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JB T 8945-1999 真空溅射镀膜设备.pdf

上传人：周芸 文档编号：47655 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：6 大小：124.12KB
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资源描述

本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在110Pa110pa范围的真空溅射镀膜设备。

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