1、前言本标准是对 电子级水 国家标准进行修订原标准 是参照 年 委员会电子级水规范草案 及 试剂用水规范制定的 随着电子工业微电子工业的飞速发展对电子级水的质量要求更严格 美国从 年开始颁布了新的 电子级水规范并沿用至今 我国原标准 与 年电子级水规范相比 标准技术内容中缺少金属镍硝酸根离子 磷酸根离子硫酸根离子细菌内毒素的技术指标另外由于当时我国分析手段的局限性其中颗粒细菌 总有机碳等技术指标水平规定得较低因此与 电子级水规范水平相比有一定差距已不能满足电子工业发展的需要 为此我们非等效地采用美国 年 电子级水规范本标准将原电子级水级别由 级改为 级技术内容增加了金属镍硝酸根磷酸根硫酸根等指标
2、删去了 年 标准中未规定的金属铝铁钙技术指标提高了颗粒和细菌的指标要求 增加了有关水的词汇 同时考虑到目前我国实际情况 这次修订时没有规定细菌内毒素的指标和检测方法本标准从实施之日起同时代替本标准由中华人民共和国电子工业部提出本标准由电子工业部标准化研究所归口本标准起草单位中国科学院半导体研究所 电子工业部标准化研究所本标准主要起草人 闻瑞梅李晓英王在忠 闫桂珍中华人民共和国国家标准电子级水代替国家技术监督局 批准 实施范围本标准规定了电子级水的级别 要求试验方法和检验规则本标准适用于电子元器件生产和清洗用水引用标准下列标准所包含的条文通过在本标准中引用而构成为本标准的条文 本标准出版时所示版
3、本均为有效 所有标准都会被修订 使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性电子级水测试方法通则电子级水电阻率的测试方法电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法电子级水中痕量氯离子 硝酸根离子 磷酸根离子 硫酸根离子的离子色谱测试方法电子级水中总有机碳的测试方法电子级水中微粒的仪器测试方法电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法定义本标准采用下列定义电子级水制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水电阻率在规定温度下 水溶液两相对面之间测得的电阻值 通常用符号 表示 单位为 纯水的理论电阻率为全硅水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量可溶性硅以单一分子
4、状态存在于水中的溶解性硅酸盐微粒性物质除气体以外以非液态分散在水中 并形成非均相混合物的物质总有机碳水中以各种有机物形式存在的碳的总量 包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物吸附某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的能力凝聚在源水中加入某种电解质后 水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和 从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象絮凝水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象 絮凝一般是在凝聚作用后缓慢进行可除去水中更细的微粒砂滤器用于盛放不同直径的砂粒 以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置活性碳过滤器装有粒状活性碳的过滤器用于除去水中的可溶性有机物
5、和过量的残余氯离子交换一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程该过程中物质并无实质性结构变化去离子水经过离子交换处理除去了呈离子形式的杂质的高纯水再生离子交换过程操作循环中的一部分 在该部分中用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力复合床将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中将两柱串联 使水依次通过两个柱而被纯化 复合床处理水的纯度虽不及混合床 但操作较简单混合床将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀填充于同一离子交换柱中其纯化效果相当于许多组合床串联使用 出水质量好但再生比较麻烦电渗析一种分离水中离子的方法 在电渗析器中阴阳两极之间用交替排列的阴阳离子
6、交换膜分隔成一系列小室 水流通过小室时在直流电场作用下 水中阳离子向阴极方向移动 但不能通过阳膜 阴离子则相反 这样就形成相间存在的浓 淡水室而达到提纯水的目的反渗透亦称逆向渗透 一种利用渗透原理进行分离的方法 用半透膜将浓水和淡水隔开 并在浓水上施加比渗透压更强的机械压力 则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中 达到分离提纯的目的反渗透膜用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜 其孔径一般为 或更小 可用于除去无机离子 有机物细菌等 使水纯化微孔膜滤器一种平均孔径直径 大于 的薄膜 能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近超过滤一种过滤方法在一定压力下使水流通过超滤膜以除去水中的极细微粒 胶体
7、和细菌等终端高纯水生产流程中经过各道净化工艺后水的出口或使用地点分类电子级水分为四个级别 级 级 级和 级标记级电子级水标记为级电子级水标记为级电子级水标记为级电子级水标记为要求电子级水的技术指标应符合表 的规定表 电子级水的技术指标指标级别电阻率 以上时间不低于时间不低于全硅最大值微粒数最大值个细菌个数最大值 个铜最大值锌最大值镍最大值钠最大值钾最大值氯最大值硝酸根最大值磷酸根最大值硫酸根最大值总有机碳 最大值试验方法电阻率电子级水的电阻率按 的测试方法进行测定全硅含量 以二氧化硅计电子级水全硅以二氧化硅计 含量按 的测试方法进行测定微粒数电子级水中微粒数按 的测试方法进行测定细菌总数电子级
8、水中细菌总数按 的测试方法进行测定痕量金属含量电子级水中痕量金属的含量按 的测试方法进行测定氯离子 硝酸根离子 磷酸根离子 硫酸根离子的含量电子级水中氯离子 硫酸根离子硝酸根离子 磷酸根离子等阴离子的含量按的测试方法进行测定总有机碳含量电子级水中总机碳含量按 的测试方法进行测定检验规则检验部门电子级水的检验均应在制造厂的水质检验部门进行检验分类电子级水的检验分为交收检验和例行检验交收检验抽验项目电子级水技术指标中电阻率 钠离子全硅 以二氧化硅计为交收检验项目在用水终端采样试验后检验结果如有一项不合格时应再次采样进行检验 如仍有一项指标不合格应提出改进措施直到水质合格例行检验 全检项目例行检验每年进行一次当制水条件发生变更时也应进行例行检验检验项目为表 规定的全部技术指标要求在用水终端采样后进行例行检验 检验结果如有一项以上不合格时应再次采样进行检验 如仍有一项以上指标不合格应提出改进措施直到水质合格采样贮存 运输及标志电子级水的采样贮存运输按 的规定标志在用水终端采样进行检验时 水质合格后应附有检验合格证 合格证应注明名称及级别各项技术指标制水单位供水日期检验员签章及检验日期
