1、llDC 621. 38. 032. 1 : 620. 1 L 32 GB 中华人民共和国国家标准吸气剂性能测试方法Test method of getter properties 1988-06-251发布1988-12-01实施筐东标准.，发布050928071681 GB 9506. 1-88 GB 9506. 2-88 GB 9506. 3-88 GB 9506. 4-88 GB 9506.5一-88GB 9506. 6-88 GB 9506. 7-88 GB 9506.8一-88GB 9506. 9-88 GB 9506. 10一-88GB 9506.门-88目录吸气刑性能测试方法通
2、则. ( 1 ) 蒸散型顿吸气剂得顿量测试方法.(5) 蒸散型锁吸气剂载料和膜中顿量的测定.(10) 吸气剂放气量测试方法. .,. .,. (1 4) 掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法.(20) 掺氮吸气剂顿膜分布测试方法.，.(25) 蒸散型顿吸气剂吸气性能测试方法.，.(30) 非蒸散型顿吸气剂吸气性能测试方法.(37) 吸气剂装载量测试方法.(42) 吸气剂压制或烧结牢固度测试方法. . . . . . . . . . . . . . . (44) 吸气剂支架焊接强度测试方法.，.(47) 中华人民共和国国家标准非蒸散型吸气剂吸气性能测试方法Test method for gette
3、rlng properties of non-evaporable getter 本标准规定了非蒸散型吸气剂吸气性能的测试方法，适用于非蒸散型吸气剂产品性能的测试。测试条件应符合GB9506.1 吸气剂性能测试方法通则中有关规定。1 目的比较和检验各种非燕散型吸气剂的吸气性能。2 原理采用定压法。利用测试气体流过巳知流导的真空元件进入试样室时，在其两端出现压差的现象，通过恒定一端压力，测量另一端随时间变化的压力值，据此计算出不同时间的吸气速率和吸气量。3 设备a. 高频感应加热器，b. 秒表zc. 分析天平sd. 超高真空计量程必须覆盖10.-.1O-7Pa.发射电流为10.-.1 00A，
4、e. 温度控制器0.-.1100.C , f. 点焊机sg. 试验气体纯度不低于99.8%，h. 磁铁z. 高频感应线圈。非蒸散型吸气剂吸气性能测试台示意图见图1。中华人民共和国电子工业部1988-04-04批准1988-12-01实施37 / 3 2 GB 9506. 8-88 5 6 7 11 10 图I非蒸散型吸气剂吸气性能测试系统示意图1一机械泵，2一真空规，3一试样室，4一镰锵，镶硅丝，5-B-A规，6一无脂球阀z7一有巳知流导的无脂球阔，8-B-A规，9一徽调阀dO一扩散泵dl一低真空阀4 测试步骤4. , 试件制备4. ,. , 试样制备a._带状试样9 从带料上剪下50.0土0
5、.5mm t史的试样，卷成直径为15mm的困环，并使试样的无粉面向内，搭接处用点焊固定，焊点应在无粉处。b. 单个成品试样直接使用。4. .2 焊热偶丝a. 带状试样应在远离原有焊点，且没有覆盖粉的同一侧边缘对径处分别点焊上丝径为0.3mm，长度为30-40 mm的镰恪丝和镰硅丝，做成试件.4.2 测试准备4.2. , 将准备好的试件按图i接入测试系统。4.2.2 开启真空系统，加热烘烤测试系统，并对规管除气，直到系统压力低于1X 10Pa后，关闭无脂球阀，溃出6005内测拭系统的漏放卒，当其值低于1X lO-7Pa L/s时，方可进行下列步骤。4.2.3 开启元脂球阐.重新将测试系捕抽到压力
6、低于1X 10-6Pa. 4.2.4 通入试验气体，利用巳校过的几规对Prn规进行校准。4. 3 激活38 GB 9506. 8-88 用高频感应加热器对试件按推荐的激活规范进行升温激活。4.4 放下无脂球阀7，启用已知流导.4.5 通入试验气体当试件冷却到测试温度时，用微调间控制进入测试室的试验气体量，在尽可能短的时间内，使试样室的压力凡值达到恒定值，记录不同时刻P.值。4.6 关闭抽气系统，打开无脂球阀7.5 数据处理5.1 已知疏导值按下式计算zF=3阳山. 式中:F一一已知流导值，ml/s，a 一一毛细营或漏孔的半径，cm，K一克劳辛修正系数是的函数，见附录A)，T一一热力学温度，K，
7、M一一试验气体的分子量st一一毛细管的长度或漏孔的厚度，cm.在分子流状态时，不同气体之间流导值关系z几=屁FI式中:F2一一毛细管或漏孔对第二种气体的流导值，ml/s，F1-毛细管或漏孔对第一种气体的流导值，ml/s，M1一一第一种气体的分子量sMz-一第二种气体的分子量.5.2 吸气速率吸气速率按下式计算:F(P.一凡s= . . .(3) P. 式中:s一一吸气速率，ml/s，F-一已知流导值，ml/s，由(1)式求得，p圄一一供气端压力，Pa，凡一一试样室压力，Pa。5.3 吸气量吸气量按下式计算zO=F J: 凡-凡阳)dt.川. . .川.川. .川. . . . . .川. .
8、.川.川.川.叫.式中:0一一在t时间内的吸气量，Pa ml , t一一吸气时间，s。39 GB 9506. 8-88 在实际应用中可近似地按下式计算sC = f:.C; . (日.C; = F(Pti - Pr.J )t; . . .(6) 式中:.C;一一某一时间间隔内的吸气量，Pa.ml或Pa ml/cm2, t;-一时间间隔值，S，瓦:瓦)一一在时间间隔t;内的平均压差.Pa。在总吸气时间t内的吸气量即为吸着容量。8 测试报告6.1 测试报告应提供试验气体的吸气性能曲线.吸气性能曲线用双对数表示，以吸气速率为纵坐标，单位为ml/s，以吸气量为横坐标，单位为Pa.ml. 6.2 在吸气性
9、能曲线上应标明下列内容:8. 吸气剂型号，b. 试验气体种类zc. 环境温度zd. 恒定凡值ze. 已知流导值zf. 表面积或装载量pg. 激活条件zh. 测试单位、人员和日期。7 主要误差来源8. 操作者的熟练程度;b. 真空仪表准确程度及真空规校准的精度sc. 漏放率测定的准确程度;d. 测谊系统误差。可能由热电偶焊接位置、冷端沮度、记录仪灵敏度等因素引起。8 注意事项8. 1 因测试结果受到P.，规管相对于真空流导元件的位置和几规管相对于吸气剂的位置的影响，故必须严格按照尺寸控制它们的安装位置。8.2 P，规管不应直对进气口，其连接管道必须有足够大的流导，使规管抽气作用所造成的压降可忽略
10、不计。8.3 本测试方法常用氧气和一氧化碳为试验气体。8.4 为避免抽气选择性和可逆性，应选用油扩散;为减少油污染，应配用挡油装置。8.5 已知流导值随试验气体和吸气剂种类而异。因此，必须选用合适的流导。8.6 吸气性能测试到吸气剂终端吸气速率为止。一般终端吸气速率为10ml/s. 40 II 。0.1 0.2 0.3 0.4 O. 5 0.6 0.7 0.8 0.9 1. 0 1. 1 1. 2 1. 3 1. 4 1. 5 1. 6 1. 7 1. 8 1. 9 2.0 2. 2 2. 4 2. 6 2.8 忌。附加说明:本标准由七四一厂负责起草。本标准主要起草人z丁朝龙。GB 9506.
11、 8-88 附录AK值与l/a值对照表补充件)K 1. 0.9524 0.9092 0.8699 0.8341 0.8013 0.7711 0.7434 0.7177 0.6940 O. 6720 0.6514 0.6320 0.6139 0.5970 0.5810 0.5659 0.5518 0.5384 0.52S6 0.5136 。.49140.4711 0.4527 O. 4359 0.4205 l/a K 3.2 0.4032 3. 4 0.3931 3.6 0.3800 3.8 O. 3695 4.0 0.3589 5 O. 3146 6 0.2807 7 0.2537 8 0.2
12、316 9 0.2131 10 0.1973 12 O. 1719 14 0.1523 16 0.1367 18 O. 1240 20 O. 1135 30 0.0797 40 O. 0613 50 O. 0499 60 0.0420 70 0.0363 80 0.0319 90 0.0285 100 O. 0258 1000 0.002658 8131 41 T由r-0的白.-cmmmu 中华人民共和国国家标准吸气剂性能;IJ试方法G臼506.1-9506.门-88 电子工业出版社出版(北京万寿路27号)河北省清河县印刷厂印刷中国电子技术标准比研究所发行版权专用不得翻印 开本:88川2301/16印张3字数:97千字1990年7月第一版1990年7月第一次印刷印数:1一1000册定价:4.70元 ISBN 7-5053-1185-9/TB 237
