本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚的产品分类与标记、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、储存、运输。本标准适用于用高纯石英(二氧化硅)做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅生长用石英坩埚。
copyright@ 2008-2019 麦多课文库(www.mydoc123.com)网站版权所有备案/许可证编号:苏ICP备17064731号-1