1、llDC 621. 38. 032. 1 : 620. 1 L 32 GB 中华人民共和国国家标准吸气剂性能测试方法Test method of getter properties 1988-06-251发布1988-12-01实施筐东标准.，发布050928071681 GB 9506. 1-88 GB 9506. 2-88 GB 9506. 3-88 GB 9506. 4-88 GB 9506.5一-88GB 9506. 6-88 GB 9506. 7-88 GB 9506.8一-88GB 9506. 9-88 GB 9506. 10一-88GB 9506.门-88目录吸气刑性能测试方法通
2、则. ( 1 ) 蒸散型顿吸气剂得顿量测试方法.(5) 蒸散型锁吸气剂载料和膜中顿量的测定.(10) 吸气剂放气量测试方法. .,. .,. (1 4) 掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法.(20) 掺氮吸气剂顿膜分布测试方法.，.(25) 蒸散型顿吸气剂吸气性能测试方法.，.(30) 非蒸散型顿吸气剂吸气性能测试方法.(37) 吸气剂装载量测试方法.(42) 吸气剂压制或烧结牢固度测试方法. . . . . . . . . . . . . . . (44) 吸气剂支架焊接强度测试方法.，.(47) 中华人民共和国国家标准蒸散型银吸气剂得银量测试方法Test method for barium
3、 yield of barium f1ash getter 本标准规定了蒸散型顿吸气剂得顿量的测试方法，适用于蒸散型顿吸气剂的得顿量、得韧、量一致性和1蒸散曲线的测试。测试条件应符合GB9606. 1 (吸气剂性能测试方法通则中的有关规定。1 目的选择最佳的蒸散工艺;预估囚蒸散条件变更引起的得顿量变化。2 原理本方法采用差重法。即利用试样在蒸散前后所出现的重量差额求出得顿量。3 设备a. 测试台真空系统的极限压力必须低于1X IO-2Pa; b. 高频感应加热器Fc. 秒表zd. 分析天平se. 真空计量程必须覆盖JX 1O-210Pa; f. 试样室和高频感应线圈本标准推荐的试样室和高频感应
4、线圆尺寸见附录A.试样应处于圆筒形试样室和高频感应线固的中央。通常，将试样放置在能够直接朝向试样室顶部蒸散的水平位置上，采用同轴蒸散。对于天线式装架的影色显象管用吸气剂，为使蒸散方向朝对面的玻壁，试样支撑架至少要与试样室轴线成300角s为防止试样在蒸散期间发生位移，应采用切向蒸散.4 测试步骤4. , 得顿量测试4. ,. , 将在分析天平上称重后的试样，按照下图装在试样室内的支撑架上，接通真空系统抽气。中华人民共和国电子工业部1988-04-04批准1988-12-01实施5 GB 5C6. 2-88 11 8 7 / 测试系统示意图l一试样;2一高频感应线圈，3一试样室，4一可饰密封，5一
5、放气阀;6一三通真空阀7一机械泵，8一泊扩散泵，9一挡板或冷阱;10一高真空阀，11一真空规4.1.2 当系统内压力低于5X0-2Pa时，开启事先已调节好输出功率的高频感应加热器电摞，按预定的蒸散工艺蒸散试样。4. 1. 3 隔断真空系统，对试样室放大气，取出试样，在检查试样载体确无熔蚀现象后，5min内完成称重。4.2 蒸散曲线绘制4.2.1 在测试台上，以恒定的总蒸时间和不同的起蒸时间蒸散丸组试样。每组试样数可以是I只或l只以上。起蒸时间应控制在自吸气刑载体出现最轻微的熔蚀现象的起蒸时间值开始，均匀地变化到得锁量为制造厂所推荐数值的30%时的起蒸时间值为止。4.2.2 分别采用其它两个总蒸
6、时间值，重复4.2.1条。4.2.3 绘制蒸散曲线，即起蒸时间-得顿量曲线。4.3 得顿量一致性测试4.3.1 由蒸散曲线中选择出最佳的起蒸时间和总蒸时间。4.3.2 以重量接近于吸气剂平均重量的试样，确定最佳起蒸时间相对应的高频加热功率。4.3.3 用此高频加热功率，并按选定的总蒸时间先后蒸散n(n9)只试样。4.3.4 计算出平均得顿量、平均起蒸时间以及两者的标准偏差。5 数据处理6 GB 9506. 2-88 5.1 得顿量按下式计算zMy = Wi - W, . . .(1) 式中:M，-得顿量.mg，W，-试样的原始重量，mg，W，一一试样蒸散后的重量，mg.5.2 得顿量一致性用平
7、均得顿量、平均起蒸时间和它们的标准偏差表示.5.2.1 平均得顿量按下式计算z M yI 鼠=LZJ一一) n 式中:My-一平均得顿量，mg，My，.-各试样的得顿量，mg，蝇一一试样个数.5.2.2 平均起蒸时间按下式计算s t 1.=巳.!._.(3) n 式中:1.-平均起蒸时间，S，弘一一各试样蒸散时的实际起蒸时间，S，n一一试样个数。5.2.3 得银量标准偏差按下式计算z工(Myi- My)2 再一i(4) 一MY 式中zM，一一得韧、量标准偏差，mg，MYI各试样的得顿量，mg，My-平均得顿量，mg，n一一试样个数.5.2.4 起蒸时间标准偏差按下式计算z(t-1.)2 , (
8、5) 飞飞In一1式中ze一一起燕时间标准偏差，S;弘一一各试样蒸散时的实际起蒸时间，S，L一一平均起蒸时间，S，四一一试样个数.7 GB 9506. 2-88 5.3 得顿率按下式计算:Ba% =荤X1附.(6) 式中:Ba%一一得顿率FMy-得锁量，mg，M，一一平均含顿量，mg，其值为9只以上试样的含顿量的平均值。6 测试报告6. 1 蒸散曲线族应提供具有不同总蒸时间参量的三根曲线，并标出制造厂推荐的实用区间。曲线上还应标明下列各项内容:最佳起蒸时间和总蒸时间d式样的平均重量及其标准偏差F载料是吸热型还是放热型s掺气种类z试样室及高频感应线圈的类型和所用蒸散频率。6.2 得顿量一致性测试
9、结果表格形式如下.试样数平均得锁量平均得领率平均起蒸时间(只)(mg) (%) (s) 7 主要误差来源a. 分析天平的零点漂移和精度;b. 试样蒸散时，试样室内局部压力过高，高可能影响顿的蒸散zC. 计时误差zd. 载休的蒸发;e. 操作者技术水平的差异。8 注意事项总蒸时间得领量标准偏差(s) (mg) 8. 1 测试台中真空系统的极限压力应低于1X 10-2阳，且具有相当快的抽速，以使试样蒸散期间系统内的最高压力低于10Pa o 8.2 试样应放置在特制的热导率较小的支撑架上进行蒸散。支撑架可以用陶岳、玻璃等材料制成;亦可以用鸽、铝等难熔金属丝制成。试样离较大的金属零件应有适当的距离，以
10、防止高频损失。8. 3 本标准对得顿量大于10mg的试样的测试精度约为士5%，得顿量较小的试样的测试精度稍盏，应按GB9506.3 (蒸散型锁吸气剂载料和膜中顿量的测定主i法中3.1条测试。8 GB 9506. 2-88 附录A试样室和高频感应线圈尺寸参考件吸气剂类型收讯管等用吸气剂同轴蒸散黑白显象管用吸气剂彩笆显象管用吸气剂切向蒸散彩色显象管用吸气剂注，1)从吸气剂底部到试样室顶部的尺寸。2)试样室轴与铅垂线倾斜30. 3)从吸气剂中心到试样室顶部的尺寸.4)线圈出3rnrn的铜管制成.5)每层为3-5圆的双层线圈.附加说明z本标准由上海电子管二厂负责起草。本标准主要起草人z钱永生。外径(m
11、m) 20 35 60 80 试样室t支度高度。(mm) (rnrn) 100 35 250 150 320 140 3202) 90) 高频感应线圈内径。离度(mm) (mm) 圈数23 16 3.5 51 22 5.5 70 22 5.5 51 15 6-10的9 T由r-0的白.-cmmmu 中华人民共和国国家标准吸气剂性能;IJ试方法G臼506.1-9506.门-88 电子工业出版社出版(北京万寿路27号)河北省清河县印刷厂印刷中国电子技术标准比研究所发行版权专用不得翻印 开本:88川2301/16印张3字数:97千字1990年7月第一版1990年7月第一次印刷印数:1一1000册定价:4.70元 ISBN 7-5053-1185-9/TB 237
