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JB T 6922-2004 真空蒸发镀膜设备.pdf

上传人：李朗 文档编号：43929 上传时间：2018-10-12 格式：PDF 页数：8 大小：288.59KB
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资源描述

本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标增、包装、运输、贮存等要求。本标准适用于极限压力在510(-4)pa510(-3)Pa范围的真空蒸发镀膜设备。

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