1、ICS 7 1. 100.20 G 86 二重3中华人民共和国国家标准GB/T 31986-2015 电子工业用气体八氟丙炕Gas for electronic industry-Perfluoropropane 2015-09-11发布2016-05-01实施飞丁、时叩俨/山创铲Jit;即制l全中华人民共和国国家质量监督检验检夜总局也士中国国家标准化管理委员会。叩GB/T 31986-2015 前言本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能捞及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提
2、出并归口。本标准起草单位z国家化学工业气体产品质量监督检验中心福建、谢江省化工研究院有眼公司、佛山前华特气休有限公司、苏州舍宏气体股份有限公司、t海华爱色谱分析技术有限公司、中臭光明化工研究设计院有限公司、四川中测标物科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司。本标准主要起草人z林宇巍、陈熔、史婉君、方路、廖恒易、金向华、孙猛、方华、孙福楠、方正、崔学文、周鹏云。I GB/T 31986-2015 电子工业用气体八氟丙镜1 范围本标准规定了八氟丙烧的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烧氟化制备，并通过精馆、吸附、催化等工艺提纯的
3、八氟丙烧产品，以呆嵌和氯直截反应注合成的八氟丙;民产品。它在电r工业等商F出刻工艺中作为怯刻气体或清洗气体.分子式:C3Fs0 相对分子质量:188.017(按2011年国际相对原子质量)。2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注目期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单适用于本文件。GB 190 危险货物包装标志GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则GB 5099 钢质无缝气瓶GB/T 5832.3气体中微量水分的测定第3部分z光腔衰荡光谱法GB 7144 气瓶颜色标志GB/T 8984 气体中一氧化碳、二氧
4、化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法GB 14193 液化气体气瓶充装规定GB 15258 化学品安全标签编写规定GB 16804 气瓶瞥示标签GB/T 26571 特种气体储存期规拖GB/T 28726气体分析氮离子化气相色谱法气瓶安全监察规程(2000版危险化学品安全管理条例(2011版特种设备安全监察条例(2009版3 技术要求八氟丙妮的质量应符合表1的要求。项目八氟丙烧(CaF8)纯度(体职分数)/10-2氧+氢)(02+Ar)含量(体飘分数)/10-6氮(N2)含量体枫分数)/10-6囊1技术指标飞1式中z伊a一一总杂质含量(体棋分数)/10-6，伊1一-一氧+氧的含量体积分数)/10-
5、6 ; 伊z一一氯气的含量(体租分数)/10-6;P3一一一氧化碳的含量体寂分数)/10-6，机一一二氧化碳的含量(体积分数)/10-6; P5一一其他碳氟化合物的含量(体积分数)/10-6，?自一一其他有机物以甲皖计含量体租分数)/10-6; 伊7一一水含量体积分数)/10-6。4.2.2 八氟丙烧纯度按式(2)计算zp = 100 - P 8 X 10-4 式中zp-一一八氟丙烧纯度体积分数)/10-3.( 1 ) .( 2 ) 4.3 氧+氨、氯、一氧化碳、二氧化碳、四氯化碳、六氟Z蝇、六氟丙烯、七氟商辑、八氟环丁蝇含量的测定按GB/T28726规定的切割进样的方法测定八氟丙烧中的氧十氢
6、、氯、一氧化碳、二氧化碳、四氟化2 GB/T 31986-2015 醋、六氟乙饶、六氟丙烯、七氟丙娟、八氟环丁烧含量。预分离柱:*约3m、内径约2mm的不锈钢管，内装约桂径为0.18mm0.25 mm的PorapakQ 一种高分子聚合物)，或其他等效色谱柱。色谱柱11*约2m、内径约2mm的不锈钢管，内装牵挂径为0.18mm0.25 mm的PorapakQ，或其他等效色谱柱。该柱用于分析二氧化破、四氯化碳、六氟乙烧含量。色谱柱ll:长约2m、内径约3mm的不锈钢管，内装糙径为0.18mm0.25 mm的5A分子筛，或采用其他等效色谱柱。该柱用于分析氧+氧、氯气、一氧化碳含量。色谱柱ill，长约
7、30m、内径。.53mm，膜厚10m的三氧化二铝毛细柱，或采用其他等效色谱柱.该柱用于分析六氟丙烯、七氟丙烧、八氟环丁烧含量，标准样品z组分含量的体现分数为(15)XIO-6.平衡气为氢。允许采用其他等效的方法测定八氟丙烧中的氧十氢、氮、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、六氟乙烧、六氟丙烯、七氟丙烧、八氟环丁烧含量.当以上测定结果有异议时，以GB/T28726规定的方法为仲裁方法。4.4 其他有舰物(以甲锦计的测定按GB/T8984规定的方法或其他等效的方法测定八氟丙皖中的其他有机物以甲烧计含量。当以上测定结果有异议时，以GB/T8984规定的方法为仲裁方法。仪器检测限的体积分数:0.05X 10
8、-6 4.5 水含量的测定按GB/T5832.3规定的方法或其他等效的方法测定八氟丙烧的水含量。当以上测定结果有异议时，以GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法。4.6 醺度(以HF计的测定4.6.1 方法提要试样中的酸和醺性物质与过量的氢氧化铀标准溶夜发生巾和反应，以甲基红-澳甲酷绿为指示剂，用硫酸标准潜液滴走过量的醋，从而测定出试样的酸度。4.6.2 试剂、溶蘸4.6.2.1 氢氧化锦标准溶液:c(NaOH)约0.01mol/L。由0.1mol/L标准榕液稀释制取。4.6.2.2 硫酸标准滴定溶液:c(1/2HzSO.)约0.01mol/L。由0.1mol/L标准榕液稀释制取。4.6.2
9、.3 混合指示剂z甲基红乙蹲榕液与澳甲酣绿乙障榕被按1: 3体积比混合。4.6.3 仪器、设备4.6.3.1 微量滴定管:5mL，分度值为0.02mL，或0.01mL. 4.6.3.2 多孔气体分布管z孔度为2号。4.6.3.3 湿式气体流量计。4.6.4 副定步骤酸度测定的吸收装置如圈1所示。缓冲瓶、吸收瓶均为300mL锥形瓶，吸收瓶内各装人100mL 新煮沸过的蒸馆水和4.00mL氢氧化铺标准溶被.气体分布器管口距瓶底8mm，试样气体流速500 mL/min，通气量约15L，由湿式气体流量计计量。通气完毕，从系统中取下吸收瓶，分别加入GB/T 31986-2015 4滴5滴混合揭示剂，用硫
10、酸标准溶液滴定，需液由蓝绿色变为红色为终点。Cl.气体说明El 一一缓冲瓶s2、3-一吸收瓶z4 一一湿式气体流量计s5 一一多孔气体分布管56 开口气体分布管.4.6.5 试样体积的计算试样体积按式(3)计算z5 6 2 3 圄1醺度眼收装置4(P1十Pz)X293.1放空4 V = - r- 1 ., X (Vz - V1 ) . . . . . . ( 3 ) 101.312凡1+言(tl+|式中zV 一-20C , 101.3 kPa的试样体积的数值，单位为升(L); P1一一流量计始态的大气压力的数值，单位为千帕(kPa)I Pz一一流量计终态的大气压力的数值，单位为千帕(kPa);
11、 h 一一流量计始态的温度的数值，单位为摄氏度(C); t z 一流量计终态的温度的数值，单位为摄氏度CC);V1一一流量计始态的读数值，单位为升(L)I Vz一流量计终态的读数值，单位为升(L)。4.6.6 结果计算4 酸度以HF计)的质量分数W，数值以10-6表示，按式(4)计算z (VO -V1)+0 - Vz) M X c X 10-sa W=-V .,. :_p. .-. X106 7.93V 式中zv。一一空白试验消起硫酸标准满定榕液的体现，单位为毫升(mL), V 1 -一滴定第一个吸收瓶溶被消麓的硫酸标准滴定溶液的体积，单位为毫升(mL);Vz一一滴定第二个吸收瓶溶液消耗的硫酸
12、标准滴定溶液的体坝，单位为毫升(mL);M一一氢氟醺(HF)的摩尔质量(M=20.0)，单位为克每摩尔(g/moD;c 一一硫酸(1/2HzS04)标准滴定溶液的浓度，单位为摩尔每升(mol/L); ( 4 ) GB/T 31986-2015 V一-20C, 101.3 kPa时试样体积，单位为升(L), 7.9止一20C, 101.3 kPa时八氟丙烧的密度，单位为克每升(g/ L)。取平行测定结果的算术平均值为测定结果。两次平行测定结果的相对偏差应不大于40%。5 包装、标志、贮锺及安全5.1 包装、标志及贮远5.1.1 八氟丙饶的克装及贮运应符合气瓶安全监察规程、危险化学品安全管理条例和
13、特种设备安全监察条例的相关规定。5.1.2 包装八氟丙饶的气瓶应符合GB5099的规定.5.1.3 推荐使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本标准的要求。瓶阅出气口连接方式推荐使用CGA660.5. 1.4 应防止瓶口被指染和世漏。5.1.5 八氟丙婉的充装应符合GB14193的相关规定。5.1.6 八氟丙烧的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB7144的规定，标签应符合GB 16804、GB15258规定的要求。5.1.7 包装容器上应标明电子八氟丙烧字样。5. 1.8 瓶装八氟丙皖的最大充装量按式(5)计算zm=Fr. V 式中zm一一气瓶内人氟丙烧的质量，单位为
14、千克(kg), V一一一气瓶标明的内容积，单位为升(L)I Fr一一八氟丙燎的充装系数(Fr=1.07)，单位为千克每升(kg/L)。5. 1.9 八氟丙饶的充装量按实际称量的质量计，5.1.10 八氟丙烧的保存期限按GB/T26571规定执行。5.1.11 八氟丙烧出厂时应附有质量合格证，其内容歪少应包括z产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号s一一生产日期或批号，充装质量(kg), 一一本标准号及技术指标，检验员号。5. 1. 12 八氟丙统产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房肉，严禁暴晒，远离热掘。5.2 安全警示 ( 5 ) 5.2.1 人氟丙皖在常温常压下是无色、无昧、无毒和不
15、可燃的惰性气体。其化学性质不活泼，热稳定性能好，但在高温能分解产生有毒的氟化物。5.2.2 吸入高浓度八氟丙烧气体可引起窒息。高温下的分解产物氟化物在有水分时具有腐蚀作用，能剌激人的皮肤、眼睛和呼吸道粘膜.被态时撒到皮肤上能引起冷灼伤。5.2.3 若遇高热，容器内压增大，有开裂或爆炸危险。5 巳ONlFmH函。华人民共和国家标准电子工业用气体J.氟丙娓GB/T 31986-2015 国中 中国标准出版社出版发行北京市割阳区和平里西街甲2号。00029)北京市西城区三里河北街16号(10004日网址总编室，(010)68533533发行中心，(010)51780238读者服务部:(010)68523946中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销 印张0.75字数12千字2015年10月第一次印刷开本880X1230 1/16 2015年10月第一版* 书号:155066. 1-51931 16.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68510107定价
