1、前言是分别对 电子级水检测方法通则电子级水电阻率的测试方法 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法 电子级水中痕量二氧化硅的分光光度测试方法电子级水中痕量氯离子的离子色谱测试方法 电子级水中总有机碳的测试方法电子级水中微粒的仪器测试方法 电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法进行修订由于 增加了金属镍硝酸根离子磷酸根离子 硫酸根离子的技术指标在本标准中增加了原子吸收分光光度法测定金属镍以及用离子色谱法测定硝酸根磷酸根 硫酸根的测试方法 细菌的测试方法只用滤膜培养法对测总有机碳方法也作了全新改写 对测试方法通则 测电阻率的方法全硅的测定方法等都作了一些修订并重新改写本标准从实施之日起 同时代
2、替本标准由中华人民共和国电子工业部提出本标准由电子工业部标准化研究所归口本标准起草单位中国科学院半导体研究所 电子工业部标准化研究所本标准主要起草人闻瑞梅李晓英王在忠徐学敏孙目盼刘任重 许秀欣中华人民共和国国家标准电子级水测试方法通则代替国家技术监督局 批准 实施范围本标准规定了电子级水的采样 贮存与运输及试验报告的格式本标准适用于 级电子级水引用标准下列标准所包含的条文通过在本标准中引用而构成为本标准的条文 本标准出版时所示版本均为有效 所有标准都会被修订使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性电子级水定义取样获得被试验物质的有代表性的部分在线监测在高纯水生产过程中选择合适的取样点
3、用仪器直接对水质指标进行测量 电阻率某些离子的浓度 微粒数等均可采用在线监测浓度单位量试样中所包含的某种物质的量 在叙述该物质的浓度时 必须标明量纲灵敏度试样中被测元素的含量变化与测得的相应信号的变化之比值 灵敏度越高工作曲线的斜率越大毫克升每升溶液中含有杂质的毫克数微克升每升溶液中含有杂质的微克数纳克升每升溶液中含有杂质的纳克数空白值由水试剂 器皿 仪器 环境及操作人员本身引入的测量结果的额外增加值 在痕量分析中 必须将空白值控制在最低限空白试验在不加入试样或被测元素的情况下 按与分析试样完全相同的条件和步骤所进行的试验标准样品成分和性质为公认的标准化机构或其他权威机构所确认的一种参比物质回
4、收试验分析技术中检查分离效果的一种试验方法即对加入到试样中的已知量杂质进行分离操作 然后测定分离得到的该杂质的量 将两者进行比较以检查分离效果采样电子级水水样的采集必须选择有代表性的采样点盛水的容器采样瓶 必须使用硬质玻璃瓶或塑料容器 用于测定硅微粒及金属 阴离子时 必须使用聚乙烯等塑料容器 用于分析总有机碳和细菌的采样瓶必须使用带磨口塞的玻璃瓶采样前盛水样的容器应预先用洗净剂清洗干净 再用盐酸 或 硝酸浸泡 分析阴离子用的容器除外 然后用 级电子级水冲洗干净后贮满电子级水 取样前倾出水以待测水反复冲洗后再采样 采样体积约为容器体积的 取样完毕后 应迅速盖上瓶塞 细菌采样瓶必须经高温灭菌采集水
5、样前必须使制水系统运行一段时间 以上 使各装置及系统中的水达到平衡后方可采样 采样前应开启所有阀门 使各个死角的积水放尽 并经过新鲜水充分冲洗后再采样所采集水样的数量应满足试验和复验的需要 供全分析用的水样不得少于 供单项分析用的水不得少于采样人员采样时应戴医用手套 操作时不得用手触及水样及瓶塞与水样接触部分采集水样后应贴标签 并注明 水样名称采样人姓名采样地点时间温度以及其他条件 如气候条件等贮存与运输水样采集后应及时化验尽量缩短存放与运输时间为了降低由于水样的不稳定性所造成贮存过程中其性质的改变 贮存水样应保持在 左右不得有直接阳光照射运输水样过程中应防晒防冻不得倒置贮样容器经过存放或运输的水样在测试时 应在报告中注明存放的时间和温度条件试验报告电子级水水样的各项指标的分析结果应按下表的要求报告电子级水水样分析报告提供样品单位 采样日期样品存放及运输情况 采样者电阻率全硅最大值微粒数 最大值个细菌个数 最大值个铜 最大值锌 最大值镍 最大值钠 最大值钾 最大值氯 最大值硝酸根最大值磷酸根最大值硫酸根最大值总有机碳 最大值
