1、ICS 17.180.30 N33 用18中华人民共和国机械行业标准洒，仔8239.1. 8239.-1999 衍射光栅Diffraction grating 1999- 08-06发布2000- 01-01实施国家机械工业局发布JBf坦9.1-8239.去-1999目录B厅、8239.1-1999衍射光栅基本参数.(1) JB厅8239.2-1999衍射光栅技术条件.(11) JB/f坦9.2-19前本标准是对JB/T8239. 2-9S衍射光栅技术条件的修订。修订时，对原标准作了编辑性修改，主要技术内容没有变化。本标准自实施之日起，代替JBIf8239.2-95。本标准由全国光学和光学仪器
2、标准化技术委员会提出并归口。本标准负责起草单位:上海光学仪器研究所。11 1 范围E牛二主主T气了。中华人民共和国机械行业标准衍射光栅技术条件，通过在本标，使用本标准光盖在零件表面疵病检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续检查计数抽样程序及抽样表(造用于生产卡巾，3 3.1 4.1 A 仪表运输、运得黯翅喔盔矗挠条件及试tJ r -, 和代号按表1规定。表1。军三，vl0注:为一级光谱的峰值波长。国家机械工业局1四9-08-06批准12 军三)，/2JBf 8239.去一1999代替JBf8239.去-95志、包装、运输、贮检查)3 运去A2刀-01-01实施,IBIr 8239. 2-1999
3、 4.2 实际分辨率与理论分辨率比值(p，)等级要求按表3规定。表3等级。2 3 p , ;.:90 ;.:80 ;.: ;.:50 % 4.3 最大相对衍射效率(E)等级要求按表4规定。表4等级G 2 3 4 E 二，9075 二=45 ;, 30 % 4.4 波长范围两端处相对衍射效率与最大相对衍射效率之比值(p.)等级要求按表5规定。表5等级C 2 3 4 p鱼主主5040 ;:;.30 二卖双);, 10 9毛4.5 鬼线最大相对强度(Rg)等级要求按表6规定。表6等级。卜:毛;1几运10-6军;:;10-5 4.6 杂光相对强度(r; )等级要求按表7规定。表7等级C 2 TJ 主主
4、10-8主主10-7; 10-6 注:TJ是距主线士5nm处的杂光与主线强度的相对比值。4.7 衍射光栅有效刻划面表面应清洁，无指纹、霉点、水迹，无明显油斑。4.8 衍射光栅各棱边应平整，毛坯与膜层结合情况应良好。3 罢王10-54.9 衍射光栅刻划毛坯的宽度和长度偏差按dn规定，厚度偏差均为:f:O.2mm。4.10 矩形的衍射光栅槽线方向于光栅毛坯边缘，倾斜不超过lmm。4.11 衍射光栅有效刻划面表面疵病质量要求按GBIT1185的有关规定。阴影按表8规定。表8光机有效刻tJ 面m 阴影质量要求4 运10-4mm 轻微阴影总面积应小于光据有效面积1x 1 1/4 x1/6 30x 30
5、118 4.12 衍射光栅在包装运输条件下，应符合JBIT9329的规定。其中:a) 高温:选用+55t; 13 皿f839.去-1999b) 低温:选用-4OC; c) 跌落:选用自由跌落高度25伽m。5试验方法5.3 5.3.2 试验和计算方法率比值(p，射光栅分辨率的测试仪。至在测试仪内的光扭fr架上，使其调整到正确线轮廓，计算漫和电鄙处的轮廓宽度计算即得实际括地理-i分辨率比值(。d-. ff飞(2) 处于正常缝宽.然后极限波长()。按(3) R ,. 回、p，=一.，.，.吨. . . (5) ,- Ro ( J 1光栅相对衍射效率测试，前置单色仪输出一系列单色光，在待测单色仪上依次
6、测单色光的光栅衍射最大光强度，然后以同样方法测相应波长下单色光对反射镜的反射最大光强度，再计算其比值c该试验方法必须在使用波长范围内进行，以寻得最大值为该光栅的最大相对衍射效率。按公式(6)计算。14 Jffi/f 8239. 2-1999 I E=一.(6)-1m 式中:E一一最大相对衍射效率;I一一光栅在峰值波长A处的衍射光强度;Im-反射镜(膜层及有效孔径与光栅相同)在波长A处反射光强度。5.4 波长范围两端处相对衍射效率与最大相对衍射效率比值(瓦)(4.4)5.4.1 试验工具同5.3.1。5.4.2 试验和计算方法试验程序同5.3.2，然后按公式(7)计算即得波长范围两端处相对衍射效
7、率与最大相对衍射效率比值(P.)。波长范围两端处相对值壁堂皇.C= E .嘈. . . (7) 波长范围两端处的凡值均应符合4.4规定(被长小于195nrn以下暂不考虑)。5.5 鬼线最大相对强度(Rg)(4.5) 5.5.1 试验工具单色光源(682.8nm)和焦距不小于1m的光电记录式光栅光谱仪。5.5.2 试验和计算方法被检衍射光栅放于光电记录式光栅光谱仪内光栅架上，将单色光源射人光电记录式光栅光谱仪内，缝宽不小于正常宽度，由光电倍增管扫描得最大鬼线峰值强度(l8)与主线哗值强度(10)，按公式(8)计算即得鬼线最大相对强度RgO 5.6 杂光相对强度(4.6)5.6.1 试验工具R g
8、= . .(8) 单色光源(632.8nm)和仪器杂光相对强度应小于待割光:由杂光相对于二度的1/10的衍射光栅杂光测试仪。5.6.2 试验和计算方法本试验方法采用衰减法，先测出主钱峰值光强度儿，然后担tl距主钱士5rnn处杂光强度，按公式(9)计算杂光相对强度可。式中:矿一一衍射光栅杂光相对强度;Ig一一在主线土5nm杂光光强度;Ip一一主线光强度c5.7 外观质量(4.7，4.8)按规定进行目视试验。5.8 毛坯的宽度、长度和厚度要求(4.9)5.8.1 试验工具游标卡尺。5.8.2 试验程序按要求进行目视试验。5.9 光栅槽线方向与毛坯边缘倾斜(4.10)按要求进行吕视试验。5.10 表
9、面tiE病和阴影质量(4.11)ht仿)15 .四f8239.2-1999 按GB/f1185的规定进行试验，阴影质量按要求进行目视试验。5.11 运输环境试验(4.12)在运输包装条件下，按JB/f9329的规定进行试验。6 检验规则6.1 6.3.1 a) b) c) d) e) f) , 材料、工累一定产，恢复生产时;型式检验有较大差异时;出进行型式检验的要求时。6.3.2 准中所规定的立起试盈且目，型式检验的随机抽取。7.1 标志7.1.1 a) b) c) d) e) 7. 1. 2 应符合7.2 包装仪器的16 i r 1 别水d 丁为30(Ac = 0, 。OOF-.omNtF.omN问国同国华人民共和机械行业标准衍射光栅血1T82391-8239.2一1999中* 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所出版北京市广安门外大街甲397号邮政编码:100055 电话:634佣314，63261816廊坊市光达胶印厂印刷机械工业仪器仪表综合技术经济研究所发行* E - ma.i : sdite public . gb. com. cn 网址:h即:/附 h田女笃XH年6月第一版江lOl年6月第一次印刷* 工本费:28.元印数:150
