50。偏晶向z偏离(11)面，平行主参考面向最邻近的(110)方向偏2.5。士O.50或4.0。士o.50 4.4.3 硅片是否制作参考面，由用户决定。4.4.4 硅片主、副参考面取向位置和长度应符合表2和表3的规定。4. 5 表面质量4. 5. 1 硅片崩边径向延伸应符合表1的规定。每个崩边的周边长不大于2mm，每片崩边总数不能多于3个，每
7、批硅片中崩边硅片数不得超过总片数的3%。4.5.2 硅片不允许有裂纹、缺口。4.5.3 硅片经超声清洗干燥后，表面应洁净，无色斑，无泊污。4.5.4 硅切割片不得有明显切割刀痕。4. 5. 5 硅研磨片表面应无划道、无刀痕。2 一- ? 一一一一-GB/T 12965-1996 表1硅单晶切割片和研磨片几何参数产硅片直径，m血50.8 晶63.5 76.2 100 125 名直径允许偏差，mm士O.4 称+0.4 士。.5 土O.5 土O.3 硅片厚度，m不小于260 280 320 360 440 厚度允许偏差，m土15土15+15 士20士20切总厚度变化，cm10 10 10 15 20
8、 割不大于片翘曲度，m25 30 30 35 40 不大于崩边，mm不大于O. 5 O. 5 0.8 。.8 1. 0 硅片厚度，m240 260 280 320 400 不小于厚度允许偏差，m士10土10土10土10士10研总厚度变化，m3 4 5 6 8 磨不大于片翘曲度，m20 25 30 35 40 不大于崩边，mm未倒角0.5 。.5 0.8 0.8 J. 0 不大于但l角.3 表2主、副参考面位置导电类型表面取向主参考茵副参考面p 1 1J ) llO 士r无n 11 1J ) 1J0士J与主参考面成45。土5。p 1100 1l0土1。与主参考面成90。士5n 1100 llO:
9、tl。与主参考面成180士5。注.对于Cl11)硅片，等效于110面的有(110)、(011)和(101)晶面。对于ClOO)硅片，等效于110面的有(011)、(011)(011)和(011)品面。表3主、副参考面长度硅片直径，mm50.8 63.5 76.2 100 125 主参考西长度，mm16土2商22.5+2.5 32.5土2.5 42. 5:t2. 5 副参考面氏度，mm8:t2 定11.5+1.5 18士227.5 :1: 2.5 3 叫吨二一GB/T 129651996 5 试验方法5. 1 硅片导电类型测量按GB/T1550进行。5. 2 硅片电阻率测量按GB/T1552进行
10、。5.3 硅片径向电阻率变化测量按GB11073进行。5.4 硅片晶向测量按GB1556进行。5.5 硅片晶体完整性检验按GB/T1554进行。5.6 硅片直径测量按GB/T14140进行。5. 7 硅片厚度和总厚度变化测量按GB/T6618进行。5.8 硅片翘曲度测量按GB/T6620进行。5.9 硅片参考西长度测量按GB/T13387进行。5.10 硅片表面质量目视检验，参照GB/T6624进行。6 检验规则6. 1 检查和验收6. 1. 1 产品应由供方技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定，并填写产品质量保证书。6. 1.2 需方可对收到的产品进行检验。若检验结果与本标准规定
11、不符时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。6.2 组批硅片应成批提交验收。每批应由同一牌号、相同直径、相同电阻率范围、同种厚度的硅片组成。6.3检验项目抽检项目有.导电类型、品向、品向偏离、电阻率范围、径向电阻率变化、厚度、总厚度变化、翘曲度、表面质量、直径以及参考面位置和长度。6.4 抽样每批产品，各个项目的检验都采用GB2828的1级检查水手的一次抽样方案或由供需双方商定。6. 5 检验结果的判定6. 5. 1 导电类型和晶向拍检若有一片不合格，则该批产品为不合格。其他抽检项目的合格质量水平见表4，6.5.2 抽检不合格的产品，供方可对不合格的项目进行全检，除去不合
12、格品后，合格品可重新组批。7 标志、包装、运输和贮存7.1 包装、标志7. 1. 1 硅片用相应规格的盒子包装，然后将盒子装入包装箱。包装应采取防破碎、防损伤、防油污等措施。持殊的包装要求由供需双方商定。7.1.2 包装箱外应标有小心轻放a) 需方名称;b) 产品名称、牌号;c) 产品件数、盒数，d) 供方名称。7.2质量证明书7.2. 1 每批产品应附有质量证明书，注明:a) 供方名称号b) 产品名称及牌号;4 GB/T 12965 1996 c) 产品批号，d) 产品盒数、片数pe) 各项检验结果及检验部门印记;f) 本标准编号pg) 出厂日期。7.3运输、贮存7. 3- 1 产品在运输过
13、程中应轻装轻卸，严禁抛掷，且应采取防震、防潮措施P7.3.2 产品应贮存在清洁、干燥环境中。表4检验项目及合格质量水平序号检验项目合格质量水平，AQL1 电阻率范围1.0 2 径向电阻率变化2. 5 3 晶向偏差1.0 4 厚度偏差1. 0 5 总厚度变化1.0 6 翘曲度.0 7 硅片直径1.0 8 参考面位置.0 9 参考面长度2. 5 崩边.0 划道2. 5 刀痕.0 10 表面质量油污, 5 裂纹、缺口1. 0 色斑1. 0 一、一一一问- 5 _. _，一ummF1町UmNF筒。中华人民共和国国家标准硅单晶切J片和研磨片GB/T 12965-1996 4晤中国标准出版社出版北京复兴门外三里河北街16号邮政编码100045电话，68522112中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷新华书店北京发行所发行各地新华书店经售版权专有不得翻印铸开本880X 1230 1116 印张3/4字数12千字1997年4月第一版1997年4月第次印刷印数1-1500 铃书号，155066. 1-13660 * 标目30706
