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JB T 7061-1993 电力半导体器件用硅圆片.pdf

上传人：周芸 文档编号：44153 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：8 大小：184.92KB
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资源描述

本标准规定了电力半导体器件用硅单晶切割片和研磨片（简称硅片）的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输与贮存。本标准行之有效用于直拉单晶、悬浮区熔单晶、中子嬗变惨杂晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片。

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