GB T 14604-1993 电子工业用气体 氧.pdf
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1、中华人民共和国国家标准G/T 14604二93电子工业用气体氧Gases for electronic industry-Oxygen 1 主题内容与适用范围水标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求,检验方法,检验规则及产品的包装、标4、运输、贮仔及安全要求。Ij. (-I业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体jlJ lJ阳浏闹。也可用于光导纤维。 h: ,0 , 扪对分f质量31.9991989年国际相对原子质量表)2 51用标准CB 190 危险货物包装标志(,B3863 业用气态氧GB 4844 氮气(;B 5099 钢质无缝气瓶CB
2、5832.2 气体中微量水的测定露点法(;B 6680 液体化工产品采样通则GB 6681 气体化工产品采样通则(;B 7144 气瓶颜色标记GB 7445 氢气(;B 8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和甲饶的测定气相色谱法GB 8991 气体中微量氧的测定气相色谱法GB/T 14605 氧气中微量氢、氮和氮含量的测定气相色谱法(;B/T 14606气体中总短的测定火焰离子化检测法3 技术要求电手工业用气体氧的质量应符合下表的要求项目指标超大规模集成电路级半导体及集成电路级氧f屯Jft,lO 二三99. 985 3 99.5 年l:ttl!:.106 运二l l :Ii币1j:.!0运二10
3、0 一-一,国家技术监督局1993-08-26批准Ni 电子级和散装液态氧99. 5 l 1994-07-01实施s GB/T 14604-93 续表指标项目超大规模集成电路级半导体及集成电路级电于级和散装液态氧氮吉量,106 三二30 氧化碳含量,10(, 三二l 二氧化碳含量.10-G 运二1 一氧化碳和一氧化碳含量,10-6 三二(,)、怪含量(以甲惋计).10 6 三三1 氧化亚氮吉量,106 运二1 纸吉撮,10-6 运二10 水吉i茧,106 三二2 总杂质含量(包括稀有气体).10-6运147 注:本标准不包括对颗粒的技术要求,该技术要求由供需双方商定。纯度及含量均以体积分数表示
4、。4 检验方法4. 1 采样100 100 5 5 5 25 2 2 2 2 5000 5000 4. 1. 1 瓶装气态氧的采祥应符合GB6681的规定。采样应用针形阀和金属管直接从样品瓶中采样,不得转移。4. 1. 2 管道输送的气体氧,采样时尽可能使用短的金属管将样品气直接送入分析仪。4.1.3 液态氧的采样应符合GB6680的规定。液态氧必须从液相取祥并保证使液态氧完全气化后恢复到常温方能进样。4.2 氧气纯度的测定4. 2. 1 超大规模集成电路级氧纯度的测定用扣除杂质含量的差减法,按式(1)计算氧的纯度(V/V) , 1 = 100一(队+白+轨+弘+院十1,+供+钝+民)X 10
5、 式中1一一氧的纯度,102;价氢含量.10飞快一一氧含量,106;轨氮含量,10-6;弘一氧化碳含量.10,轨一一二氧化碳含量,1065件总侄含量.10勺于马氧化亚氮含量,10-65件氮含量,10-6;于马水含量,10-604.2.2 半导体及集成电路级,电子级和散装液态级氧纯度的测定按GB3863中3.1规定的方法进行测定。4.3 氢含量的测定情GB8991的规定进行测定。( 1 ) 1NS GB!T 14604-93 4.4 氧、氮及氮含量的测定按GB!T14605中的规定进行测定。4.5 一氧化碳和二氧化碳的测定按GB8984的规定进行测定。4. 5. 1 测定一氧化碳时,吸附剂采用O
6、.250. 20 mm的13X分子筛,在350.C下通氧气活化4h;色谱柱温度为50C;进样量为3mL;最低检测量为O.5X 10-(V !V)。4. 5. 2 测定二氧化碳时,采用长40cm、内径2mm的不锈钢管柱,内装O.200. 15 mm的TDX.在130.C下通氢气活化4h,色谱柱温度为40.C;进佯量为3mLo4. 5. 3 允许采用预切割除氧法测定一氧化碳和二氧化碳的含量。4.6 总短含量的测定按GB!T14606的规定进行测定。4. 7 水含量的测定按GB5832.2的规定进行测定。4.8 氧化亚氮含量的测定4. 8. 1 方法及原理采用氮离子化气相色谱法。本方法基于潘宁效应原
7、理。载气氮进入检测器时,在银源辐射的F粒子作用下,部分氮原子被激发到亚稳态。样品气经色谱柱分离后随载气一起进入检测器,当样品中含有电离能比亚稳态氮原子的激发能低的组分时,该组分即与亚稳态氮原子发生碰撞而被电离,在外加电场作用下,形成离子流.在一定范围内,输出的离子流与该组分浓度成正比。4.8.2 仪器带有氮离子化检测器的气相色谱仪。要求该仪器对氧化亚氮的最低检测量为0.5XI0-。4.8.3 操作参考条件4.8. 3. 1 载气=氮气.GB4844中的高纯氮,流量为3040mL!min 0 4.8. 3. 2 操作气.氮气.GB4844中的纯氮一级品,主机压力表示值0.3MPa。4.8. 3.
8、 3 掺杂气z氢气.GB7445中的高纯氢,主机压力表示值。.05MPa。4.8. 3- 4 色谱柱=长4m、内径3mm的不锈钢管,内装O.200. 15 mm的porapakR.在180.C下通氧气或氮气活化4h。4. 8. 3. 5 色谱柱温度,30.C。4.8.3. 6 极化电压,500600V。4.8.3.7 记录仪d2.5mV。4. 8. 3. 8进样量,1.5 mL。4.8.4 标准混合气的规定标准混合气以氧为底气,组分含量应与待测组分含量接近。标准混合气应具有国家标准化行政主管部门批准的编号。4.8.5 操作步骤4.8.5.1 按仪器使用说明书及操作条件开启仪器直至稳定。4.8.
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