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QB T 4540-2013 超高压短弧汞灯.pdf

上传人：吴艺期 文档编号：64671 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：10 大小：749.98KB
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资源描述

本标准规定了超高压短弧汞灯(以下简称“灯”)的术语和定义、分类和型号命名、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于光刻、光固化、老化试验等设备中的曝光用直流超高压短弧汞灯。

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