收藏
下载资源 加入VIP,免费下载

JC T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素 量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法.pdf

上传人：吴艺期 文档编号：49973 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：11 大小：409.26KB
下载 相关 举报
JC T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素 量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法.pdf_第1页
第1页 / 共11页
JC T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素 量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法.pdf_第2页
第2页 / 共11页
JC T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素 量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法.pdf_第3页
第3页 / 共11页
JC T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素 量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法.pdf_第4页
第4页 / 共11页
JC T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素 量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法.pdf_第5页
第5页 / 共11页
亲，该文档总共11页，到这儿已超出免费预览范围，如果喜欢就下载吧！
资源描述

本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。本标准适用于半导体化学机械抛光(CMP)中抛光液用的各种硅溶胶。杂质元素包括：铝、钡、钙、铬、铜、铁、钾、镁、锰、钠、镍、钛、锌、锆等14种元素。

展开阅读全文
相关资源
猜你喜欢
相关搜索

当前位置：首页 > 标准规范 > 行业标准 > JC建筑材料

copyright@ 2008-2019 麦多课文库（www.mydoc123.com）网站版权所有
备案/许可证编号：苏ICP备17064731号-1