1、中华人民共和国国家标准变容真空泵极限压力测试方法Measurement of ul tl mate pressure of p创the-Displacementvacuum pumps VDC 621.521:581 .788 GB 6308.2一本标准适用于单级极限压力低于100Pa,并能直接向大气空间排气的变容真空泵以下简称泵)极眼压力的测试。本标准是变容真空泵性能测试方法系列标准之一。本标准等效果用国际标准ISO1607/ II -1980 (变容真空泵性能测试方法一第二部分z极眼压力的测试比1 名词术语1. 1 极限压力泵按规定条件运转,在不引人气体的测试罩内趋向稳定的最低压力,P a
2、。1. 2 测试罩装在泵口上的具有规定形状和容积的容器,经过计量的测试气体通过它充人泵内,其上装有微调阀和真空计。2 测试装置2.1 测试罩罩为圆筒形图1a)。其内径为D,高为1.5D,测试气体人口位于罩的轴线上,并背向泵口与罩法兰半面的距离为D。真空计(或规管),连接管轴线距法兰*面0.5D,并垂直于罩轴线。罩的容积(VD)至少应是泵一个压缩周期扫过容积(Vp)的五倍。罩与泵口之间需要连接一个长度不扭过0.5D的异径管接头,不同规格的泵适用的测试罩由表1给出。国家标准局1986-04-25发布1987-01-01实施标准搜搜网各类标准行业资制免费下载GB 06.2一接辅助气阀霉m抠出再图1测
3、试罩结构表1qmJ 。编号V p L V o L D mm 1 。-0.261.3 100 2 0.26-1. 1 5.4 160 3 1.1-4.2 21 250 4 4.2-17 84 400 5 17-65 325 630 6 65-260 1300 1000 2.2 真空计2.2.1 压缩式真空计来用标准压缩式真空计测量泵的非可凝性气体的极限分压,其校准精度为2压力大于或等于1Pa,在:t5%以内,压力低于1Pa,在:t10%以内。2.2.2 全压真空计采用灵敏度与气体或蒸气种类无关的真空计,如膜片计测泵的极限全压。该计须以被测压力土10%的精度校准。规管与罩之间不准接有任何型式的冷阱
4、。标准搜搜网各类标准行业资料免费下载GB 8106.2-86 S 测试条件测试时应符合以下条件z 泵实际转速与额定值之差不大于:f:3 %, b. 泵液种类和数量应符合设计要求,C. 水冷泵的冷却水流量和温度应符合设计要求,d. 环境温度在20-25C之间,e. 测试气体为室内空气,相对湿度不大于75%, 1 测气镇泵时,其掺气量应符合设计要求。4 测试方法4.1 原理将规定的测试罩装在泵口上,在乎衡温度下测罩内极限压力。4.2步骤极限压力测试装置如图2所示。关闭微调阀,开泵运转,并充分气镇,泵温半衡后每30min测一次压力。当连续三次测试结果壳明压力不再变化,即算达到极限压力。分别记取压缩式
5、真空计和全压真空计读数,保留两位有效数字。对于气镇泵,应在上述测试之后,完全打开气镇阀,待泵温再一次平衡后,重新测试气镇时的极限压力。5 测试报告将测试结果填人真空泵性能测试记录表队 ISO 1607/ U-1978为连续运转24h以后。标准搜搜网各类标准行业资料免费下载GB 8106.2一附录A压缩式真空计和压力测量补充件), A .1 压缩式真空计采用的标准压缩式真空计必须具有计量部门签发的有效检定证书。使用的隶必须具有99.999%的纯度,并经过充分过滤、清洗和真空蒸锢s不使用时,计内应保持真空。采用纯度不低于99.9%的氯气来提升计内的束。真空计与测试罩之间,不准萄椒胶管和带有真空抽脂的玻璃阀门。真空计应装有一只球形冷阱见圄。A.2测量方法为涮泵的极限分臣,计的冷阱内应灌满液氮。采用无标定标法,提升隶的速度不得太快,提升结束至少稳定1min,方可读数。球形冷阱附加说明:本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出。本标准由机械工业部沈阳真空技术研究所起草。本标准起草人徐光、高峰、张书范。标准搜搜网各类标准行业资料免费下载