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JB T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵.pdf

上传人：刘芸 文档编号：39989 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：14 大小：339.37KB
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资源描述

本标准规定了普通型式的溅射离子泵(以下简称离子泵)的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。

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