1、申华人民共和国国家标准蒸汽流真空泵抽气速率(体积流率测试方法Vapour vacuum pumpS一Measurement 01 pumplng咽eed(volume rate 01 no,) UDC 821.127: IU .175.2 GB 6807.1一16本标准适用于蒸汽流真空泵包括扩散泵、扩散喷射泵等抽气速率体职流率的测试。本标准等效果用ISO1608/1 -1980 (蒸汽流真空泵性能测试方法一第一部分s体积流率抽气速率的测试。本标准系蒸汽流真空泵性能测试方法的第一部分。1 名词术语1.1 抽气速率体积流率)泵按规定条件工作，从测试罩流过的气体流量与罩指定位置上调路导的平衡压力之地
2、，简称抽速。1.2测试罩指装在泵人口处的具有规定的型式和尺寸的容器。测试气体通过它充人泵内，其侧壁装有充气阔及真空讨规管。1.1极限压力泵按规定条件工作，不引人气体的测试罩内，趋向稳定的最低压力。2 测试装置2.1 测试装置的组成测试装置如图1所示。与被试泵相连接的测试罩侧壁装有真空计规管和微调阀，通过微调阀与流量测试装置相连。国家标准局1816-04-25发布1887-01-01实施标准搜搜网WWTN.bzsos口.corn各类标准行业资料免费下载GB 6307.1-86 至前级管路图12.2测试罩指如图2所示的圆筒形容器。罩的内径D与泵口内径相等，顶部具有10。斜面，轴线高度为1.5D。气
3、体通过弯管充人罩内，弯营开口向上，且位于测试罩轴线上。弯营开口平面与泵口法兰平面的距离为D，规管与罩的连接管在距泵口法兰平面O.SD处，莫轴线垂直于测试罩轴线。树a啕EQ气。一二-TI的N$Qm.H 图2测试罩外表面绕焊水冷管或其他水冷装置，专用于泵液返流率的测试。标准搜搜网各类标准行业资料免费下载GB 8107.1-8& 2.1真空计规管与测试罩间连接管的流导，至少应为3Ljs。连接管端应突出于罩内壁5mm，开口平面应平行于气流流动方向。如果使用冷阱，则应放置于规管与测试罩之间，且保持冷剂的液位不变。测试过程中，真空计压力读数取二位有效数字，并注明真空计种类。所用真空计必须经过国家计量部门承
4、认的校准单位对干燥空气进行校准。当压力高于或等于1Pa，校准精度应在土5%以内，压力更低时，校准精度应在:t10%以内。注g使用固体二氧化碳干冰和乙醉的混合物，将冷阱冷却到-10- -30-C，不得使用液氮。2.4气体流量测试装置流量计根据气体流量选用流量计。通常采用滴管式流量装置，由量杯、变压器油、滴管及连接胶管等组成，如图3所示。量杯直径应大于滴管直径的5倍，滴管容量可根据被试泵抽气量参照表1选择。泵的抽气量Pa. L/ s 50-100 20 通常流量测量的误差应在士5%以内。充气阀 100- 500 500- 1000 50 100 - 200 标准搜搜网各类标准行业资料免费下载100
5、0 200 GB 6307.1-86 S 测试条件3. 1 测试气体除另有规定外，应使用干燥空气。8.2 环境温度除另有规定外，测试过程应在15-25C的某一温度下进行，并允许在士1C内变动。3.3 泵的加热和冷却泵的加热功率及冷却条件，应符合制造厂的规定。测量前30min起，加热功率的变化应在:t5% 以内。3.4 泵液及前级泵泵液的种类、牌号和用量以及配用前级泵，均应符合制造厂的规定。4 测试方法4.1 原理按定压法进行测试。在测试过程中，泵口处的压力保持不变。4.2步骤为测试抽气速率，应将测试罩、真空计和流量计按上述第2条要求装配到被试泵上，在流量计与测试罩之间，设置一个具有适当调节范围
6、的微调阀。在第3条规定条件下，泵接通后关闭微调阀，抽空测试罩，达到或勘丘极限压力时，才能开始测试抽速。测试流量之前，应先将滴管内勤王袖，并检查测试装置的气密封性。要求微调阀到滴管之间不得漏气。测试时通过微调阀，使气体充人测试罩。当罩内压力平衡于到言，由流量计测得充人泵内的气体流量Q，并按下列公式计算抽气速率zS=9_= K.h - -p p.t 式中:S一一被试泵的抽气速率，L/s，Q一一流过泵口的气体流量，Pa.Ljs, P一一测试罩内指定位置的平衡压力，Pap h一一滴管内袖柱上升高度，mm , t一一滴管内袖柱上升h所需时间，s , K一一滴管系数，Pa. L/mm。K=肌32Vo斗_0
7、_+Pat . V m 式中:Vo一一从微调阀到滴管油面之间的容积，L , 133吃一滴管内每毫米油柱换算为帕斯卡的压力值，P川m，。一一测试环境流量计油的密度，g/ cm3, m一一OC时京的密度，g/ cm3, Pat一一测试时当地大气压力，Pa, .V-滴管内每毫米高度的容积，L/mm。抽速测量过程中，从泵人口最低有关压力开始，在一系列不同压力下逐点进行。每个数量级内至少测量3点，对每个测量点，应尽可能同时测得人口压力、环境大气压力和气体流量。每次测量时间不标准搜搜网各类标准行业资料免费下载GB .,07 .1-88 得少于255，油往高度不得低于50mm。如果充人气体所需的时间超过60
8、S，则在测量时间内应每隔60s测量-次，并2取平均值。如果-个点所测压力高低之翻过平峭的10%，则应重新测量。测量流量时，两次测量的附间间隔不得少于2mino5 测试报告5.1报锹据在介绍测试数据时，应同时削肝列测试条件:1. 真空计及其规管的型号和校准情况!b. 刷刷功率及其在测试过程中的变化情况!C. 亲被的牌号及数量!d. 累的冷却水进、出温度及流量!e. 配用前级来的型号及抽速!f. 环境温度及大气压。5.2 给制曲线按下列程序给制曲线:a. 栩如速率随亲人口压力变愉曲线图。横坐标为对数坐标，表示压力。其范围可从极限压力到大气压或适合于裂的设计要求的其他压力范围。纵坐标为直线坐标(或对
9、数坐标)，表示抽速。b. 给制气体流量随亲人口压力变伽对数坐标曲线图。横坐标表示压力，纵坐标表示流量。C. 给懒人口压力随抽气时间变愉坐标曲线图。横坐标表示时间，纵坐标表示压力。标准搜搜网各类标准行业资料免费下载GB 8807 .1-88 附录A极限压力的测试方法(补充件)如果极限压力作为素的独立测试项目正规测试时，须按下述规定进行:A.1 扩散亲自加热开始，连续工作不超过12读取极限压力数值。读数之前应按真空计的操作要求，对真空规管除气8mino除气后lh开始记录读数，并保持规管连续工作，每隔10min己录一次，最后lh内各次读数的平均值，作为来的极限压力。州附蒙自加热开始，连续工作仙，便可记录极限压力值。A.2 测量极限压力所用真空计及其规营，应符合本标准第2.3条的要求，但不用冷阴。附加说明:本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出。本标准由械工业瞅阳真空技术研究所醉。本标准主要起草人张塔、王京国、张书范。标准搜搜网各类标准行业资料免费下载
