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JJG 371-1992 激光量块干涉仪.pdf

上传人：刘芸 文档编号：52696 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：12 大小：305.61KB
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资源描述

本规程适用于测量范围从0.5mm1000mm的激光量块干涉仪及用于高等级量块测量的量块光波干涉仪的首次检定、后续检定和使用中检验。

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