1、UDC 669. 293 669. 884-172 H 63 , 1993-12-24发布国GB/T 14843 93 单晶Lithium niobate single crystals 1994-09-01实施主是才毛虫局发布千一, 飞，一一一一- 牛中学人民共和国国家标准锯晶GB/T 14843-93 Lithium niobate single crystals 1 主题内容与适用范围本标准规定了镜酸鲤单晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于提拉法生长的镜酸铿单晶棒。产品供制作声表面波器件基片等。2 引用标准GB/T 15250 压电镜酸铿单晶体
2、声波衰减测试方法3 术语3. 1 相邻直径突变度单晶直径峰值与其相邻直径谷值之差与二者平均值之百分比。3.2 锥度单晶两端直径主主与其长度之百分比。3.3 弯曲度单晶弯曲部分与其基准线之间的最大距离。3.4 轴向偏差单品几何轴向与要求轴向之间的角度偏差。3.5 过冷环围绕单品表面呈环状并有一定深度的不透明层。4 产品分类4. 1 镜酸铿单品分为(11.0J、(01.OJ、(00.1、(10.4J等生长方向的单晶。4.2 锯酸鲤单晶按用途、直径和生长方向分为不同型号，型号表示方法如下zLN Y口口(1) (2) (3) (4) (1)一一用LN表示锯酸铿单晶。(2) 用汉语拼音大写字母Y表示压电
3、用。(3) 用阿拉伯数字表示单晶宣径，mm。(4) 用晶体学符号表示单晶生长方向。. 4.3 锯酸铿单晶规格应符合表1要求。国家技术监督局1993-12-24批准1994喃09-01实施1 一- / 飞飞GB/T 14843-:93 表l类别直径，mm11.01 X轴40110 01.01 Y轴40110 00. 1) Z制l40110 10. 41127.86T 40110 5 技术要求5. 1 单晶呈无色、淡黄色或淡绿色，透明度好，无裂纹和过冷环。5.2单晶内部无云层、气泡和散射颗粒。5.3单品相邻直径突变度和锥度均不大于5%。5.4 单晶弯曲度不大于2mmo5.5 单晶轴向偏差不大于50
4、05.6 单晶直径允许偏差为士2mm。5. 7 单晶内部缺陷引起的定向偏差不大于15。5.8 单晶应单畴化完全。长度，mm，不小于60 60 60 60 5.9 锯酸铿单晶的弹性、压电、介电常数、机电藕合系数及声表面波性能指标可参考附录A。5.10 需方如有特殊要求时，供需双方另行商定。6 6. 1 6.2 6.3 6.4 试验方法统酸铿单晶的宏观质量用目视检查。镜酸铿单品中散射颗粒在手电筒或激光束照射下用自视检查。锯酸锺单晶尺寸用相应精度的测量工具进行测量。单晶轴向偏差用X光定向仪测量。轴向偏差按下式计算tg= (tg2十tg2卢) 式中z件一一轴向偏差角;6.5 6.6 6. 7 7 一一
5、轴向偏差角水平分量;卢一轴向偏差角垂直分量。银酸锺单晶单畴化检验按附录B(补充件)进行。镜酸铿单品的弹性、压电、介电常数及机电藕合系数的测定按供需双方认可的方法进行。镜酸鲤单品的声表面波性能参数的测定按GB/T15250进行。检验规则7. 1 镜酸铿单晶由供方技术监督部门进行检验，保证产品符合本标准规定，并填写质量证明书。7- 2 需方可对收到l产品进行检验，如检验结果与本标准规定不符时，在收到产品之日起半年内向供方提出，由供需双方协商解决。7.3 取样方法按如下规定27- 3. 1 镜酸银单晶尺寸、宏观质量、散射颗粒和单畴化效果逐根检查。7. 3. 2 银酸钮单品的弹性、压电、介电常数、机电
6、祸合系数及声表面波性能参数任取一根检查。8 标志、包装、运输、贮存8. 1 告E酸银单晶包装应确保单品不受损害。2 8.2 每根单晶应附质量合格证，注明:8. b. C. d. e. f. 供方名称p产品编号多产品型号及规格;产品净重;各项检验结果及检验部门印记;本标准编号Pg. 检验日期。、GB/T 14843-93 飞，8.3 每个包装箱上应注明-z供方名称、产品名称或代号，并有防潮、轻放字样或标志。8.4 镜酸铿单品运输时应防潮和剧烈震动。8.5 锯酸铿单晶应存放在干燥和通风处。/ 牛牛. _- J一, 3 一一GB/T 14843-93 附录A数和声表面波性能指标(参考件)A1 镜酸鲤
7、单晶在常温下的弹性、压电、介电常数和机电藕合系数指标可参考表Al。表Al名称符号单位技术指标Cfl 2. 002. 05 短路cfz 。.500. 60 弹性Cf3 O. 720. 80 劲度C4 101lN/m2 o. 080. 09 常数C3 2. 402. 50 Cr4 O. 600. 65 C6 O. 750. 80 Sfl 5. 505. 90 短路S12 1. OO-1.10 弹性S巳1. 30-1. 50 顺度Sr4 lO-12rn2/N O. 90c- -l. 05 常数S3 4. 805.10 Sr4 16. 021. 0 S;6 13. O14. 0 机电Kt(OZ) 15
8、20 搞合Kt(35Yl % 4550 系数K31 (ZX) 2. O3. 1 C?l 2. 1O2. 20 cz O. 34O. 52 开路CP3 O. 60O. 90 弹性c? 10-11N/m2 0.10 -0.20 劲度C3 2. 482. 60 常数Cf4 O. 901. 00 C6 O. 820. 92 sft 5. 035. 57 开路SP2 。.44-0. 66 弹性SP3 10-.12m2/N 一1.12-1.68 顺度SP4 O. 721. 08 常数S3 4. 505. 00 4 、名称相对介电常数压电应力常数压电应变常数压电电压系数压电劲度常数自由介质隔离率夹持介质隔离
9、率A2 切割方向传播方向Y Z 旋转X 127.860 Y 吨。倒hGB/T 14843-93 续表的符号单位 S4 S6 fl/b 3/。TtlEo T3/eO e e C/m e e臼d d 10-C/N d d臼g g 10-2m2/C g g h, h 10N/C h h f3Il 10m/F 卢LjJI, 10m/F jJI, 下的声表面波性能指标可参考表A20表A2名称符号声表面波速度V. 声表面波机电藕合系数EZ 声表面波延迟时间温度系数T,t 声表面波速度温度系数T,V 声表面波速度V. 声表面波机电藕合系数K 声表面波延迟时间温度系数T,t 声表面波速度温度系数T,V 飞技术
10、指标9.90-12.10 10. 5012. 90 4347 27. 029. 5 84. 085. 0 2830 3.53.8 2.42.6 O. 140. 25 1. 301. 40 6. 507. 80 1.72.1 一O.08-0.13 O. 550. 66 8. 109. 90 2. 403. 00 O. 27-0. 63 2. 002. 50 8. 2010.10 5. 406. 60 O. 561. 04 5. 006. 00 1. 321. 38 3. 724. 04 2. 422. 68 3. 804. 30 单位技术指标m/, 3 470/3 510 % 4.14. 6 p
11、pm/C 9197 ppm/C -84-90 m/ 3 950/3 990 % 5. 46. 0 ppm/C 7378 ppm/C -57-61 5 .唱B1 原理GB/T 14843-93 附录B银酸锺单晶单畴化检测方法(补充件)多畴晶体通过单畴化处理变成单畴晶体，一端为正畴，另一端为负畴。利用正畴腐蚀速度慢而负畴腐蚀速度快的特性所显示出的畴结构图形不同来判断。B2 试剂B2.1 硝酸(HN03):65%68%， B2.2 氢氟酸(HF):40% , B2.3 腐蚀液:HNO，: HF=2 : 1(体积比)。B3 B 3. 1 内圆切割机;B3.2 金相显微镜;B 3. 3 水浴器;B3-
12、4 铅增祸;B3- 5 电炉1kW, B3- 6 耐酸塑料容器和塑料篮。B4 试样B4.1 在单畴化处理后的晶体头尾接触电极两端面各切1mm厚晶片弃去$B4.2 两端分别切取2.0mm厚(00.1)或00.4)晶片各一片;B4.3 用100得磨料粗磨后用280芥磨料细磨，直到在金相显微镜下观察为均匀毛玻璃状，无亮点和机械划痕为止。B5 检测步骤B5.1 腐蚀B5. 1. 1 水浴热腐蚀法试样放入塑料篮内，再将塑料篮置于盛腐蚀液的塑料容器中，至试样浸没，盖封。然后将塑料容器置于水浴器内，在电炉上加热，水沸后保持40rnin B5. 1. 2 培塌热腐蚀法将试祥放入铅均塌内，注入腐蚀液至试样浸没，
13、在电炉上加热，煮沸5mino B5.2 清洗用清水将吸附在试样上的腐蚀液充分洗净，并用擦镜纸擦干。B6 结果判断B6.1 水浴热腐蚀法试样在放大400倍的金相显微镜下观察，负畴面腐蚀图形如图B1或图B2所示者为合格6 明协叩4 年二百，一.一一、GB/T 14843-93 h 图B1(001)负畴面图B2(104)负畴面B6.2 瑞绢热腐蚀法试样在放大400倍的金相显微镜下观察，负畴面腐蚀图形如图B3或图B4所示者为合格。图B3(001)负畴面图B4(104)负畴面B6.3 水浴热腐蚀法和士甘揭热腐蚀法试祥在放大400倍的金相显微镜下观察，正畴面腐蚀图形如B5 所示者为合格。图B5正畴面7 -
14、一一字.一C_C_ / - _,_-r 8 GB/T 1484393 附加说明:本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由宁夏有色金属冶炼厂机械电子工业部第二十六所负责起草。本标准主要起草人刘恩福、申季学、陈淑芬、张静芳。 (京)新登字023号g-2叮FH阁。中华人民共和国国家标准锦E童铿单晶GB/T 14843 93 * 中国标准出版社出版北京复兴门外三里坷北街16号邮政编码，100045电话，8522112中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷新华书店北京发行所发行各地新华书店经售版权专有不得翻印晤开本880X12301/16 印张3/4字数15千字1995年5月第一版1995年5月第一次印刷印数1-1500奇*书号，155066. 1-11486 * 标目264一23h
