1、GB 中华人民共和国国家标准UDC GB 50073 - 2013 P 洁净厂房设计规范洁净厂房设计规范Code for design of clean room 实施中圃计划生版桂2013 - 09 - 01 发布2013 - 01- 28 y hzd章词时布必. q，. 唁电If;, ;1飞|协申回!tl划生版社E电话400-670-9365/网站四65，09盲棋辙商制飞画再i二P主运豆在与三且是，统一书号:1580242 059 S/N: 1580242.059 联合发布中华人民共和国住房和城乡建设部中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 价:23.00元定911158024112059
2、0911 中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范Code for design of clean room GB 50073 - 2013 主编部门:中华人民共和国工业和信息化部，批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期:2 0 1 3 年9 月1 日中国计划出版社2013年北、京中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范GB 50073-2013 女中国计划出版社出版网址: 地址:北京市西城区木樨地北里甲11号国宏大厦C座3层邮政编码:100038 电话:(010) 63906433 (发行部)新华书店北京发行所发行北京世知印务有限公司印刷850mmX 1168mm 1/32 3.75印
3、张94千字2013年8月第1版2013年8月第1次印刷女统一书号:1580242. 059 定价:23.00元版权所有侵权必究侵权举报电话:(010) 63906404 如有印装质量问题，请寄本社出版部调换中华人民共和国住房和城乡建设部公告第1627号住房城乡建设部关于发布国家标准洁净厂房设计规范的公告现批准洁净厂房设计规范为国家标准，编号为GB50073-2013，自2013年9月1日起实施。其中，第3.O. 1 (1、2、3)、4.2. 3 (1)、4.4. 1、5.2.1、5.2.4、5.2. 5、5.2.6、5.2.7、5.2. 8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.5、
4、5.3.10、6. 1. 5、6.2.1、6.3.2、6.5.1、6.5.3、6.5.4、6.5.6、6.5.7(1)、6.6.2、6.6.6、7.3.2、7.3.3(1、4)、7.4.1、7.4.3、7.4.4、7.4.5(2)、8.1. 1 (4)、8.1.5、8.1.8、8.4.1、8.4. 2 (2、3)、8.4.3、9.2. 2、9.2. 5 (1)、9.2.6、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.3、9.5.2、9.5.4、9.5.7条(款)为强制性条文，必须严格执行。原国家标准洁净厂房设计规范)GB 50073二2001同时废止。本规范由我部标准定额研究所组织
5、中国计划出版社出版发行。中华人民共和国住房和城乡建设部2013年1月28日前言本规范是根据原建设部关于印发5 表A.2. 2-1 空气洁净度测试最长时间间隔(月12 测试方法见本规范第A.3. 5条2 静压差、风速或风量测试应符合表A.2. 2-2的规定。测试项目风速或风量静压差 36 表A.2. 2-2 静压差、凤速或凤量测试最长时间间隔(月)12 测试方法见本规范第A.3.1条见本规范第A.3. 2条A.2.3 当洁净室或洁净区已对粒子浓度、风速或风量、静压差执行连续监测，并且其测试值均符合本规范要求，则认证的测试时间间隔可延长。具体间隔时间可与认证单位浩商，并应符合下列规定1空气洁净度等
6、级认证可进行静态或动态检测，应洽商确定。2 风量测定采用风速计在风口或风管测定。A.2.4 洁净室或洁净区洽商选择的测试要求应符合表A.2. 4的规定。表A.2.4洁净室或洁净区洽商选择的测试测试项目空气洁净度等级建议最长的时间间隔月)测试方法已安装过滤器泄漏见本规范第A.3. 3条气流流型目测24 白净时间密闭性见本规范第A.3.4条所有洁净度等级温度12 相对湿度照度24 噪声12 A.3 洁净室主要测试方法A.3.1 风量或风速测试应符合下列规定:1 对于单向流洁净室，采用室截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量，测点位于高效过滤器出风面约150mm300mm，垂直气流处的截面作为采样截
7、面，截面上测点间距不宜大于0.6m，测点数不应少于4点，所有读数的算术平均值作为平均风速。2 对于非单向流洁净室，采用风口或风管法确定送风量，可按现行国家标准通风与空调工程施工质量验收规范)GB50243 规定的方法执行。A.3.2 静压差测试应符合下列规定:1 静压差的测定应在洁净室(区)的风速、风量和送风均匀性检测合格后进行，并应在所有的门关闭时检涮。2 仪器宜采用各种微差压力计，仪表灵敏度应小于1.OPao A.3.3 己安装过滤器检漏测试应符合下列规定:1 检漏方法有光度计法和粒子计数器法。2 在过滤器上风侧应引人测试用气溶胶，在过滤器下风侧用光度计或粒子计数器的等动力采样头放在距离被
8、检过滤器表面2cm3cm处，以5mm/S 15mm/ s的扫描速度移动，并应注意安装交接处的扫描。A.3.4 密闭性测试应用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室(区)或非洁净室(区)通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室(区)。一般适用于1级至5级的洁净室(区)进行测试。采用光度计法和粒子计数器法进行测试。A.3.5 洁净度的检测应符合下列规定:1 使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器，在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率。仪器应有有效的标定合格证书。2 最少采样点数应按下式计算:N L = N.5 (A. 3. 5-1) 式中:Vs每个采样点的每次采样量，以L表示
9、;当Vs很大时，可使用顺序采样法;Cnm一一被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(pc/m3) ; 20一一在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时，可测到的粒子颗数(pc)。5 当洁净室或洁净区仅有一个采样点时，则在该点应至少采样3次。A.3.6 对超出等级范围粒子的检测应符合下列规定:1 在产品生产工艺有要求时，可按等级粒径范围之外的粒子被度规定空气洁净度的水平。此类粒子的最大允许放度和检测方法应由客户与建造商协商确定。2 当需评价小于O.1m的粒子造成的污染危险时，应采用符合这类粒子具体特性的采样方法和装置;可独立应用U描述符说明超微粒子浓度，也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补充
10、说明。U描述符用U(工，y)表示，其中z为超微粒子的最大允许放度(pc/旷)，y为以微米计的粒径。例如:粒径范围等于或大于O.0旧1m的最大允许超微粒子的浓度为140OOO个/m旷3，应表示为3 当需评价大于5句m的粒子造成的污染危险时，应采用符合这类粒子具体特性的采样装置和方法。可独立应用M描述符说明大于5m的粒子浓度，也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补充说明。M描述符用M(a，的;c表示，其中为大粒子的最大允许浓度(pc/m3)，b为与规定的大粒子测量方法相应的当量直径(m)，c为规定的测量方法。例如:采用显微镜对多级撞击采样器采集的粒子进行检测，测量得到10m20m粒径范围的悬浮粒子
11、浓度为1000个/m3，则式中:NL-一一最少采样点;A一-洁净室或被控洁净区的面积(m勺。3 采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位于工作活动的高度，活动高度宜距地面0.8m;每个采样点的最小采样时间为1min。4 每一采样点的每次采样量应至少为2L，采样量应按下式计算:TT 20 Vs =百三X1000 (A. 3. 5-2) 38 y 奋、pujlIll-J用M描述符表示为MC1000;10m20m);多级撞击采样器以显微镜测定粒径并计数。A.4监测A.4.1 按照双方协议书的规定进行空气中悬浮粒子浓度和其他参数的监视1。A.4.2 双方协议书中应明确测量空气悬浮粒子被度最少
12、采样点、每次最少的空气采样量、采样时间、每个采样点的测量次数、测量时间间隔、被计数粒子的粒径，以及粒子数的限值。A.4.3 当监测结果超过规定的限值时，则应认定设施不符合要求，应进行修正;修正后应再进行认证检测。当监测结果在规定限值内，可继续监测。A.S认证A.S.1 按双方协议书的规定及第A.2节的要求，按第A.3节的方法进行测试，当测试结果在规定的限值之内时，可认定该洁净室符合规定要求。当测试结果超过规定的限值，可认定该洁净室不符合要求，应进行改进，在完成改进工作之后，应进行再认证。A.S.2 记录数据评价应符合下列规定:1 在空气洁净度测试中，当测点在1点10点时，应计算平均中值、标准偏
13、差、标准误差和由全部采样点的平均粒子浓度导出95%置信上限值。2 当采样点超过10点时，应计算算术平均值，并按算术平均值进行空气洁净度等级的评价。A.S.3 每次性能测试或再认证测试应做记录，并应提交性能合格或不合格的综合报告。测试报告应包括下列内容:1 测试机构的名称、地址。2 测试日期和测试者签名。3 执行标准的编号及标准出版日期。 40 4 被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图。5 被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压差。6 测量用的仪器编号和标定证书，测试方法细则及测试中的特殊情况。7 测试结果包括在全部采样点坐标图上注明
14、所测的粒子浓度或沉降菌、浮游菌的菌落数。8 对异常测试值进行说明及数据处理。9 注明上次的测试日期。10 设施的测试文件可作为下次监测计划的依据。A.S.4 测试机构应提交洁净室检验证书、再检验证书。 41 生产类别甲乙丙丁戊 42 附录B洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例表B洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例举例微型轴承装配的精研间、装配前的检查间精密陀螺仪装配的清洗间磁带涂布烘干工段化工厂的丁丽、丙陶、环乙酬等易燃溶剂的物理提纯工作间、光致抗蚀剂的配制工作问集成电路工厂使用闪点小于280C的易燃液体的化学清洗间、外延间常压化学气相沉积间和化学试剂贮存问胶片厂的洗印车间计算机房记录数
15、据的磁盘贮存问显像管厂装配工段烧枪间磁带装配工段集成电路工厂的氧化、扩散间、光刻间液晶显示器件工厂的溅射间、彩膜检验间光纤预制棒的MCVD、OVD沉淀间，火抛光、芯棒烧缩及拉伸间、拉纤问彩色荧光粉厂的蓝粉、绿粉、红粉制造间半导体器件、集成电路工厂的切片间、磨片间、抛光间光纤、光缆工厂的光纤筛选、检验区附录C净化空调系统设计对维护管理的要求C.O.l 洁净室的净化空气监测频数宜按表c.o. 1的规定进行监测。表C.O.l洁净室的净化空气监测频数1:监测项空目气洁净度等级13 4、56 7 8、9温度一每班2次湿度循环监视l压差值每月1次每周1次每3个月1世6个月1次洁净度C.O.2 当出现下列任
16、何一种情况时，应更换高效空气过滤器:1 气流速度降到最低限度。即使更换初效、中效空气过滤器后，气流速度仍不能增大。2 高效空气过滤器的阻力达到初阻力的1.5倍2.0倍。3 高效空气过滤器出现无法修补的渗漏。C.O.3 当洁净厂房内采用高效真空吸尘器进行清扫时，应定期检查吸尘器排气口的含尘浓度。 43 本规范用词说明1 为便于在执行本规范条文时区别对待，对要求严格程度不同的用词说明如下:1)表示很严格，非这样做不可的:正面词采用必须，反面词采用严禁;2)表示严格，在正常情况下均应这样做的;正面词采用应，反面词采用不应或不得;3)表示允许稍有选择，在条件许可时首先应这样做的:正面词采用宜，反面词采
17、用不宜气4)表示有选择，在一定条件下可以这样做的，采用可。2 条文中指明应按其他有关标准执行的写法为应符合的规定或应按执行。 44 引用标准名录建筑设计防火规范)GB50016 供配电系统设计规范)GB50052 建筑物防雷设计规范)GB50057 爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范)GB50058 火灾自动报警系统设计规范)GB50116 建筑灭火器配置设计规范)GB50140 建筑装饰装修工程质量验收规范)GB50210 建筑内部装修设计防火规范)GB50222 工业金属管道设计规范)GB50316 通风与空调工程施工质量验收规范)GB50243 隔振设计规范)GB50463 建筑材料燃烧
18、或分解的烟密度试验方法)GB/T8627 45 中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范GB 50073 - 2013 条文说1明修订说明洁净厂房设计规范)GB50073-2013，经住房和城乡建设部2013年1月28日以第1627号公告批准发布。本规范是在洁净厂房设计规范)GB50073-2001的基础上修订而成，上一版的主编单位是中国电子工程设计院，参编单位是信息产业部第十一设计研究院、中国石油化工集团上海医药工业设计院、中国建筑科学研究院，主要起草人员是刘存宏、陈霖新、张利群、王唯国、缪德斡、郝锡泽、匾置、俞渭雄、周春海、晃阳、贺继行、陆原、肖红梅、樊勘昌、谭易和、黄德明、郭兴周、冷捷敏、
19、冯佩明。本次修订的主要内容为:修改了第2章术语;对第3章空气洁净度等级的相关内容作了修改和补充;修改了第8章，更名为工业管道;修改了部分强制性条文为推荐性条文。为便于广大设计、施工、科研、学校等单位有关人员在使用本规范时能正确理解和执行条文规定，(洁净厂房设计规范编制组按章、节、条顺序编制了本规范的条文说明，对条文规定的目的、依据以及执行中需注意的有关事项进行了说明。但是，本条文说明不具备与规范正文同等的法律效力，仅供使用者作为理解和把握规范规定的参考。 49 目次1总则(53)3 空气洁净度等级4) 4 总体设计 (55) 4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置(55)4. 2 工艺平面布置和
20、设计综合协调(58)4. 3 人员净化和物料净化1.(5 9 ) 4. 4 噪声控制 4. 5 微振控制刊门5建筑刊们5. 1 一般规定川5.2 防火和疏散( 6 9 ) 5.3 室内装修 (73) 6 空气净化( 7日6.1 一般规定(7日6.2 洁净室压差控制( 7 6 ) 6. 3 气流流型和送风量(79)6.4 空气净化处理6.5 采暖通风、防排烟 6. 6 风管和附件 7 给水排水.的7.1 一般规定忧的7.2 给水(87)7. 3 排水(88)7.4 消防给水和灭火设备(89)51 8 工业管道(92) 8. 1 一般规定 8. 2 管道材料和阀门(95) 8.3 管道连接们8.4
21、 安全技术 (98) 9电气(100)9.1 配电(100)队2照明(102)队3通信(10日9. 4 自动控制(凹的9. 5 静电防护及接地(107)附录A洁净室或洁净区性能测试和认证(刊的 52 1 凸d巳品、贝。本规范是全国通用的洁净厂房设计的国家标准，适用于各种类型工业企业新建、扩建和改建洁净厂房的设计。由于各类工业企业的洁净厂房内生产的产品及其生产工艺各不相同，它们对生产环境控制会有一些特殊要求，本规范不可能将这些要求逐一地进行规定，因此各行业可依据本规范按各自的特点制订必要的本行业的标准、规定，以利于准确、完整地执行洁净厂房设计规范的各项规定。目前已有现行国家标准医药工业洁净厂房设
22、计规范GB 50457、电子工业洁净厂房设计规范)GB50472相继发布实施。 53 3 空气洁净度等级3.0.1 本规范修订过程中，涉及洁净技术的各有关单位、科技人员和专家们都强烈希望规范应与国际接轨，为此，本规范修订中将空气洁净度等级等效采用国际标准洁净室及相关被控环境-一第一部分，空气洁净度的分级)ISO14644-1，在该标准中列出的空气洁净度整数等级(表3.O. 1)及其关注的大于或等于要求粒径的允许浓度有争议时，可将式(3.O. 1)得出的浓度Cn作为标准限值。由于空气洁净度等级的分级规定是洁净厂房设计建造必须遵循的规定，所以本条的第1款第3款为强制性条文。3. O. 4 随着科学
23、技术的发展，目前在一些高科技产品用洁净厂房中，不仅要求控制洁净室(区)内的微粒，还要求控制各类微生物、化学污染物，为此增加了本条规定。 54 一一二4总体设计4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置4. 1. 1 洁净厂房与其他工业厂房的区别在于洁净厂房内的生产工艺有空气洁净度要求。因此，设有洁净厂房的工厂厂址宜选在大气含尘浓度较低的地区，如农村、城市远郊、水域之滨等，不宜选择在气候干旱、多风沙地区或有严重空气污染的城市工业区。根据国内外测试资料，农村空气污染程度较低，其含尘浓度一般只相当于城市含尘浓度的几分之一，甚至低一个数量级。而城市工业区的含尘浓度又远高于城市市区及市郊。不同地区含尘浓度也不
24、同，如表1表3所示。不同季节的含尘浓度也不相同，表4所列是天津市某地段不同季节室外含尘浓度的实测值。表1大气中含尘浓度场所计重浓度(mg/m3)二，0.5m计数浓度(pc/m3)市中心O. 100. 35 5. 3X 107 2. 5 X 108 市郊O. 050. 30 3. 5X1071.1X108 田野O. 010. 10 1.1X1073. 5X107 大洋1.1X1052. 5X106 表2天津地区的大气含尘计重浓度大气计重浓度(mg/m3)场所测值范围平均值校园、住宅区O. 180. 32 0.206 商业街区O. 230. 41 0.291 工业区O. 270. 59 0.437
25、 从表1、表2中可以看出，各地区、场所大气环境质量差别较大，若在环境质量较差的地区建厂，设计中应采取有效的技术措施以确保洁净厂房的技术要求。表3大气含尘浓度平均值大子或等于O.5f.tm) (pc/L) 地区年平均月平均最大值月平均最小值北京(市区)190956 293481 9274 北京(昌平农村)35643 156620 4591 上海市区)128052 365103 34327 西安(市区)131644 317561 29738 L一一表4不同季节室外大气含尘浓度的实测值环境温湿度含尘浓度Cpc/m3) 季节时间温度(C)湿度C%)二主0.5m二5.0m9: 00 26. 1 89 8
26、.20X10 3.23 X 105 10: 00 27.0 86 8. 35X 10 3.58X105 11 : 00 27.4 82 8.35 X 10 4.20X105 夏12: 00 28.8 79 7.25X10 2. 95X105 阴、雨13: 00 29.8 73 7. 21X 10 2.81X105 后V 14: 00 29.6 73 7.42X10 3.36X105 15: 00 30.6 70 7.60 X 10 4. 82X105 16 : 00 30.2 70 6.81 X 10 4.81X105 17: 00 30.2 76 8.30X10 5.50 X 105 8:
27、00 14.0 64 1. 21X108 2.21X10 9: 00 16.2 54 1. 32X 108 2.03X10 秋10: 00 19.0 42 1. 31X108 1. 80 X 10 ( 睛11 : 00 21. 1 39 1. 23X108 2.01X10 无风12 : 00 22.4 34 1. 43X108 1. 83 X 10 ) 13 : 00 23.0 29 7.94X10 8.70X105 14 : 00 24.2 37 1. 03X108 1. 04X 105 15 : 00 23.5 39 1. 12X108 2.01X105 56 续表4环境温湿度含尘浓度Cp
28、c/m3)季节时间温度(C)湿度C%)二，0.5m二三5.0m8 : 00 -6.1 51 5. 4X 10 3.9X105 9 : 00 4.5 44 6.6X10 4.0 X 105 10: 00 2. 8 40 7.5X10 7.7X105 11 : 00 0.8 28 5.9X10 4.1X105 冬12: 00 1. 2 24 3.7X10 4.1 X 105 ( 睛13: 00 2.3 16 2.4X10 4.3X105 14: 00 3.6 14 2.9X10 4.6X105 15 : 00 3.6 14 2.7X10 5.1 X 105 16: 00 3.5 22 3. 2X
29、10 9.3X105 17: 00 3.0 25 5.3X10 12. 4X 105 4. 1. 2 洁净厂房内当布置有精密设备和精密仪器仪表，若它们有防微振要求时，为解决防微振问题，在厂址选择或已建工厂内的洁净厂房场地选择过程中，需要对周围振源的振动影响作出评价，以确定该厂址或场地是否适宜建设。周围振源对精密设备、精密仪器仪表的振动影响，是若干单个振源振动的叠加结果。这种叠加，目前还没有系统的参考数据及实用的计算方法。因此，应立足于实测。过去有的工厂，由于建厂前没有对周围各类振源的振动影响进行实测，建成后发现对精密设备、精密仪器仪表影响很大，有的甚至难以工作，给生产、试验带来很大困难，这说明
30、实测振源振动影响是非常必要的。4. 1. 3 本条规定仍以规范编制组的科研成果报告环境尘源影响范围研究为依据。根据上述报告，道路灰尘严重污染区位于道路下风侧50m范围之内，100m以外为轻污染区。洁净厂房最好离开车辆频繁的干道100m以外，但考虑到厂区总平面布置的可能性以及厂区围墙或厂内路沿绿化的阻尘作用等因素，本条规定洁净厂房与车辆频繁的干道之间的距离宜大于50mo 57 在洁净厂房设计规范)GB50073-2001 C以下简称原规范)实施中，各地区、各设计单位认为本条规定距离的界定不明确，且考虑到道路的污染物对洁净厂房的影响主要是影响净化空调系统新鲜空气的质量，而洁净室(区)围护结构气密性
31、较好的特点，本次修改为新风口与交通干道边沿的最近距离宜大于50m。4. 1. 6 绿化有良好的吸尘、阻尘作用。洁净厂房周围场地绿化应以种植草坪为主，小灌木为辅，不宜种植观赏花卉及高大乔木。因为观赏花多为季节性一年生植物，需经常翻土、播种、移植，从而破坏植被，反而使尘土飞扬;而高大乔木树冠覆盖面积大，其下部难以形成植被，也易产生扬尘。洁净厂房外围宜种植枝叶茂盛的常绿树种。洁净厂房周围绿化树种应选用不产生花絮、绒毛、粉尘等对大气有不良影响的树种。4.2 工艺平面布置和设计综合协调4.2.2 因生产工艺的不同，洁净厂房内常有多种气体、液体供应管道，如氢、氧、氮、氧、压缩空气和纯水、上水等管道，以及电
32、气管线、净化空调系统的送回风管和局部排风管等，管线交叉复杂。因此，在进行管线综合布置时，必须在平面和标高上密切配合，综合考虑，才能做到安装、调试、清扫、使用和维修的方便及整齐美观。对国内已建成的洁净厂房调研中，了解到为布置各种管道和高效过滤器等一般均设置了技术夹层或技术夹道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技术夹层设计得过高是不经济的。改建工程由于空间较小，管线布置比较紧凑，但如果布置合理，效果也是不错的。因此，在进行管线综合布置设计和确定技术夹层层高时，应进行技术经济比较，做到技术上可靠，经济上合理。通过原规范实施以来反馈的信息，虽然本条具有确保洁净厂房安全可靠的作用，但主要还是影响产品质
33、量的提高、成品率高低和经济性问题，因此本次修订修改为推荐性条文。4.2.3 随着各类产品生产工艺技术的发展，生产自动化程度的提高和改进，近年来洁净厂房建设中大都采用大开间，以满足生产工艺要求。洁净厂房内除考虑生产安全性需增设隔断外，一般不设隔断。由于本条第2款、第3款的内容只是为了有利于运行管理作出的规定，故本次修订修改为推荐性条文。4.3 人员净化和物料净化4.3.1、4.3.2人员与物料进入洁净室会把外部污染物带入室内，特别是人员本身就是一个重要的污染源，不同衣着、不同动作时的人体产尘量见表5。从表5中数据可见，身着普通服装的人走动时的产尘(大于或等于O.5m)量可达近300X 104 p
34、C/ Cmin .人)。根据国外有关资料报道，洁净室中的灰尘来源分析见表6，来源于人员因素的占35%。对洁净室空气抽样分析也发现，主要的污染物有人的皮肤微屑、衣服织物的纤维与室外大气中同样性质的微粒。由此可见，要获得生产环境所需要的空气洁净度，人员与物料的净化是十分必要的。存放雨具、换鞋、存外衣、更换洁净工作服用室是人员净化用室的基本组成部分，也是人员净化用室的必要部分。生活用室应视车间所在地区的自然条件、车间规模及工艺特征等具体情况，根据实际需要设置。如车间规模较大、人员集中或工艺为暗室操作的洁净室应设必要的休息室。鉴于第4.3. 1条、第4.3. 2条仅为原则性通用规定，本次修订修改为推荐
35、性条文。表5不同衣着、不同动作时的人体产尘王状子态衣着产尘二主O.5m颗粒数pc/(min人)J一般工作服白色无菌工作服全包式洁净工作服静站339X10 113 X 10 5. 6X 10 静坐302 X 103 112 X 10 7.45X10 腕上下运动2980 X 10 300 X 10 18.7X10 59 续表5飞飞状态二衣之着尘二O.5m颗粒数pc!Cmii:J.人)J一般工作服白色无菌工作服全包式洁净工作服上身前屈2240X 103 540X103 24.2X103 腕自由运动2240X 103 289 X 103 20.5 X 103 脱帽1310X 103 头上下左右运动63
36、1 X 103 151 X 103 11. 2X103 上身扭动850X 103 267 X 103 14.9X103 屈身3120X 103 605 X 103 37.3 X 103 踏步2300X 103 860X 103 44.8X103 步行2920X 103 1010 X 103 56 X 103 表6洁净室内粒子来源分析发生源百分比C%)发生源百分比C%)从空气中漏入7 从生产过程中产生25 从原料中带入8 由人员因素造成35 从设备运转中产生25 4.3.3 本条对人员净化用室和生活用室的设计作出规定。1 净鞋的目的在于保护人员净化用室入口处不致受到严重污染。国内多数洁净厂房人员
37、人口处设有擦鞋、水洗净鞋、粘鞋垫、换鞋、套鞋等净鞋措施。为了保护人员净化用室的清洁，最彻底的办法是在更衣前将外出鞋脱去，换上清洁鞋或鞋套。现有洁净厂房工作人员都执行更衣前换鞋的制度，其中不少洁净厂房对换鞋方式作了周密考虑，换鞋设施的布置考虑了外出鞋与清洁鞋接触的地面要有明确的区分，避免了清洁鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式换鞋，清洁平台上换鞋等都有很好的效果。2、3外出服在家庭生活及户外活动中积有大量微尘和不沽物，服装本身也会散发纤维屑，更衣室将外出服及随身携带的其他 60 物品存放于专用的存外衣柜内。考虑到国内洁净厂房当前的管理方式和习惯，外出服一般由个人闭锁使用，按在册人数每人一柜计算是必要的
38、;洁净工作服柜一般也可按每人一柜设计，但也有集中将洁净工作服存放于洁净柜中的，置于洁净柜中更为理想。为避免外出服了亏染洁净工作服，为此本条明确规定存外衣、更换洁净工作服的房间应分别设置。4 手是交叉污染的媒介，人员在接触工作服之前洗手十分必要。操作中直接用于接触洁净零件、材料的人员可以戴洁净手套或在洁净室内洗手。洗净的手不可用普通毛巾擦抹，因为普通毛巾易产生纤维尘，最好的办法是热风吹干，电热自动烘手器就是一种较好的选择。由于人员净化的净鞋措施、存外衣和更换洁净工作服房间的分隔以及洗手设施的设置，均为了减少甚至消除洁净室工作人员带入的污染物对产品质量的影响，所以本次修订将本条第1款、第2款、第4
39、款改为推荐性条文。5 工业洁净室设置空气吹淋室的理由是:1)在一定风速、一定吹淋时间的条件下，空气吹淋室对清除人员身上的灰尘有明显效果。本规范编制组进行了吹淋室效果的测定的科研项目，对于经吹淋与不经吹淋两种情况的人员散尘量作了大量的测试对比。结果表明，吹淋室的吹淋效果，对大于或等于0.5m的尘粒约为10%30% ，对大于或等于5m的尘粒约为15%35%。Z)吹淋室具有气闸的作用，能防止外部空气进入洁净室，并使洁净室维持正压状态。3)吹淋室除了有一定净化效果外，它作为人员进入洁净区的一个分界，还具有警示性的心理作用，有利于规范洁净室人员在洁净室内的活动。的国内沽净厂房的现状是:在统计的38个洁净
40、厂房中，约80%设有空气吹淋室。 61 关于吹淋室的使用人数，主要取决于每人吹淋所需时间和上班前人员净化的总时间。参考计算方法:假定洁净室自净时间为30min，换鞋、更衣占去10min，上班人员总吹淋时间为20min。设每人吹淋305，另加准备时间105，则一台单人吹淋室可供30人使用。当最大班使用人数超过30人时，可将两台或多台单人吹淋室并联布置。垂直单向流洁净室由于自净能力强，无紊流影响，人员产尘能迅速被回风带走而不致污染产品，鉴于这种有利条件，也可不设吹淋室而改设气闸室。吹淋室旁设通道，可使下班人员和卫生清扫或检修人员的进出不必通过吹淋室，起到保护吹淋设备的作用，同时也方便检修期间设备、
41、工具等进出。洁净室(区)是否设置空气吹淋室，各洁净厂房做法不一，但在原规范中规定空气吹淋室应设在洁净区人员入口处，并与洁净工作服更衣室相邻。因为本款作为强制性条款，在实施过程中，一些单位以为所有洁净室均应设置空气吹淋室。实际上本款规定并不是要求所有洁净室均应设置空气吹淋室，只是要求当需设置空气吹淋室时，应如何设置。为此，本次修订将本款改为推荐性条款。7 洁净区内设置厕所不仅容易使洁净室受到污染，还会影响洁净区的压力控制。原规范规定洁净区内不宜设厕所，为了强调洁净区内不得设厕所的要求，本次修订将不宜改为不得，但该款条文仍为推荐性。人员净化用室内的厕所应设在盟洗室之前，厕所设前室作为缓冲，前室还应
42、放置供人员入厕穿用的套鞋。4.3.4 人员净化应当循序渐进，有一个合理的程序，在净化过程中，避免已清洁部分被脏的部分所污染。根据目前国内洁净厂房常用的人员净化程序，本规范提出了一次更衣(盟洗前存外衣)、一次吹淋的人员净化程序。由于本条第1款只是对洁净厂房中人流路线的原则性规定，本次修订改为推荐性条文。4.3.5、4.3.6关于人员净化用室建筑面积控制指标，主要参考了有关资料提出的面积指标和部分洁净厂房实际采用的指标，并进行统计后得出的。人员较多时，面积指标采用下限;人员较少时，面积指标采用上限。近年来，国内设计、建造的洁净厂房，一般是根据产品生产工艺要求或洁净厂房的布局情况按相邻洁净室(区)的
43、洁净度等级确定洁净工作服更衣室的空气洁净度等级，还有一些洁净厂房虽然没有对洁净工作服更衣室、洁净工作服洗涤室提出空气洁净度等级要求，但室内采用高效空气过滤送风系统，或将洁净室内的净化空气部分地引入更衣室、洁净工作服洗涤室。为此，本次修订时对洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁净区1级2级和洁净服洗涤室的空气洁净度等级不宜低于8级的规定取消，修改为将更衣室与洁净工作服洗涤室对空气净化要求的相关内容的规定合并在一条内宜根据产品生产工艺要求和相邻洁净室(区)的空气洁净度等级确定。不再规定具体的等级或等级范围。4.3.7 鉴于本条有关物料净化的规定主要涉及影响空气洁净度或产品生产过程的可能被污
44、染，且在原规范实施过程中一些行业的洁净厂房设计、建造中执行本条规定难度较大，为此本次修订改为推荐性条文。4.4躁声控制4.4.1 洁净室的噪声一般不算高，但数据差额较大，相差近10dBCA)。国内关于噪声对健康影响的研究表明，低于80dBCA)的一般工业噪声，对健康的影响不太大。因此，洁净室噪声标准的制订主要考虑噪声的烦恼效应、语言通讯干扰和对工作效率的影响。国外洁净室噪声标准的研究工作开始于20世纪60年代。1966年制定的美国联邦标准洁净室环境控制要求)209a和1974年修订的209b规定洁净室的噪声控制在可能进行必要的通话，满足操作或产品的要求，并使人员保持在舒适和安全的范围内。在洁净
45、室及相关受控环境一一第四部分，设计、施工和启动IS0 14644-4-2001标准中规定应依据洁净室内人的舒适和安全要求及环境(如其他设备)的背景声压级来选择适宜的声压级。洁净室的声压级范围为4065dB(A)。从收集的国内外洁净室噪声标准来看，有以下几个特点:洁净室的噪声标准一般均严于保护健康的标准。在洁净室的环境下，噪声条件主要在于保障正常操作运行，满足必要的谈话联系，提供舒适的工作环境。绝大多数标准给出的允许值在65dB(A) 70dB(A)范围，医疗行业则更低。现行的大多数标准均以A声压级作为评价指标，也有少数标准对各频带声压级提出了限制。少数标准按不同的空气洁净度等级分别给出了噪声容
46、许值，而大多数标准对不同的空气洁净度等级洁净室提出了一个统一的容许值。根据洁净厂房噪声评价与标准的研究所得到的成果，我国59个洁净厂房平均噪声级的分布，电子工业216个洁净室的噪声分布状况和不同声级下各种效应的主观评价指标如图1所示:由图1可见，若以65dB(A)作为洁净室噪声允许值标准，工人感到高烦恼的百分率低于30%，对集中精神感到有较高影响的百分率不到10%，而对工作速度、动作准确性的影响则可忽略，从主观评价调查看，语言通讯干扰可以属于轻微的等级。如按这一限值来衡量现有洁净室的噪声，则有75%超过标准，就电子工业而言，也有47%的洁净室超过标准。近年来，我国的洁净室环境技术有了一定的发展，但对噪声的控制技术还相对滞后，从1996-1997年对国内部分行业的部分洁净室进行的调研结果来看，还有相当一部分的洁净室噪声在65dB(A)以上，就电子工业而言，还有约35%的洁净室超过标准。AUAUAU 321 100 90 80 70 X 高60E50 40 64 图1洁净厂房噪声分布与评价图
