1、中华人民共和国国家标准厚膜集成电路用氧化铝陶瓷基片国家技术监督局 批准 实施主题内容与适用范围本标准规定了厚膜集成电路用氧化铝陶瓷基片的结构尺寸 技术要求试验方法检验规则 标志包装运输贮存本标准适用于厚膜集成电路用氧化铝陶瓷基片片状元件用氧化铝陶瓷基片亦可参照使用 以下简称基片引用标准表面粗糙度参数及其数值形状和位置公差检测规定压电陶瓷材料体积密度测量方法逐批检查计数抽样程序及抽样表适用于连续批的检查周期检查计数抽样程序及抽样表适用于生产过程稳定性的检查电子元器件结构陶瓷材料的名称和牌号的命名方法电子元器件结构陶瓷材料电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法 平均线膨胀系数测试方法电子元器件结构陶瓷
2、材料性能测试方法 介质损耗角正切值的测试方法电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法体积电阻率测试方法氧化铍瓷导热系数测定方法电子陶瓷零件通用技术条件结构尺寸基片的长 宽厚和最小孔尺寸列于表表长 宽 厚度 最小孔尺寸的所有尺寸 最小直径最小边长相邻两孔之间的壁厚或边与孔间距离不小于基片的厚度 且不小于技术要求和试验方法材料性能材料性能和试验方法列于表表材料性能项目 测试条件 单位 瓷试验方法状态细密颜色白色体积密度 按吸水率维氏硬度 负荷抗弯强度 按 中 条线膨胀系数 按导热率 按比热最高使用温度击穿强度 按 中 条体积电阻率 按介电常数电容率按 中 条介质损耗角正切值 按抗热震性基片经抗热震性试验
3、后应无裂纹和破碎用基片作试样做抗热震性试验 其试验方法按 第 条外观外观缺陷项目的术语采用 第 章外观要求和试验方法列于表表外观要求项目最大允许值 个数 面积试验方法裂纹不允许瓷疱 高度凸脊 高度毛刺 高度痕迹深度斑点锈点色斑暗斑直径直径直径缺损宽度深度为基片厚度的一半凹坑深度用与标准图样 见附录 对比进行目测 检查时可加灯光有分歧时用 倍刻度显微镜测量 对裂纹检查 必要时可用浸色液后再行目测注 每 上瓷疱 毛刺 凹坑三项缺陷不允许同时出现公差公差项目数值列于表表公差项目数值优级 级 级厚度公差 但不小于 但不小于 但不小于长宽度公差 但不小于 但不小于 但不小于续表公差项目数值优级 级 级划
4、线公差 但不小于 但不小于 但不小于翘曲度 长 长但不小于 长但不小于垂直度 长度尺寸的 长度尺寸的 长度尺寸的平行度 长度尺寸的 长度尺寸的 长度尺寸的公差项目所对应的测量方法列于表表公差项目 测量方法厚度公差长宽公差划线公差用千分表 游标卡 光学仪或其他能够保证测量精度的任何测量仪具翘曲度 平行板法 在基片自重作用下 以 角通过已经调整好间距的两平行板者为合格品通过间距 翘曲度 基片长度 基片厚度平行度 按 标准中有关规定测量垂直度 按 标准中有关规定测量表面粗糙度用针触式表面粗糙度测量仪进行测量检验规则基片分交收检验和例行检验所有检验均在供货单位质量部门进行必要时订货单位也可以派人共同进
5、行 供货单位提供检验所需要的一切条件并对检验结果负责订货单位有权按本规则对提交批进行复验交收检验按 采用一次正常抽样方案 其检验项目 检查水平 合格质量水平列于表表检验项目 技术要求和试验方法条 款 检查水平 合格质量水平外观裂纹其他公差翘曲度其他若交收检验不合格 该批瓷件应进行百分之百挑选后再次提交检验 但必须使用加严检查 若加严检查仍不合格 则不得再次提交验收例行检验按 采用判别水平为 一次抽样方案其检验项目检查周期不合格质量水平判定数组 列于表表检验项目 技术要求和试验方法条款 检查周期月材料性能 按 第 章进行例行检验抗热震性表面粗糙度若例行检验合格则本周期生产的基片经交收检验合格的批可以出厂或入库 若例行检验不合格则本周期生产的基片停止交收 并将已经交收检验而未出厂的基片停止出厂 已出厂的基片原则上退回供货单位或双方协商解决标志包装 运输贮存标志包装 运输贮存按 第 章附录基片表面疵病尺寸面积比拟标准图样补充件附加说明本标准由中华人民共和国机械电子工业部提出本标准由国营七九九厂负责起草本标准主要起草人王秀琳王玉功
