1、GB ICS 77.120.99 H 68 中华人民共和国国家标准GB/T 26312-2010 金发-+ Z忌，. Gold for evaporating 2011-11-01实施2011-01-14发布发布中华人民共和国国家质量监督检验检夜总局中国国家标准化管理委员会数码防伪GB/T 26312-2010 前言本标准由中国有色金属工业协会提出。本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。本标准起草单位:北京达博有色金属焊料有限责任公司、贺利氏招远贵金属材料有限公司、贺利氏招远(常熟)电子材料有限公司、北京有研亿金新材料股份有限公司。本标准主要起草人:杜连民、向翠华、禹
2、洁丽、房晋、周晓光、毛松林、王卫东、付建彬、闰琳。I 蒸发金1 范围本标准规定了蒸发金的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准主要适用于制造半导体器件用芯片时背金用蒸发金。2 规范性引用文件GB/T 26312-2010 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T 11066(所有部分)金化学分析方法GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法GB/T 25934(所有部分)高纯金化学分析方法3 要求3. 1 产品分类3. 1. 1 蒸发金产品
3、按化学成分分为Z-Au99.999和Z-Au99.99两种牌号。3. 1. 2 蒸发金产品主要以片状、柱状和线盘状为主，产品形状及供货状态应满足表1的要求。需方有其他要求时由供需双方协商解决。表1形状定义供货状态柱状直径为0.5mm-8 mm、长度为2mm-100 mm的线材片状长为5mm-20 mm、宽为5mm-20 mm、厚为0.5mm-3 mm的片材硬态线盘状直径为0.5mm-2 mm、重量在100g-500 g的线材盘成线盘状为主，线盘直径一般为100mm-300 mm 3.2 产品标记示例3.2. 1 柱状蒸发金标记Z-Au 99.999 , 口口mmi l 长度直径示例:直径为5m
4、m、长度为20mm、成分为99.999%的柱状蒸发金产品标记为;Z-Au99. 999，5X20 mm 1 GB/T 26312-2010 3.2.2 蒸发金片状产晶标记Z-Au 99.999，口口口mmL=厚宽长示例:长为10mm、宽为10mm、厚为2mm的片状蒸发金产品标记为:Z-Au99. 999 ,10X10X2 mm。3.2.3 蒸发金钱盘状产晶标记Z-Au 99.999 , 口mm，口U线盘| 二一每线睡量线材直径示例:线径为0.5mm、每盘200g重量的线盘状蒸发金产品标记为:Z-Au 99. 999，如5mm ,200 g/线盘。3.3 化学成分产品化学成分应符合表2的要求，其
5、中金质量分数为100%减去表中规定的杂质实测值的总和而得。需方对某种特定杂质元素含量有要求的.按供需双方协商进行。表2Au/% 杂质含量(质量分数)/%，不大于牌号不小于Ag Cu Fe Pb Bi Sb Si Mn Z-Au 99.99日99. 999 0.0005 0.000 1 0.000 2 0.000 1 O. 000 1 I o. 000 1 。.00020.0001 Z-Au 99.99 二三99.99 0.005 0.002 0.002 o. 001 。.002I 0.001 0.005 0.0003 Au/% 杂质含量质量分数)/%.不大子牌号不小于Pd Mg A Sn Cr
6、 Ni 总量Z-Au 99.999 二99.999O. 000 1 0.000 2 O. 000 1 0.000 1 0.000 1 I 0.000 1 0.01 Z-Au 99.99 二三99.990.005 0.003 0.003 。.001I O. 000 3 I O. 000 3 I 0.1 3.4 尺寸及允许偏差3.4. 1 产品形状如图1所示a片状产品尺寸及允许偏差应符合表3的要求;柱状产品的尺寸及允许偏差应符合表4和表5的要求;线盘状产品的长度偏差及线盘的直径不做要求，以需方要求的每盘重量范围为主协商解决。乓|。同4l_l u A 国斗a) 片状b) 柱状c) 线盘状图1蒸发金产
7、品图2 c GB/T 26312-2010 表3A B 士1士1表4直径允许偏差二注0.10士0.01二三1.00:1: 0.08 二三3.0士0.08二;:!5.0土0.09二三6.0土0.09二注7.0士0.1二，8.0土0.1表5长度允许偏差定尺长度允许偏差10 土1.010 土2.03.4.2 供诗双方可协商生产其他规格产品，需方如有其他要求在合同中注明。3.5 外观质量单位为毫米C 士0.2单位为毫米单位为毫米3.5. 1 蒸发金产品表面应清洁，不应有拉伸润滑痕迹、油污、黑斑、锈蚀、裂纹、分层、凸起、毛刺等缺陷。3.5.2 蒸发金产品表面应无颗粒附加物和其他沾污。3.5.3 蒸发金产
8、品表面允许有个别的、深度不超出直径允许偏差的凹坑和划痕等缺陷。3.5.4 蒸发金产品的端部允许有轻微的铸、冲、剪等痕迹。3.6 内部组织蒸发金的内部质量由供方的生产工艺保证，内部不应有疏松、夹杂、气孔等缺陷。4 试验方法4. 1 Z-Au 99.999蒸发金的化学成分仲裁分析方法按GB/T25934的规定进行。Z-Au99.99蒸发金的化学成分仲裁分析按GB/T11066的规定进行。4.2 产品尺寸测量按GB/T15077的规定进行。4.3 外观质量检验采用目视进行，必要时可采用放大镜或(lO25)倍双目显微镜检查。3 GB/T 26312-2010 5 栓验规则5. 1 检查与验收5. 1.
9、 1 蒸发金产品由供方质量技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定并填写质量证明书。5.1.2 需方可对收到的产品按本标准规定进行检验，如检验结果与本标准(或订货合同，或技术协议)规定不符合时，应在收到产品之日起1个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，可委托双方认可的单位进行复验，仲裁取样在需方由双方共同进行。5.2 组批蒸发金产品应成批提交验收，每批产品应为同一牌号、炉号、状态、规格的产品组成。5.3 检验项目每批蒸发金应进行化学成分、尺寸偏差、外观质量项目检验。5.4 取样规则及数量检验项目、取样位置及数量应符合表6的规定。表6检验项目取样规定要求的章条号检验的章条号化学
10、成分按批在每个铸链的任意部位或半成品时任取一个试样3.3 4.1 尺寸偏差片状或柱状产品按数量的1%进行取样，但不得少于3个;线盘状产品取10%进行抽检，每盘任意取3个部位进行尺寸测量3.4 4.2 外观质量抽取10%3. 5 4.3 内部组织3.6 5.5 检验结果的判定5.5.1 化学成分不合格时，则判该批产品为不合格。5.5.2 尺寸及其偏差不合格，取双倍样进行重复试验，若仍有不合格，则判该批产品不合格。但允许对余下的产品进行逐件检验，合格者重新组批交货。5.5.3 外观质量不合格，重新取双倍样进行检验;若仍有不合格，则判该批产品不合格。但允许对余下的产品进行逐件检验，合格者重新组批交货
11、。6 标志、包装、运输、贮存6. 1 标志、包装6. 1. 1 将检验的合格产品按要求分件包装。6.1.2 蒸发金产品内包装真空密封，内外包装间装防震动的填充物。6.1.3 每件包装产品塑料袋外应附有标签，其上注明:供方名称、产品名称及牌号、规格尺寸、批号、数GB/T 26312-2010 量(净重)、生产日期。6.2 运输、贮存6.2. 1 运输中应防止包装箱挤压变形、碰伤、雨淋、受潮及恶劣环境。6.2.2 产品应在清洁、干燥、无腐蚀性环境中贮存。6.3 质量证明书每批产品应附有质量证明书，注明下列内容za) 需方名称及合同号;b) 产品名称及产品牌号;c) 采购技术文件编号或本标准编号;d
12、) 批号、规格尺寸;e) 净重和件数;f) 各项分析检验结果及质量技术监督部门印记;g) 生产日期。7 订货单(或合同)内窑等hw小容要内血管风两供号括编包范应规同购合采或议单协货术订技的.，.，外料.，.，.，重号之材称号寸净编间准列名牌尺或准时标所品品格量标货他准产产规数本供其标本、讪、UDAU5 OFONlNFmNH阁。国和nu -i nu nL q4 1i 叫unhu ? T JJr 华国蒸臼人民共家标准发金由t* 中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:100045网址电话:6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销祷印张O.75 字数11千字2011年7月第一次印刷开本880X12301/16 2011年7月第一版* 书号:155066. 1-42836 16.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68533533定价GB/T 26312-2010 打印日期:2011年8月9日F002
