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JB T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法.pdf

上传人：花仙子 文档编号：39112 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：5 大小：146.19KB
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资源描述

本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。

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