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JB T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件.pdf

上传人：刘芸 文档编号：39990 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：2 大小：64.79KB
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资源描述

本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。本标准适用于JB/T 4081所规定的二极型(L型)和三极型(3L型)的溅射离子泵(以下简称泵)。

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